陶瓷吸盘是圆盘脱水机的主要部件,决定着石膏生产效率.通过对陶瓷吸盘的研究,形成一套延长陶瓷吸盘寿命的经验总结。通过对陶瓷吸盘标注进行陶瓷吸盘定位,加强反冲洗,联合清洗,调整旋转频率等措施,延长了陶瓷吸盘寿命,从而提高了石膏的产量并降低了维护费用。陶瓷吸盘从上到下依次包括吸盘本体,吸盘真空吸附层和吸盘冷却水层,制造方法包括如下步骤:(1)将碳化硅造粒粉体等静压成型获得吸盘本体素坯,吸盘真空吸附层素坯和吸盘冷却水层素坯;(2)根据吸盘尺寸对三种素坯进行加工;(3)对三种素坯进行高温烧结。加工工艺是保证陶瓷吸盘质量的前提。苏州晶圆陶瓷吸盘供应价格
反冲洗效果好坏直接决定陶瓷吸盘寿命长短,反冲洗介质是水和压缩空气的混合流体,要求水源压力不低于0.3 MPa,气源压力不低于0.4 MPa,冲洗时汽水混合罐处的压力不低于0.25 MPa;水质良好,含杂质粒度小于20 um。对于不能满足要求的水源,需要加装过滤装置。该公司共加装2级过滤器,第1级滤网孔径50 um,第2级滤网孔径10 um。在第1级滤网前和第⒉级滤网后均设置压力表,以观测滤网堵塞情况。当过滤装置前后压差过大且不能满足反冲洗用水要求时,需要清理过滤器滤网,以保证反冲洗效果。反冲洗效果变差,将造成陶瓷吸盘毛细孔被浆液堵塞,加速陶瓷吸盘的失效。安徽陶瓷吸盘哪里有卖陶瓷真空吸盘还可以在传输型气浮模组中使用。
在进行解键合工艺时会用多孔吸盘来吸附100um厚度的半导体晶圆,此项工艺作业时会将键合粘结剂与键合wafer上的金属残留在多孔吸盘上。残留的有机粘结剂杂质在温度120℃时处于完全液态,易被吸附进多孔吸盘的孔洞内,而其中无机物金属颗粒(例如ni-auge合金)通常是附着在多孔吸盘的表层。有机粘结剂在加热状态下液化,受真空吸附力影响会流动到多孔吸盘的孔洞内,金属颗粒会在此加热状态下进行一定程度延展拉伸式的合金化,合金化金属结合力会增强,从而造成有机粘结剂在多孔吸盘的孔洞内和表面存在,合金化金属覆盖在有机粘结剂表面并将有机粘结剂进行包裹。
陶瓷吸盘清洁说明:可用肥皂、温水和(比较后用)柔软刷具清洁陶瓷吸盘。在室温下风干。清洁陶瓷吸盘的比较方式是使用表面活性清洗溶剂(中性pH值)并辅以机械处理。建议使用柔软刷具或超声波设备清洁陶瓷吸盘表面。溶剂中的表面活性剂可消除污垢。可按10:1的比例混合乙醇和甘油,并用这种混合清洗液清洁橡胶件和金属的连接部位。储存较长时间(6-8个月)后,可用小苏打溶液(1.5%)清洗陶瓷吸盘。务必用清水冲干净残留溶液。在任何情况下都不得用以下产品清洗陶瓷吸盘:纯甘油或溶剂,例如三氯乙烯、四氯化碳或碳氢化合物。禁止使用醋酸类清洁用品或锐利物、金属刷或砂纸。陶瓷吸盘的吸附力分布均匀,性能高,质量好比较适用于薄膜。
传统的陶瓷吸盘都是一体式结构,直接安装在工作台上。在晶片磨削过程中,往往伴随着大量颗粒和污水,并且会进入吸盘和工作台之间,造成精度误差;在晶圆抛光和清洗过程中,抛光液和水雾进入工作台,还会引起设备的腐蚀生锈;在晶片的加工中,由于碎片导致工作台堵塞会影响设备运转,极大地降低了生产效率。然而,当发生以上设备常见问题时,传统的一体式真空吸盘,拆卸清理维修时又必须将整个吸盘,以及连接在吸盘上的各种真空接头,管路一起拆卸,极为不便。并且由于一体式的结构,防水布置困难,易发生工作台系统腐蚀生锈,也难以局部更换。陶瓷吸盘出厂后,一般有60小时左右的磨合期,这是制造工厂根据陶瓷吸盘使用初期的技术特点而划定的。成都晶圆陶瓷吸盘哪家好
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多孔陶瓷吸盘因其与液体和气体的接触面积大,使电解池的槽电压比使用一般材料低得多,而成为优良的电解隔膜材料,可降低电解槽电压,提高电解效率,节约电能和昂贵的电极材料。目前陶瓷隔膜材料已用在化学电池、燃料电池、光化学电池中,特别是固体氧化物电池。利用多孔陶瓷吸盘制备多孔电极。以多孔气体扩散电极为例,它的比表面积不但比平板电极提高3~5个数量级,而且液相传质层的厚度也从平板电极的10cm压缩到1O~10cm,从而提高电极的极限电流密度,减少浓差极化。苏州晶圆陶瓷吸盘供应价格
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