（1）几何精度检测 可用于检测直线度、垂直度、俯仰与偏摆、平面度、平行度等。（2）位置精度的检测及其自动补偿 可检测数控机床定位精度、重复定位精度、微量位移精度等。利用雷尼绍ML10激光干涉仪不仅能自动测量机器的误差，而且还能通过RS232接口自动对其线性误差进行补偿，比通常的补偿方法节省了大量时间，并且避免了手工计算和手动数控键入而引起的操作者误差，同时可比较大限度地选用被测轴上的补偿点数，使机床达到比较好精度，另外操作者无需具有机床参数及补偿方法的知识。光电探测器将光信号转为电信号，经电路处理提取差频变化量，然后通过相位比较或脉冲计数来计算位移。常熟附近双频激光干涉仪单价

多普勒效应：当测量镜移动时，测量光的频率变为f1±Δf，与参考光f2干涉后形成差频信号|(f1±Δf)-f2|，该信号反映出位移引起的频率变化。信号检测：光电探测器将光信号转为电信号，经电路处理提取差频变化量，然后通过相位比较或脉冲计数来计算位移。二、主要特点精度高：双频激光干涉仪以波长作为标准对被测长度进行度量，即使不做细分也可达到微米（μm）量级，细分后更可达到纳米（nm）量级。应用范围广：双频激光干涉仪可用于长度的精密测量，配上适当的附件还可测量角度、直线度、平面度、振动距离及速度等。相城区安装双频激光干涉仪产品介绍测量精度不受空气湍流的影响，无需预热时间。

激光的出现在世界计量史上具有重大的意义。用稳频的氦氖激光器作为光源，由于它的相干长度很大，干涉仪的测量范围可以**的扩展；而且由于它的光束发散角小，能量集中，因而它产生的干涉条纹可以用光电接收器接收，变为电讯号，并由计数器一个不漏的记录下来，从而提高了测量速度和测量精度，比如说我国自行设计与制造的以氦氖激光器作为光源的光电光波比长仪，可以在20分钟之内把1米线纹尺上1001条刻线依次自动鉴定完毕，精度达到±0.2μm，这就是激光干涉仪的成功例证。

激光干涉测量仪是一种基于激光干涉原理的高精度计量仪器，广泛应用于工程与技术科学领域 [1-2]。该仪器通过测量激光波长变化实现几何量的检测，具备抗干扰能力强、精度高等特点。主要应用场景包括数控机床校准、三坐标机校准、光学平台校准等，通过与不同光学组件结合，可检测线性位移、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等参数 [2]截至2020年11月，激光干涉测量仪的技术参数包括 [1]：标准量程：0-40米测量精度：±0.5 ppm分辨率：1纳米比较大速率：240米/分钟角度测量精度：0.2%其原因在于它是一种直流测量系统，必然具有直流光平和电平零漂的弊端。

环境适应力强：双频激光干涉仪采用交流放大器对干涉信号进行放大，即使光强衰减90%，仍然可以得到有效的干涉信号。因此，它既可在恒温、恒湿、防震的计量室内使用，也可在普通车间内为大型机床的刻度进行标定。实时动态测速高：现代的双频激光干涉仪测速普遍达到1m/s，有的甚至达到十几m/s，适于高速动态测量。三、应用领域几何量精密测量：用于长度、角度、直线度、平行度、平面度、垂直度等几何量的高精度测量。同时，既支持几十米大量程的检测（如大型机械），也可对手表零件等微米级运动进行测量。它通过将光束分成两部分，分别经过不同的路径后再合并，形成干涉图样。常熟附近双频激光干涉仪单价

双频激光干涉仪以波长作为标准对被测长度进行度量的仪器。常熟附近双频激光干涉仪单价

光源：提供相干光，通常是激光，因为激光具有高度的相干性，能够产生稳定的干涉条纹。分束器：将光束分成两部分，通常使用半透半反镜或分光棱镜。反射镜：调节光程差，确保两束光在干涉屏（或检测器）上相遇时具有合适的相位差。干涉屏（或检测器）：显示干涉结果，或将干涉后的光束转换为电信号进行进一步分析。三、分类干涉仪可以按照不同的分类原则进行分类，常见的分类方法包括：按结构区分：分为单路径干涉仪和多路径干涉仪。单路径干涉仪中，干涉的波通过同一路径传播，如Sagnac干涉仪、等倾干涉和等厚干涉等；而多路径干涉仪中，干涉的波通过不同的路径传播，如迈克尔逊干涉仪。常熟附近双频激光干涉仪单价

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