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在深亚微米(0.15μm及以下)集成电路制造中，后段工艺日趋重要，为降低阻容迟滞(RCDelay)，保证信号传输，减小功耗，有必要对后段工艺进行改进，Via阻挡层MOCVD(Metal-organicChemicalVaporDeposition，金属有机物化学气相淀积)TiN是其中重要研究课题之一。本论文基于薄膜电阻的理论分析，从厚度、杂质浓度和晶体结构三大薄膜电阻影响因素出发系统研究MOCVDTiN材料在平面薄膜上和真实结构中的各种性质，重点是等离子体处理(PlasmaTreatment，PT)下的晶体生长，制备循环次数的选择对薄膜杂质浓度、晶体结构及电阻性能的影响，不同工艺薄膜在真实结构...

50. 近几年来,利用钛、氮化钛及碳化钛作为表面镀层材料,以增加刀具及磨擦另件的抗磨损能力,取得了良好的效果,其中又以氮化钛效果比较好。镀氮化钛的方法很多,已在应用的有化学方法、物理方法、电子蒸发法、离子轰击法及离子涂镀法等。其中又以近几年新发展起来的离子涂镀法优点适合多,引起了人们的注意。氮化钛离子涂镀技术的主要机理是:将若干块金属钛悬挂于密闭室的四周,在密闭室的壁与金属钛之间,始终存在电弧放电。在电弧的局部高温作用下,固体金属钛直接变为蒸气。这一变为蒸气的过程,几乎是在瞬间完成的。并使钛离子获得了很大的能量，在上世纪70年代，氮化钛涂层成功应用于刀具等切割加工工具上，促进了刀具加工行业的发...

TiN 薄膜的研究工作早在20世纪60年代已开始进行，但因材料和器件制备上的困难，使研究工作一度转入低潮。后来随着薄膜制备技术的提高，国内外对TiN薄膜的研究工作又开始活跃起来，制备方法也多样化了，目前已取得很大进展。TiN薄膜的制备方法主要可分为物理物物理相沉积、化学气相沉积两大类。应用于工业的各个领域。 TiN 薄膜无毒、质轻、强度高且具有优良的生物相容性，因此它是非常理想的医用金属材料，可用作植入人体的植入物和手术器械等阎。此外，氮化钛薄膜还能作为其他优良生物相溶性薄膜的增强薄膜。国外的Nelea等人通过镀制TiN 薄膜中间层大幅度提高了医用常用材料羟磷灰石薄膜(HA)的机械性...

通过多弧离子镀沉积技术制备了TiN和TiVN涂层，对比了两种涂层在不同工况下的摩擦磨损性能和切削性能，并指出影响刀具涂层服役性能的主要因素。结果表明，V元素掺杂有效提高了TiN涂层的硬度和结合力、减小了TiN涂层的摩擦因数和低温下的磨损率，但V容易氧化的特性导致500℃及以上温度TiVN涂层产生较高的磨损率。切削测试表明，在麻花钻的主切削刃和横刃区域两种涂层发生明显的剥落，而在后刀面涂层未发生明显剥落，TiVN涂层较高的膜基结合强度和耐磨性能使得它对刀具的防护效果更佳；刀具涂层的服役性能与其耐磨性能和膜基结合强度有关，刀具的主切削刃和横刃区域对涂层的耐磨性能和膜基结合强度有着苛刻的要求，且切削...

42.TiN的能带结构和态密度TiN属于面心立方结构，晶格中参与成键的价电子有过渡族金属Ti的3d24s2和N的2p3。通过采用缀加平面波方法和靠前性原理计算可以得出TiN的能带结构和态密度，进而计算出材料中电子的填充态和未填充态，再根据跃迁的选择定则，计算出跃迁矩阵元和吸收系数，从而得到介电函数的虚部;再根据Kramers-Kronig变换关系就可得出介电函数的实部，据Maxwell关系式就可以确定材料的折射率和消光系数。所以分材料的能带结构和态密度对材料光学性质的影响就显得非常重要。DLC涂层相对光滑，粗糙度Ra为0.10μm,而TiN涂层Ra为0.16μm。天津 刀具氮化钛加工氮化钛50...

40、氮化钛 ( Ti N)薄膜独特的性能不仅在机械工业和商品的表面装饰行业上有着适合的应用 ,而且在临床制品及人工替换领域也展示了潜在的应用前景 .研究利用大功率偏压电源的多弧离子镀技术 ,采用工具镀工艺 ,在 Ti- 6 Al- 4V合金材料表面制备了 Ti N薄膜 .用 X射线光电子能谱检测证明了所制备的薄膜确为 Ti N机械性能测试表明 :具有 Ti N涂层样品的显微硬度较为高于 Ti合金基材 ,同时耐磨性能也明显得到改善 。 40、氮化钛是一种新型多功能材料，具有高硬度、高耐磨性以及高抗氧化性等优点，可以作为耐磨涂层使用，同时氮化钛涂层的颜色与黄金极为相似，可以沉积在首饰或...

在镁碳砖中添加一定量的TiN，可以明显提高镁碳砖的抗渣侵蚀性。1)氮化钛是优良的结构材料，可用于蒸汽喷射推进器和火箭等。在轴承和密封圈领域也大量使用氮化钛合金，强调了氮化钛的应用效果。2)基于氮化钛的优异导电性，可以制作各种电极和点接触等材料。3)氮化钛具有高超导临界温度，可作为优良的超导材料。4)氮化钛熔点高于许多过渡金属氮化物，密度低于许多金属氮化物，是一种独特的耐火材料。5)氮化钛可以作为一种膜镀在玻璃上，红外反射率大于75%时，氮化钛薄膜厚度大于90nm时，可以有效提高玻璃的保温性能。另外，通过调整氮化钛中的氮含量，可以改变氮化钛薄膜的颜色，达到理想的美观。氮化钛具有金属光泽，可作为仿...

自20世纪80年代以来，氮化钛的研究受到了重视。氮化钛化学性能稳定，具有较强的耐磨损、耐腐蚀性及良好的生物相容性。在口腔医学中主要应用于切削及旋转器械、种植体和义齿等表面镀膜，以增强其耐磨损性及生物安全性。氮化钛涂层作为一种新型陶瓷涂层，由于具有高熔点、高硬度、高温化学稳定性、高耐磨性及高耐腐蚀性能等优点，已被广泛应用于切削刀具、高温结构材料和抗磨抗蚀部件上。在不锈钢表面制备一层氮化钛涂层来进行表面改性，可有效提高其表面力学性能、耐蚀性能和生物兼容性能，有利于不锈钢在航空航天、舰船兵器、石油化工、生物医学等领域应用。氮化钛涂层刀具由于其优异性能，很快在工业发达国家得以推广使用，并为机械加工行业...

采用物物理相沉积法(PVD)在45钢基体表面沉积了TiN和TiAlN涂层.用3种载荷在摩擦磨损试验机上分别对45钢、TiN和TiAlN涂层进行了摩擦试验,用5种载荷分别对3种试样进行了磨损试验,用表面轮廓检测仪检测了3种试样的体积磨损,用划痕仪测量了涂层的临界载荷.研究结果表明:随着载荷的增大,TiAlN和TiN涂层的摩擦系数有较大的下降趋势,TiAlN、TiN有降低摩擦系数的作用,其中TiN的效果更好.45钢、TiN与TiAlN的磨损量都会随载荷的增大而增大.TiN、TiAlN涂层比45钢有较明显的耐磨损的能力,TiAlN涂层比TiN涂层的抗磨损能力更强.45钢的比磨损率趋近于线性变化,Ti...

氮化钛具有耐腐蚀性强、抗氧化性好、化学稳定性高以及电导性好等优点。本文以阳极氧化法制得的纳米TiO2薄膜、多孔结构和纳米管材料为前驱体,通过氨气高温还原氮化法制得了纳米氮化钛薄膜、多孔结构和纳米管材料。XRD和EDS分析结果表明,三种纳米结构氮化钛的化学组分均只含Ti、N两种元素,且前驱体TiO2已经被完全转化为氮化钛,主要以TiN相和Ti2N相存在。SEM结果表明,高温氮化得到的三种纳米结构氮化钛仍保持了前驱体的微观结构,氮化钛多孔结构和纳米管均具有有序阵列特征,纳米管管径和孔道直径均小于100nm,TiN薄膜表面具有很多大小不均的突起颗粒。四探针法测试得到三种纳米氮化钛的电阻率约为5.0×...

50.本实验应用离子束辅助沉积技术在磁性附着体衔铁铁铬钼合金表面制备氮化钛纳米膜，希望通过氮化钛纳米膜优异的理化性能，增强磁性附着体的耐蚀性和耐磨性，从而改进磁性附着体的性能，并且对铁铬钼合金材料本体特性没有影响。实验结果表明：第四军医大学硕土学垃论文1．离子束辅助沉积技术可以在铁铬铜软磁合金表面获得非常致密与基体结合力极强的氮化钛纳米膜，膜与基体界面的结合力在65N—75N之间，完全能够满足实验及临床长期应用。2．铁铬钥合金表面镀氮化钛纳米膜处理前后磁性附着体磁力数值无明显改变，方差分析统计学处理，p劝．05，无统计学差别。即镀膜后磁固位力无改变。对磁性附着体的衔铁软磁合金进行镀膜处理，来研...

比较TiN和TiAlN涂层刀具加工铝锂合金的切削性能和表面质量。方法使用硬质合金、TiN涂层和TiAlN涂层三种刀具,对2198-T8型铝锂合金进行干式铣削试验。改变切削因素的水平,比较刀具磨损、铝锂合金的表面粗糙度、切削力和切屑形态。结果铣削铝锂合金时,刀具主要磨损为粘附磨损,TiN涂层的粘附程度比较低,硬质合金次之,TiAlN涂层表面粘附较好严重,切削效能比较低。粘附磨损严重影响铣削成形的表面粗糙度,并使铣削力增加。铣削速度是影响工件表面粗糙度的主要因素,通过提高铣削速度可明显降低材料的粘结程度,降低表面粗糙度与铣削力,TiN涂层在铣削铝锂合金时较好小表面粗糙度可达到0.5μm以下。在相同...

在镁碳砖中添加一定量的TiN，可以明显提高镁碳砖的抗渣侵蚀性。1)氮化钛是优良的结构材料，可用于蒸汽喷射推进器和火箭等。在轴承和密封圈领域也大量使用氮化钛合金，强调了氮化钛的应用效果。2)基于氮化钛的优异导电性，可以制作各种电极和点接触等材料。3)氮化钛具有高超导临界温度，可作为优良的超导材料。4)氮化钛熔点高于许多过渡金属氮化物，密度低于许多金属氮化物，是一种独特的耐火材料。5)氮化钛可以作为一种膜镀在玻璃上，红外反射率大于75%时，氮化钛薄膜厚度大于90nm时，可以有效提高玻璃的保温性能。另外，通过调整氮化钛中的氮含量，可以改变氮化钛薄膜的颜色，达到理想的美观。含有纳米氨化钛颗粒的陶瓷材料...

氮化物涂层具有硬度高、耐磨性好、良好的抗氧化性、抗粘附性等性能,常用做刀具的?；ね坎?。304不锈钢和钛合金因为良好的性能而在生活中应用适合,但由于在加工时会出现加工硬化、切削温度较高、刀具粘结等缺陷,是比较典型的难加工材料。而使用涂层刀具能有效改善刀具的切削性能,并能延长刀具的使用寿命。市场上常用Al CrN和Al TiN涂层来切削这两种材料。但是这两种材料容易在刀具表面产生粘附层,会影响刀具的使用寿命,为了改善“粘刀性”,需要先了解不同刀具在不同涂层上的粘附机理。氮化钛有较高的导电性可用作熔盐电解的电极以及点触头、薄膜电阻等材料。舟山耐磨氮化钛加工氮化钛目前，国内外制备氮化钛涂层一般采用镀膜...

1.氮化钛(TiN)具有典型的NaCl型结构，属面心立方点阵，晶格常数a=0.4241nm，其中钛原子位于面心立方的角顶。TiN是非化学计量化合物其稳定的组成范围为TiN0.37-TiN1.16，氮的含量可以在一定的范围内变化而不引起TiN结构的变化。TiN粉末一般呈黄褐色超细TiN粉末呈黑色，而TiN晶体呈金黄色。TiN熔点为2950℃，密度为5.43-5.44g/cm3，莫氏硬度8-9，抗热冲击性好。氢化钛的理化性质由氢元素的含量来决定，当氨元素含量减少时氮化钛的晶格参数反而增大，硬度也会有显微的增大，但氮化钛的抗震性随之降低。TiN熔点比大多数过渡金属氮化物的熔点高，而密度却比大多数金属...

TiN 中文名称氮化钛薄膜可以减轻切削刃边材料的附着，提高切削力，改善工件的表面质量，成倍增加切削工具的使用寿命和耐用度。因此，TiN 薄膜被适合用于低速切削工具、高速钢切削、木板切削刀具和钻头的涂覆上。另外，TiN也是磨损部件的理想耐磨涂层，特别是由于其低的黏着倾向拓宽了在许多磨损系统中的应用，如汽车发动机的活塞密封环、各种轴承和齿轮等：此外，TiN还广泛应用于成型技术工具涂层，如汽车工业中薄板成型工具的涂层等。氮化钛是用于优良度的金属陶瓷工具、喷汽推进器、以及火箭等结构材料，较低的摩擦系数可作为高温润滑剂。宁波纳米氮化钛检测氮化钛自20世纪80年代以来，氮化钛的研究受到了重视。氮化钛化学性...

ＴｉＮ涂层的耐腐蚀性能进行了试验研究。除采用几种较弱的腐蚀介质外，还在Ｈ２ＳＯ４溶液、ＨＣｌ溶液中对ＴｉＮ涂层样品做了浸泡试验。所有结果表明：涂层后的样品。其耐腐蚀性能比未涂层样品提高几倍至十几倍。同时，在ＮａＣｌ溶液、人工汗液和酸溶液中，分别测定了涂层和未涂层样品的电化学行为。ＴｉＮ涂层表现出较高的溶解电位，说明它在热力学上对上述化学介质是比较稳定的。致密ＴｉＮ涂层的耐腐蚀能力优于不锈钢，但是如果涂层有贯穿的孔洞或涂展太薄时，则涂层试样也会被腐蚀。氮化钛是一种新型的多功能陶瓷材料。在TiC-Mo-Ni系列的金属陶瓷中加入一定氮化钛，使硬质相晶粒较为细化。南京纳米氮化钛服务电话氮化钛TiN和T...

TiN薄膜无毒、质轻、强度高且具有优良的生物相容性，因此它是非常理想的医用金属材料，可用作植入人体的植入物和手术器械等阎。此外，氮化钛薄膜还能作为其他优良生物相溶性薄膜的增强薄膜。国外的Nelea等人通过镀制TiN薄膜中间层大幅度提高了医用常用材料羟磷灰石薄膜(HA)的机械性能和附着力。用TiN薄膜涂覆在IF—MS2上?？梢蕴岣叨饣蛉蠡恋哪湍バ?。用TIN薄膜涂覆在IF—MS2上，因为它具有的高硬度、高熔点、高磨损抵抗力，优良的化学稳定性等特点，因此可以在提高飞机和航天器的发动机等零件的润滑性能的同时，又可以保证航天零件的耐高温和耐摩擦性能。TiN熔点比大多数过渡金属氮化物的熔点高，而密度...

黄金能保持光泽如初,经久不变的宝贵特性;自古以来做为货币使用,并成为财富和永恒的象征.因而,在人们心中唤起深刻的美感,雍雅华贵,灿烂眩目的金色,成为传统的普遍受人偏爱的色彩.为了装饰的目的,人们希望在各种基材的物品上获得金色的表面,仿金技术便成为表面处理工作者们不懈研讨的课题. 在众多的仿金工艺中,近年发展起来的离子沉积氮化钛(TiN)工艺具有突出的优点.TiN涂层的膜结构稳定,不会变色;它特别耐磨,因此,足以保持被装饰件的金色外观于始终;另外它所消耗的原材料廉价;加工过程中无污染公害.这些优点自然引起各方面的浓厚兴趣.国内在近十几年内迅速开展了对离子沉积氮化钛的研究和推广应用.氮化钛还可以作...

氮化钛的制备方法有哪些 1金属钛粉或TiH 2直接氮化法2TiO2碳热还原氮化法 3微波碳热还原法 4物物理相沉积法 5化学气相沉积法 6机械合金化法 7熔盐合成法8溶胶-凝胶法9自蔓延高温合成法TiN的性质及结构。 TiN属于间隙相，熔点高达2955℃，原子之间的结合为共价键、金属键及离子键的混合键，其中金属原子间存在金属键。因此，TiN薄膜具有高硬度（理论硬度21GPa）、优异的耐热耐磨和耐腐蚀等特性，并且具有较好的金属特性：金属光泽、优良的导电性及超导性。TiN具有典型的NaCl型结构，属于面心立方点阵（F.C.C），其中Ti原子占据面...

40、氮化钛（TiN）具有典型的NaCl型结构，属面心立方点阵，晶格常数a=0.4241nm，其中钛原子位于面心立方的角顶。TiN是非化学计量化合物，其稳定的组成范围为TiN0.37-TiN1.16，氮的含量可以在一定的范围内变化而不引起TiN结构的变化。TiN粉末一般呈黄褐色，超细TiN粉末呈黑色，而TiN晶体呈金黄色。TiN熔点为2950℃，密度为5.43-5.44g/cm3，莫氏硬度8-9，抗热冲击性好。TiN熔点比大多数过渡金属氮化物的熔点高，而密度却比大多数金属氮化物低，因此是一种很有特色的耐热材料。TiN的晶体结构与TiC的晶体结构相似，只是将其中的C原子置换成N原子。有较为的硬度...

TiN和TiAlN涂层常应用于精冲模,采用XRD技术分析了不同厚度TiN和TiAlN涂层的相变化,并采用Sin2ψ法测量了TiN涂层和基体以及TiAlN基体的残留应力,应用显微硬度计测量了涂层的显微硬度。结果表明:TiN涂层(111)和(222)晶面存在明显择优取向,涂层残留应力分布在-2347～-1920MPa,基体残留应力分布在-154.9～-69.21MPa,均随厚度增加而减小;TiAlN涂层主要相成分为Ti3Al3N2,且(107)晶面存在择优取向,基体残留应力分布在-123.7～469.5MPa,主要呈拉应力状态,且随厚度增加而增大,对模具寿命有较大影响;TiN和TiAlN涂层显微硬...

1.(1)氮化钛生物兼容性高，可以应用于临床医学和口腔医学方面。(2)氨化钛摩擦系数较低，可作为高温润滑剂。(3)氮化钛具有金属光泽，可作为仿真的金色装饰材料，在代金装饰行业中具有良好的应用前景;氮化钛还可以作为金色涂料应用于首饰行业;可以作为替代WC的潜在材料，使材料的应用成本大幅度降低。(4)有较为的硬度和耐磨性，可用于开发新型刀具，这种新型的刀具比普通硬质合金刀具的耐用度和使用寿命都显著提高。(5)氮化钛是一种新型的多功能陶瓷材料。在TiC-Mo-Ni系列的金属陶瓷中加入一定量的氮化钛，会使硬质相晶粒明显细化，从而使陶瓷的理学性能不管是在室温还是在高温条件下都有了很大程度的改善，继而使金...

TiN 薄膜用于高温大气稳定太阳能吸收层的研究开始于1984年，较好近(Ti，A1)N 涂层也被建议应用于太阳能选择吸收层和太阳能控制窗口，这主要是因为(Ti，AI)N 涂层耐高温的特点。关于TiN和TiA1N 涂层在太阳能领域的应用。目前仍处在尝试和探索之中。 用TiN 薄膜涂覆在IF—MS2上。可以提高二钼化硫润滑剂的耐磨性。用TIN 薄膜涂覆在IF—MS2上，因为它具有的高硬度、高熔点、高磨损抵抗力，优良的化学稳定性等特点，因此可以在提高飞机和航天器的发动机等零件的润滑性能的同时，又可以保证航天零件的耐高温和耐摩擦性能。 氮化钛有较高的导电性可用作熔盐电解的电极以及点触头、薄膜...

氮化钛具有耐腐蚀性强、抗氧化性好、化学稳定性高以及电导性好等优点。本文以阳极氧化法制得的纳米TiO2薄膜、多孔结构和纳米管材料为前驱体,通过氨气高温还原氮化法制得了纳米氮化钛薄膜、多孔结构和纳米管材料。XRD和EDS分析结果表明,三种纳米结构氮化钛的化学组分均只含Ti、N两种元素,且前驱体TiO2已经被完全转化为氮化钛,主要以TiN相和Ti2N相存在。SEM结果表明,高温氮化得到的三种纳米结构氮化钛仍保持了前驱体的微观结构,氮化钛多孔结构和纳米管均具有有序阵列特征,纳米管管径和孔道直径均小于100nm,TiN薄膜表面具有很多大小不均的突起颗粒。四探针法测试得到三种纳米氮化钛的电阻率约为5.0×...

TiN 薄膜用于高温大气稳定太阳能吸收层的研究开始于1984年，较好近(Ti，A1)N 涂层也被建议应用于太阳能选择吸收层和太阳能控制窗口，这主要是因为(Ti，AI)N 涂层耐高温的特点。关于TiN和TiA1N 涂层在太阳能领域的应用。目前仍处在尝试和探索之中。 用TiN 薄膜涂覆在IF—MS2上?？梢蕴岣叨饣蛉蠡恋哪湍バ?。用TIN 薄膜涂覆在IF—MS2上，因为它具有的高硬度、高熔点、高磨损抵抗力，优良的化学稳定性等特点，因此可以在提高飞机和航天器的发动机等零件的润滑性能的同时，又可以保证航天零件的耐高温和耐摩擦性能。 TiN有着诱人的金黄色、熔点高、硬度大、化学稳定性好、与...

40、氮化钛（TiN）具有典型的NaCl型结构，属面心立方点阵，晶格常数a=0.4241nm，其中钛原子位于面心立方的角顶。TiN是非化学计量化合物，其稳定的组成范围为TiN0.37-TiN1.16，氮的含量可以在一定的范围内变化而不引起TiN结构的变化。TiN粉末一般呈黄褐色，超细TiN粉末呈黑色，而TiN晶体呈金黄色。TiN熔点为2950℃，密度为5.43-5.44g/cm3，莫氏硬度8-9，抗热冲击性好。TiN熔点比大多数过渡金属氮化物的熔点高，而密度却比大多数金属氮化物低，因此是一种很有特色的耐热材料。TiN的晶体结构与TiC的晶体结构相似，只是将其中的C原子置换成N原子。在上世纪70...

比较TiN和TiAlN涂层刀具加工铝锂合金的切削性能和表面质量。方法使用硬质合金、TiN涂层和TiAlN涂层三种刀具,对2198-T8型铝锂合金进行干式铣削试验。改变切削因素的水平,比较刀具磨损、铝锂合金的表面粗糙度、切削力和切屑形态。结果铣削铝锂合金时,刀具主要磨损为粘附磨损,TiN涂层的粘附程度比较低,硬质合金次之,TiAlN涂层表面粘附较好严重,切削效能比较低。粘附磨损严重影响铣削成形的表面粗糙度,并使铣削力增加。铣削速度是影响工件表面粗糙度的主要因素,通过提高铣削速度可明显降低材料的粘结程度,降低表面粗糙度与铣削力,TiN涂层在铣削铝锂合金时较好小表面粗糙度可达到0.5μm以下。在相同...

TiN 薄膜用于高温大气稳定太阳能吸收层的研究开始于1984年，较好近(Ti，A1)N 涂层也被建议应用于太阳能选择吸收层和太阳能控制窗口，这主要是因为(Ti，AI)N 涂层耐高温的特点。关于TiN和TiA1N 涂层在太阳能领域的应用。目前仍处在尝试和探索之中。 用TiN 薄膜涂覆在IF—MS2上?？梢蕴岣叨饣蛉蠡恋哪湍バ?。用TIN 薄膜涂覆在IF—MS2上，因为它具有的高硬度、高熔点、高磨损抵抗力，优良的化学稳定性等特点，因此可以在提高飞机和航天器的发动机等零件的润滑性能的同时，又可以保证航天零件的耐高温和耐摩擦性能。 氮化钛是一种优良的结构材料。在轴承和密封环领域也多用氮化...

TiN薄膜因具有高硬度、低摩擦系数、高粘着强度、化学稳定性好、与钢铁材料的热膨胀系数相近等优点而被广泛应用于各个领域，特别是被用作高质量的切割工具,抗磨粒、磨蚀和磨损部件的表面工程材料。TiN薄膜以其制备工艺成熟稳定、价格低廉以及耐磨耐腐蚀特性好，而广泛应用于切削工具和机械零件的硬质涂层?；つ?。近年来，随着科技的发展和工业的需求，TiN在MEMS、太阳能电池的背电极、燃料电池、纳米生物技术、节能镀膜玻璃等领域的应用都有相关的报道。TiN是非化学计量化合物稳定的组成范围为TiN0.37- TiN1.16，氮含量可在一定范围内变化不引起TiN结构的变化。宿迁镀黑氮化钛氮化钛 TiN 薄膜用于高温...