(1)接受信号为交流信号,前置放大器为高倍数的交流放大器,不用直流放大,故没有零点漂移等问题。(2)利用多普勒效应,计数器计频率差的变化,不受激光强度和磁场变化的影响。在光强度衰减90%时仍可得到满意的信号,这对于远距离测量是十分重要的,同时在近距离测量时又能简化调整工作。(3)测量精度不受空气湍流的影响,无需预热时间。用激光干涉仪作为机床的测量系统可以提高机床的精度和效率。起初*用于高精度的磨床、镗床和坐标测量机上,以后又用于加工中心的定位系统中。用激光干涉仪作为机床的测量系统可以提高机床的精度和效率。虎丘区附近双频激光干涉仪设备厂家
机床与加工设备:应用于数控机床、磨床、镗床、加工中心等设备的定位系统校准及误差修正,以提升加工精度。集成电路制造:支持半导体光刻技术的工件台的精密定位。物理实验:测量位移、速度、加速度等动力学参数。在线监测控制:在大规模集成电路加工设备、精密机床中实现误差的在线测量,以提升生产稳定性。检测仪器校准:用于线性位移传感器、角度传感器、直线度检测仪等几何检测仪器的标定。双频激光干涉仪凭借其高精度、强环境适应力、高实时动态测速以及广泛的应用领域,在精密制造、科研创新以及标准化检测等方面发挥着关键作用。江苏销售双频激光干涉仪哪家强光束分割:通过分束器将激光束分成两部分,通常称为参考光束和测量光束。
多普勒效应:当测量镜移动时,测量光的频率变为f1±Δf,与参考光f2干涉后形成差频信号|(f1±Δf)-f2|,该信号反映出位移引起的频率变化。信号检测:光电探测器将光信号转为电信号,经电路处理提取差频变化量,然后通过相位比较或脉冲计数来计算位移。二、主要特点精度高:双频激光干涉仪以波长作为标准对被测长度进行度量,即使不做细分也可达到微米(μm)量级,细分后更可达到纳米(nm)量级。应用范围广:双频激光干涉仪可用于长度的精密测量,配上适当的附件还可测量角度、直线度、平面度、振动距离及速度等。
迈克尔逊干涉仪(英文:Michelson interferometer)是光学干涉仪中最常见的一种,其发明者是美国物理学家阿尔伯特·亚伯拉罕·迈克尔逊。迈克耳逊干涉仪的原理是一束入射光经过分光镜分为两束后各自被对应的平面镜反射回来,因为这两束光频率相同、振动方向相同且相位差恒定(即满足干涉条件),所以能够发生干涉。干涉中两束光的不同光程可以通过调节干涉臂长度以及改变介质的折射率来实现,从而能够形成不同的干涉图样。干涉条纹是等光程差的轨迹,因此,要分析某种干涉产生的图样,必需求出相干光的光程差位置分布的函数。双频激光干涉仪是一种利用两种不同频率的激光光源进行干涉测量的仪器。
基于菲索干涉仪的等厚干涉原理设计,通过对比被测平面与标准参照镜的干涉条纹变化,实现光学元件表面形状误差和材料均匀性的非接触式测量 [1] [3-4]。标准参照镜面形精度通常达到p-v:λ/20 [3-4]。测量口径:Φ60mm(典型型号) [3-4]对准方式:两点对准系统 [3-4]结构特性:小型化设计、防尘性能优异 [3-4]精度范围:根据型号不同覆盖1/10-1/100波长梯度 [11.光学制造:检测平面镜、棱镜等光学元件表面面型2.质量检测:评估光学材料均匀性与透镜波前像差 [1]3.科研实验:实验室环境下进行精密光学计量分析激光的出现在世界计量史上具有重大的意义。太仓购买双频激光干涉仪产品介绍
光电探测器将光信号转为电信号,经电路处理提取差频变化量,然后通过相位比较或脉冲计数来计算位移。虎丘区附近双频激光干涉仪设备厂家
分类激光干涉仪主要分为单频激光干涉仪和双频激光干涉仪两种:单频激光干涉仪:在20世纪60年代中期出现,**初用于检定基准线纹尺,后用于在计量室中精密测长。它对环境要求较高,周围大气需处于稳定状态,以避免空气湍流对测量结果的影响。双频激光干涉仪:出现于1970年,适宜在车间中使用。它应用频率变化来测量位移,对由光强变化引起的直流电平变化不敏感,因此抗干扰能力强。双频激光干涉仪常用于检定测长机、三坐标测量机、光刻机和加工中心等的坐标精度,也可用作测长机、高精度三坐标测量机等的测量系统。三、应用虎丘区附近双频激光干涉仪设备厂家
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