自20世纪80年代以来,氮化钛的研究受到了重视。氮化钛化学性能稳定,具有较强的耐磨损、耐腐蚀性及良好的生物相容性。在口腔医学中主要应用于切削及旋转器械、种植体和义齿等表面镀膜,以增强其耐磨损性及生物安全性。氮化钛涂层作为一种新型陶瓷涂层,由于具有高熔点、高硬度、高温化学稳定性、高耐磨性及高耐腐蚀性能等优点,已被广泛应用于切削刀具、高温结构材料和抗磨抗蚀部件上。在不锈钢表面制备一层氮化钛涂层来进行表面改性,可有效提高其表面力学性能、耐蚀性能和生物兼容性能,有利于不锈钢在航空航天、舰船兵器、石油化工、生物医学等领域应用。氮化钛涂层刀具由于其优异性能,很快在工业发达国家得以推广使用,并为机械加工行业带来巨大的经济效益。常州涂层氮化钛价格
TiN薄膜可以减轻切削刃边材料的附着,提高切削力,改善工件的表面质量,成倍增加切削工具的使用寿命和耐用度。因此,TiN薄膜被适合用于低速切削工具、高速钢切削、木板切削刀具和钻头的涂覆上。另外,TiN也是磨损部件的理想耐磨涂层,特别是由于其低的黏着倾向拓宽了在许多磨损系统中的应用,如汽车发动机的活塞密封环、各种轴承和齿轮等:此外,TiN还广泛应用于成型技术工具涂层,如汽车工业中薄板成型工具的涂层等TiN薄膜无毒、质轻、强度高且具有优良的生物相容性,因此它是非常理想的医用金属材料,可用作植入人体的植入物和手术器械等阎。此外,氮化钛薄膜还能作为其他优良生物相溶性薄膜的增强薄膜。国外的Nelea等人通过镀制TiN薄膜中间层大幅度提高了医用常用材料羟磷灰石薄膜(HA)的机械性能和附着力。镇江镀黑氮化钛生产企业氮化钛有较高的导电性可用作熔盐电解的电极以及点触头、薄膜电阻等材料。
氮化钛的制备方法有哪些
1金属钛粉或TiH
2直接氮化法2TiO2碳热还原氮化法
3微波碳热还原法
4物物理相沉积法
5化学气相沉积法
6机械合金化法
7熔盐合成法8溶胶-凝胶法9自蔓延高温合成法TiN的性质及结构。
TiN属于间隙相,熔点高达2955℃,原子之间的结合为共价键、金属键及离子键的混合键,其中金属原子间存在金属键。因此,TiN薄膜具有高硬度(理论硬度21GPa)、优异的耐热耐磨和耐腐蚀等特性,并且具有较好的金属特性:金属光泽、优良的导电性及超导性。TiN具有典型的NaCl型结构,属于面心立方点阵(F.C.C),其中Ti原子占据面心立方的角顶。并且TiN是非计量化合物,Ti和N组成的化合物TiN1-x可以在很宽的组成范围内稳定存在,其范围为TiN0.6—TiN1.16。氮的含量可在一定范围内变化而不引起TiN的结构变化。
在深亚微米(0.15μm及以下)集成电路制造中,后段工艺日趋重要,为降低阻容迟滞(RCDelay),保证信号传输,减小功耗,有必要对后段工艺进行改进,Via阻挡层MOCVD(Metal-organicChemicalVaporDeposition,金属有机物化学气相淀积)TiN是其中重要研究课题之一。本论文基于薄膜电阻的理论分析,从厚度、杂质浓度和晶体结构三大薄膜电阻影响因素出发系统研究MOCVDTiN材料在平面薄膜上和真实结构中的各种性质,重点是等离子体处理(PlasmaTreatment,PT)下的晶体生长,制备循环次数的选择对薄膜杂质浓度、晶体结构及电阻性能的影响,不同工艺薄膜在真实结构中物理形貌、晶体结构和电阻性能的表现和规律,超薄TiN薄膜(<5nm)的实际应用等。俄歇能谱、透射电子显微镜和方块电阻测试证明PT作用下杂质浓度降低,同时晶体生长,薄膜致密化而电阻率降低。PT具有饱和时间和深度,较厚薄膜需多循环制备以充分处理,发现薄膜厚度较小时(本实验条件下为4nm),增加循环次数虽然进一步降低了杂质浓度,但会引入界面而使薄膜电阻率增加。通过TEM观测发现由于等离子体运动的各向异性,真实结构中PT效率在侧壁远低于顶部和底部,这导致侧壁薄膜在PT后更厚。有较为的硬度和耐磨性,用于开发新型刀具,这种新型的刀具比普通硬质合金刀具的耐用度和使用寿命显著提高。
TiN薄膜无毒、质轻、强度高且具有优良的生物相容性,因此它是非常理想的医用金属材料,可用作植入人体的植入物和手术器械等阎。此外,氮化钛薄膜还能作为其他优良生物相溶性薄膜的增强薄膜。国外的Nelea等人通过镀制TiN薄膜中间层大幅度提高了医用常用材料羟磷灰石薄膜(HA)的机械性能和附着力。用TiN薄膜涂覆在IF—MS2上。可以提高二钼化硫润滑剂的耐磨性。用TIN薄膜涂覆在IF—MS2上,因为它具有的高硬度、高熔点、高磨损抵抗力,优良的化学稳定性等特点,因此可以在提高飞机和航天器的发动机等零件的润滑性能的同时,又可以保证航天零件的耐高温和耐摩擦性能。TiN有着诱人的金黄色、熔点高、硬度大、化学稳定性好、与金属的润湿小的结构材料、并具有导电性和超导性。苏州润滑氮化钛功能
氮化钛具有良好导电性、高熔点、高硬度及耐磨耐酸碱腐蚀等特性,在开发高耐用的催化剂载体领域具应用前景。常州涂层氮化钛价格
薄膜材料简介制造业中高速切削和干式切削等先进技术的发展对刀具提出了较高的要求,作为刀具涂层的薄膜材料Ti N不仅要具有较高的硬度,而且要具有优良的耐磨性、耐热性、韧性和良好的化学稳定性等。硬质薄膜表面涂层可以实现上述要求。硬质薄膜表面涂层通常指为提高构件表面耐磨性、耐腐蚀性、耐高温性而涂覆于构件表面的膜层,厚度为几纳米到几十微米,材料通常是一些由过渡族金属与非金属构成的金属间化合物等。这些化合物一般由金属键、共价键、离子键,以及离子键和金属键的混合键键合,具有熔点高、硬度大的特征,通常还具有良好的化学稳定性和热稳定性。基于以上特征和优点,硬质薄膜表面涂层已被广泛应用于航空、工模具、电子等加工领域,并且在刀具、模具等方面有力推动了制造业的发展。氮化钛是第一种产业化并被广泛应用的硬质薄膜材料。氮化钛薄膜具有硬度高、耐磨、耐热、耐腐蚀等特性[1],为面心立方晶体结构,由金属键、共价键和离子键混合而成,同时具有金属晶体和共价晶体的特性。常州涂层氮化钛价格
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