分类激光干涉仪主要分为单频激光干涉仪和双频激光干涉仪两种：单频激光干涉仪：在20世纪60年代中期出现，**初用于检定基准线纹尺，后用于在计量室中精密测长。它对环境要求较高，周围大气需处于稳定状态，以避免空气湍流对测量结果的影响。双频激光干涉仪：出现于1970年，适宜在车间中使用。它应用频率变化来测量位移，对由光强变化引起的直流电平变化不敏感，因此抗干扰能力强。双频激光干涉仪常用于检定测长机、三坐标测量机、光刻机和加工中心等的坐标精度，也可用作测长机、高精度三坐标测量机等的测量系统。三、应用现代的双频激光干涉仪测速普遍达到1m/s，有的甚至于十几m/s，适于高速动态测量。相城区安装双频激光干涉仪产品介绍

激光干涉仪具有广泛的应用领域，包括但不限于：科学研究：用于检测引力波、测量微小位移和振动等。工业制造：用于精密机械加工、质量控制和机床校准等。在机床校准中，激光干涉仪能够测量机床的线性定位误差、直线度误差、偏摆角、俯仰角和滚动角等，以及速度、加速度、振动等参数，并评估机床的动态特性。计量学：用于长度标准的校准。通信：用于光纤传感和信号处理。四、主要特点高精度：激光干涉仪能够实现亚纳米级的测量精度，非常适合各种高精度测量应用。工业园区通用双频激光干涉仪量大从优即使不做细分也可达到μm量级，细分后更可达到nm量级。

折射率测定两光束的几何路程保持不变，介质折射率变化也可导致光程差的改变，从而引起条纹移动。瑞利干涉仪就是通过条纹移动来对折射率进行相对测量的典型干涉仪。应用于风洞的马赫-秦特干涉仪被用来对气流折射率的变化进行实时观察。波长的测量任何一个以波长为单位测量标准米尺的方法也就是以标准米尺为单位来测量波长的方法。以国际米为标准，利用干涉仪可精确测定光波波长。法布里-珀**涉仪（标准具）曾被用来确定波长的初级标准（镉红谱线波长）和几个次级波长标准，从而通过比较法确定其他光谱线的波长。

双频激光干涉仪是在单频激光干涉仪的基础上发展的一种外差式干涉仪。和单频激光干涉仪一样，双频激光干涉仪也是一种以波长作为标准对被测长度进行度量的仪器。双频激光干涉仪可以在恒温，恒湿，防震的计量室内检定量块，量杆，刻尺和坐标测量机等。它既可以对几十米的大量程进行精密测量，也可以对手表零件等微小运动进行精密测量，既可以对几何量如长度、角度．直线度、平行度、平面度、垂直度等进行测量，也可以用于特殊场合，诸如半导体光刻技术的微定位和计算机存储器上记录槽间距的测量等等。双频激光干涉仪的发明使激光干涉仪摆脱了计量室的束缚，更为广泛的应用于工业生产和科学研究中。

激光平面干涉仪是基于菲索干涉原理设计的光学精密计量仪器，主要用于检测光学元件表面面形精度和光学材料的均匀性 [1] [3-4]。该设备测量精度可达到1/10-1/100波长量级，采用半导体激光器（635nm）作为光源，具有防尘效果好、结构紧凑等特点，适用于光学车间、实验室等场景的批量检测 [3-4]。上海乾曜光学科技有限公司与北京海富达科技有限公司均具备相关生产能力，其中G150M、G200M及60-LP等型号产品采用标准化测量口径设计，可满足不同使用场景需求 [2-4]。截至2025年，相关企业产品已服务国内外科研院所及工业企业 [2]。光束分割：通过分束器将激光束分成两部分，通常称为参考光束和测量光束。常熟附近双频激光干涉仪单价

和单频激光干涉仪一样，双频激光干涉仪也是一种以波长作为标准对被测长度进行度量的仪器。相城区安装双频激光干涉仪产品介绍

干涉图样分析：通过观察干涉条纹的变化，可以获取关于物**移、形状、厚度等信息。激光干涉仪广泛应用于精密测量、材料科学、光学研究、工程检测等领域。常见的类型包括迈克尔逊干涉仪、法布里-佩**涉仪和激光位移传感器等。由于其高精度和高灵敏度，激光干涉仪在科学研究和工业应用中都具有重要的地位。干涉仪是一种用于测量光波或其他波动现象的仪器，利用干涉原理来分析波的特性。干涉是指两束或多束波在空间中相遇时相互叠加，形成新的波形的现象。干涉仪广泛应用于物理学、工程学、光学等领域。相城区安装双频激光干涉仪产品介绍

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