Table Stable生产的主动式微振动控制系统AVI是一款多功能的主动式防振系统，具有**的防振单元和控制器。

可能有多种变化，例如将其用作电子显微镜（SEM）的隔振台，或与光学平台结合使用的高性能光学实验台。

特点：

?通过主动控制没有共振点，可以防止低频范围的振动。

?安装时不需要参数调整，安装后可以立即使用。-由于不使用空气弹簧，因此不需要空气弹簧。

?振动状态一目了然。

（可以目视观察控制器的每个LED闪烁单元的振动状态。）

-加速度信号可以从外部输出。

（通过将BNC连接器连接到示波器，可以看到活动对象正在正常工作。 主动防振台通过电气控制，向传入振动瞬间施加反方向的力，从而消除振动。高精密仪器隔振台大型半导体设备防震台应用

LFS-2传感器测量两个轴的水平加速度，直至频率为约0.2Hz 传感器直接放置在地板上，并用于前馈回路中与标准AVI / LP系统结合使用，可在非常低的情况下提高隔振效果频率。 LFS-2可以改装为现有的AVI-LP系统。下表显示了在AVI / LP上测得的水平隔离度（透射率）有和没有LFS的系统。

将传感器连接到AVI /系统？

传感器LFS-2具有单独的电源，该电源通过D-Sub25插座连接到LFS-2控制单元。 用D-Sub 25将电源连接到传感器电缆。

每个AVI元素必须连接到背面的D-Sub15插座之一传感器的 LFS的实际位置并不重要，但必须放置它在支持AVI单元的同一表面上。将AVI单元的上部D-Sub 15插座连接到传感器。

TS-C

TS-C系列是紧凑的动态防振系统，可隔离所有六个平移和旋转振动模式。

这些价格适中的动态振动隔离系统在体积上却比比较大，**昂贵的无源系统更好地实现了隔离。使用压电力马达的惯性反馈不仅可以隔离建筑物的振动，还可以隔离放置在系统本身上的振动源。例如，这意味着即使通过操作员的手施加了力，由系统隔离的精密显微镜也将保持静止。

该系统的固有刚度比1Hz谐振无源隔离器的固有刚度大25倍，可提供出色的方向和位置稳定性。

有源隔离系统的特性通常表现为几乎没有低频共振，这种共振困扰着所有无源隔离系统。

该系统的设计即使在低至2-3

Hz的频率下也能提供出色的隔离度，在该频率下，许多建筑物由于绕垂直轴的振荡而显示出较大的水平振幅。隔离从大约0.7Hz开始，并迅速增加到至少10Hz以外的至少40 dB。

TS-150安全守则

?只能将系统插入具有单独接地的插座。 不要断开此连接通过插座或使用不接地的延长线接地。

?在打开本设备之前，请确保已将其连接到正确的电源电压。

?请勿卸下任何盖子或让任何金属物体进入设备的任何开口。

?请勿拆卸或尝试维修系统。 这可能会导致电击或损坏到系统。

?卸下任何主机盖之前，请先断开电源。 请把维修交给合格的人员。

?请勿在有危险的环境中使用。

?请勿在顶板上钻任何孔。 这会损坏系统。

?如果您怀疑系统有任何不安全之处，请拔下电源插头并防止可能发生的意外事 故用法。 请与您**近的服务中心联系。

TS-C系列具有通用输入，可以连接到100至240 VAC 的任何交流电源。

TS特点：

◎在全部的6个自由度范围内，从0.7Hz到100Hz，TS系列产品提供优良的主动隔振性能。

◎当仪器装载时，高度调整会自动进行。

◎即使当负载偏离中心时，自动调平功能也能保持水准。当高重心的仪器被加载时，给予稳定性。

◎通过按下前方的按钮，系统可以锁定或者解锁。锁定功能可以防止在系统重新加载或传输中发生损坏。

◎前方的显示屏展示了在X,Y和Z方向的实际振动水平。

◎主动隔振也可以通过使用可选的远程控制箱来从外部启用或禁用 Herz 防震台/防振台是世界上****的防震台/防振台系统方案供应商之一。桌面式隔振台隔振台推荐产品

使用D-Sub 15M-F电缆将T-Box连接到TS的背面。无需单独的电源。通过模式开关可以选择不同的激励方向。高精密仪器隔振台大型半导体设备防震台应用

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·AVI系列振动传递率

横坐标为频率，纵坐标为传递率的数据，在10hz频率以上时，传递率的数据小于0.02，很好地起到了隔振作用。

AVI承载不同重量时不同方向上振动衰减的数据（实验室实验数据）

垂直方向上的振动传递衰减，在承重时10hz的频率以上时，比较大可以达到40dB的衰减。隔振效率可以达到99%以上的效果。10Hz以上的频率正常情况下是30dB到40dB的衰减。

高精密仪器隔振台大型半导体设备防震台应用

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