蚀刻加工中常见的问题有： 1.形成凹坑主要是因为蚀刻液中AI3+浓度及NaOH浓度太高，处理的方法就是稀释蚀刻液，降低浓度。 2.边缘轮廓线不清楚，这种情况是因为零件表面沾污，如手印、化学污染、氧化膜、防蚀层边缘不清晰等，还有就是蚀刻液浓度不在工艺规定范围内，这种情况下首先需要加强各工序管理，防止二次污染，在蚀刻之前对防蚀层检查要严格，其次分析调整蚀刻液各成分至工艺规定范围。 3.粗糙的蚀刻表面，被蚀刻加工表面有沟槽、留痕及点蚀，其主要原因是蚀刻液中AI3+浓度太高，NaOH浓度太高或太低，蚀刻后酸洗后，漂洗不净，纠正的方法就是分析调整蚀刻液各成份浓度到工艺规定范围，加强酸洗后的水洗质量。化学蚀刻加工使断面形成直边的能力，主要取决于蚀刻加工所使用的设备。宁波卷对卷蚀刻加工咨询

蚀刻加工就是对金属进行定制加工的一门工艺手段，通常也称为光化学蚀刻，是指通过曝光制版、显影后，将要蚀刻区域的保护膜去除，再蚀刻是接触化学溶液，达到溶解腐蚀的作用，形成凹凸或者镂空成型的效果。刚开始，蚀刻这一技术在国内并不发达，主要是依赖日本和欧美，以至于人工和成本很高。随着经济技术的迅速发展，再加上国内的人工，材料等成本比日本，欧美更具有优势，以至于蚀刻技术的应用在国内越来越普遍，蚀刻厂家也是越来越多，竞争也是越来越激烈。苏州卷对卷蚀刻加工质量怎么样板子上下两面以及板面上各个部位的蚀刻均匀性是由板子表面受到蚀刻剂流量的均匀性决定的。

湿式蚀刻之所以在微电子制作过程中被普遍的采用乃由于其具有低成本、高可靠性、高产能及优越的蚀刻选择比等优点。但相对于干式蚀刻，除了无法定义较细的线宽外，湿式蚀刻仍有以下的缺点：1) 需花费较高成本的反应溶液及去离子水；2) 化学药品处理时人员所遭遇的安全问题；3) 光阻附着性问题；4) 气泡形成及化学蚀刻液无法完全与晶圆表面接触所造成的不完全及不均匀的蚀刻；5) 废气及潜在的炸裂性。湿式蚀刻过程可分为三个步骤：1) 化学蚀刻液扩散至待蚀刻材料之表面；2) 蚀刻液与待蚀刻材料发生化学反应； 3) 反应后之产物从蚀刻材料之表面扩散至溶液中，并随溶液排出(3)。三个步骤中进行较慢者为速率控制步骤，也就是说该步骤的反应速率即为整个反应之速率。

蚀刻加工剂的是三氯化铁溶液。它的波美浓度值在蚀刻加工阶段中极端关键，能够直接影响到蚀刻加工的速度。合适的波美浓度值是38到40度两者之间。精确测量浓度值的办法是；将三氯化铁溶液倒在细长的量杯中，扎入波美计，靠着液面的标值便是它的波美浓度值。 现如今的波美浓度值是42度，有一些太浓，我们还能够兑水进行稀释，搅拌均匀后，采样重新进行測量。若是波美浓度值太低，则可装入高浓度的三氯化铁溶液。波美浓度值分配合适后，倒进蚀刻机的箱体内，把密封盖盖好。蚀刻过程中应注意提高安全处理和蚀刻薄铜箔及薄层压板的能力。

腐蚀剂的选择都是根据加工材料的不同来觉定的，如：硅片是用氢氟酸和 HNO3，氧化硅片则是用氢氟酸和 NH4F 。化学蚀刻加工集成电路时，其蚀刻加工切口的几何形状和航空航天工业中的化学蚀刻切口几何形状没有什么不同。但是它们两者之间在蚀刻深度上差了好几个数量级，前者蚀刻深度不到1um。而后再可达几毫米甚至更深。蚀刻加工的材料：蚀刻的材料可以分为金属材料和非金属材料.在这里我们所指的加工，是专对金属材料的蚀刻加工，不同的金属材料需要配专门用的药的水.主要是以不锈钢、铜、铜合金的蚀刻生产，类似钼等特殊稀有金属材料也可以加工。卷对卷蚀刻加工采用自动定张力，自动循边及气浮带料搬送。苏州卷对卷蚀刻加工质量怎么样

要达到这一要求，必须保证蚀刻液在蚀刻的全过程始终保持在的蚀刻状态。宁波卷对卷蚀刻加工咨询

通常印制板在蚀刻液中的时间越长，（或者使用老式的左右摇摆蚀刻机）侧蚀越严重。侧蚀严重影响印制导线的精度，严重侧蚀将使制作精细导线成为不可能。当侧蚀和突沿降低时，蚀刻系数就升高，高的蚀刻系数表示有保持细导线的能力，使蚀刻后的导线接近原图尺寸。电镀蚀刻抗蚀剂无论是锡－铅合金，锡，锡－镍合金或镍，突沿过度都会造成导线短路。因为突沿容易断裂下来，在导线的两点之间形成电的桥接。在连续的板子蚀刻中，蚀刻速率越一致，越能获得均匀蚀刻的板子。要达到这一要求，必须保证蚀刻液在蚀刻的全过程始终保持在较佳的蚀刻状态。这就要求选择容易再生和补偿，蚀刻速率容易控制的蚀刻液。选用能提供恒定的操作条件和对各种溶液参数能自动控制的工艺和设备。通过控制溶铜量，PH值，溶液的浓度，温度，溶液流量的均匀性(喷淋系统或喷嘴以及喷嘴的摆动)等来实现。 宁波卷对卷蚀刻加工咨询

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