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**频隔震台隔振台激光设备主动防震应用

来源: 发布时间:2020-11-22

支撑面测试

在系统运行时,推动支撑表面。 灯不亮,除了可能会大力推动。 如果可以轻松使灯点亮,则支撑表面刚度不足以获得充分的性能。 确定支撑表面是否起反应对水平或垂直力施加更大的作用,并尝试适当地使结构变硬。请注意,该系统将在任何支撑表面上运行,但会产生共振的柔软结构放大某些建筑物的振动频率,因此这些振动频率会降低隔离的。



桌面选择

桌面必须足够坚硬,以防止两个隔离单元相对旋转他们的长横轴。 蜂窝面包板或30mm厚的铝板会产生比较好的结果,但是可以使用石板甚至是实心木板。 对于的位置固定孔,请参阅本文档末尾的钻孔计划。注意,也可以将隔离单元直接连接到支持的设备上。 在这坚固的安装是***必要的。 我们很乐意为您提供比较好安装建议方法。


Table Stable生产的主动式微振动控制系统AVI是一款多功能的主动式防振系统,具有**的防振单元和控制器。**频隔震台隔振台激光设备主动防震应用

传感器LFS-3有一个单独的电源,通过D-Sub25插座连接到LFS-3控制单元。用D-Sub25电缆将电源连接到传感器。每个单独的AVI元件必须连接到传感器后部的D-Sub15插座之一。LFS的实际位置并不重要,但它当然必须放置在支持AVI单元的同一表面上。将AVI单元的上D-Sub 15插座(诊断插座)连接到传感器

设置并将电源连接到传感器后,系统即可使用。

按下电源上的电源旋钮,打开电源。绿色的LED将亮起。红色的发光二极管开始闪烁,这意味着存在一些振动。现在您可以通过按下启用按钮来启用系统。红色的发光二极管不应该再亮了。如果它们亮了,那意味着系统超载,建筑物内的振动太严重。 微纳米结构和加工仪器隔振台质保期多久振动分析系统VA-2C是带有远程测量头的系统,可轻松测量三个正交方向上的加速度,速度或位移。

LFS控制单元上的每个D-Sub15插座都有4个对应于AVI元件的开关输出,这些AVI元件以任意4个矩形方向(即平行或直角)放置,不允许其他方向。

面向LFS传感器的蓝色LED直立。将***个AVI元件连接到后面板上的12个D-Sub15插座中的任何一个。使用笔在位置A和D之间滑动开关。

传感器的位置:

传感器可以移动到任何所需位置。它可能位于负载下方或外部,但必须位于支持AVI元件的同一表面上。连接后,传感器与AVI单元的方向必须保持不变。

支承面刚度:

支承面的刚度很重要。水平传感器无法区分水平加速度和倾斜。因此,LFS和AVI元件所在的支承面必须尽可能坚硬,以便在附近移动时不会明显倾斜。倾斜将导致传感器输出饱和,隔离将失效。

TS主动隔振台在3D空间的6个自由度中主动式隔振  从0.7 Hz 到100 Hz

在21世纪纳米技术(即先进的半导体**相关的信息技术,基因疗法等生命科学相关技术,原子或分子处理如MEMS和工程技术等新材料生产), 振动、噪声、电磁领域、热、湿度、干扰等是测量环境的抑 制因素。

在纳米技术中,为了获得可靠的结果,使用充气被动隔振台无法隔离低频振动,此时需要主动隔离。先进的主动式隔振系统“TS 系列” 将作为21世纪纳米技术的隔振技术基础。它将有助于发展目前的技术和测量、创新和发展未知的技术。

装载设备:

扫描电子显微镜,如 AFM3D表面分析仪,激光显微镜,激光干涉仪,液体表面张力测量系统,显微硬度测量仪,

医疗检测设备等 TS-140的高度*为84毫米。

TS-C

TS-C系列是紧凑的动态防振系统,可隔离所有六个平移和旋转振动模式。

这些价格适中的动态振动隔离系统在体积上却比比较大,**昂贵的无源系统更好地实现了隔离。使用压电力马达的惯性反馈不仅可以隔离建筑物的振动,还可以隔离放置在系统本身上的振动源。例如,这意味着即使通过操作员的手施加了力,由系统隔离的精密显微镜也将保持静止。


该系统的固有刚度比1Hz谐振无源隔离器的固有刚度大25倍,可提供出色的方向和位置稳定性。

有源隔离系统的特性通常表现为几乎没有低频共振,这种共振困扰着所有无源隔离系统。


该系统的设计即使在低至2-3

Hz的频率下也能提供出色的隔离度,在该频率下,许多建筑物由于绕垂直轴的振荡而显示出较大的水平振幅。隔离从大约0.7Hz开始,并迅速增加到至少10Hz以外的至少40 dB。 传感器可以移动到任何所需位置。AVI-400MLP隔振台

LFS和AVI元件所在的支承面必须尽可能坚硬,以便在附近移动时不会明显倾斜。**频隔震台隔振台激光设备主动防震应用

传感器位置

传感器可以移动到任何期望的位置。 它可能位于负载下方或外部,但必须位于支持AVI元素的同一表面上。 制作后连接时,传感器与AVI单元的方向必须保持不变。


支撑面的刚性

支撑表面的刚性很重要。 水平传感器无法区分在水平加速度和倾斜之间。 LFS和因此,AVI元素所在的位置必须尽可能坚硬,以使其不会明显倾斜当人们在附近移动时。 倾斜会导致传感器输出饱和并失去隔离。


运作方式

设置好并将电源连接到传感器后,就可以使用系统了。按下电源上的电源旋钮打开电源。 绿色LED将点亮。 红色LED开始闪烁,这意味着存在一些振动。现在,您可以通过按启用按钮来启用系统。 红色LED不应点亮了。 如果它们点亮,则表示系统过载且振动建筑物中存在的物体太严重。


请注意,如果未启用LFS,则它将无效。


敏感的传感器单元,请勿撞击,敲打或跌落!


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