所述的磷酸浓度为82-87%。进一步地,本发明涉及上述蚀刻液,醇醚类的含量为%。进一步地,本发明涉及上述蚀刻液,表面活性剂的含量为%。进一步地,本发明涉及上述蚀刻液,所述的醇醚类为选自二乙二醇单甲醚、丙二醇丁醚、二丙二醇甲醚、二乙二醇丁醚、三乙二醇乙醚、三丙二醇单甲醚、三甘醇单丁醚等中的至少一种;表面活性剂为选自脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p、壬基酚聚氧乙烯醚np-10、聚乙二醇硬脂酸酯egms、烷基酚聚氧乙烯醚硫酸钠、月桂酰氨乙基硫酸钠、醇醚羧酸盐等中的至少一种。进一步地,在使用本发明的蚀刻液进行氮化硅层蚀刻时,蚀刻温度为152-165℃,蚀刻时间为5-60min。通过在磷酸中添加醇醚类和表面活性剂,改善了磷酸的浸润性和表面张力,明显提高了蚀刻液对氮化硅层的润湿和蚀刻均匀性。为了便于验证氮化硅薄膜层的蚀刻均匀性,本发明使用淀积了氮化硅薄膜的晶圆样片(初始厚度约为)。蚀刻液配制完成后,先使用表面张力仪检测该蚀刻液的表面张力;然后将氮化硅晶圆片切割成1cm*3cm的小样片,采用超纯水清洗和氮气吹干后,使用接触角测量仪检测蚀刻液对氮化硅层的接触角大小。在蚀刻前,使用椭圆偏振光谱仪对氮化硅样片取不同位置共6个点进行厚度的测量。欢迎光临苏州博洋化学股份有限公司。安徽哪些新型BOE蚀刻液私人定做
sedispondrándeanillosderefuerzoennúánenelinteriordelasvirolasalasqueestánfijadosporsoldaduraenángulodiscontinua,concosturasalternadassobrelosdosladosdelalma,conunainterrupciónenlageneratrizinferiorparadarpasoallíquido,áncubrirnitotalniparcialmentelassoldaduras,ánconarcoeléctricoyserealizaráétodoempleadoylapreparacióndelosbordesdebenpermitirconseguirunasoldadurasanaatodololargodelasjuntas,asíánconunprocedimientohomologadoqueasegureunapenetracióntotal,consoldaduraporambascaras,oconprocedimientoshomologadosqueconsigaigualmenteunapenetracióóándemaneraquenoesténenlaprolongaciónlasunasdelasotras,conunasseparacionesmínimasde100milíánenlamitadsuperiordelosdepósitos,simétricamente,aunoyotroladodelplanoverticaldesimetríáformadapormáón,etc.,deberáencontrarseamenosde50milíóósitosnodeberásersuperiorenun3por100alacapacidadnominal,ámenesenfabricacióó).aSobreespesoresnominalesdelaschapasydelosfondos:segúnUNE36-559。浙江介绍BOE蚀刻液销售公司苏州博洋化学股份有限公司欢迎新老朋友咨询。
其扩散管深入到所述再生液调配缸中;液体泵,其一端通过管道连接所述再生液调配缸的循环出液口,另一端通过管道连接所述射流器的进液口,用于将所述再生液调配缸中的电解后液通过所述管道抽取至所述射流器的进液口。进一步地,所述酸性蚀刻液电解后液处理系统还包括:曝气装置,用于向所述再生液调配缸中的电解后液输送气体以进行搅拌。进一步地,所述酸性蚀刻液电解后液处理系统还包括:后续处理系统,用于向经过所述再生液调配缸处理过的电解后液中加入氯化钠、盐酸并搅拌均匀。更进一步地,所述电解槽的阳极为石墨电极,阴极为钛或钛合金板状电极。更进一步地,所述电解槽中阴极与阳极之间的距离为55mm。更进一步地,所述电解槽的电流密度为300a/m2。本实用新型所提供的酸性蚀刻液电解后液处理系统通过简单的结构实现了电解后废液的再生利用,可节约能耗和药品,提高经济效益。附图说明图1是本实用新型实施例提供的酸性蚀刻液电解后液处理系统的结构图;图2是本实用新型第二实施例提供的酸性蚀刻液电解后液处理系统的结构图。具体实施方式为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解。
deacuerdoconlascantidadesindicadasenelapartadodelanormaUNE20-322.)ípicasaconsiderarson:1.oIsletasdedistribució.o.oLocalesoedificiosdeservicio,conalmacenajedelubricantes.)Influenciadelaventilacióónafectarádeformadirectaaltipoy/oextensióáíndicedeventilación(renovaciones/horas)elevadodetalformaqueelgradodepeligrosidaddelemplazamientopuedellegaraser?nopeligroso?.Portanto,aunenelcasodeunafuentedeescapedegradocontinuolascondicionesdelaventilaciónpuedencrearmásdeuntipodezonaalrededordelafuentedeescapeounazonadetipoyextensióndiferente.)Determinacióndelaextensió(cantidadmínimadesustanciainflamable。来苏州,来博洋,BOE蚀刻液专业厂商。
asícomoeldeinstalaciónypruebasdelosmismos,deacuerdoconunasnormasycóásustituirseporotrodehomologació)Normasdeaplicación:Enlosplanosseindicaránlasnormasdeaplicaciónutilizadasparalaclasificacióndelosemplazamientosasícomolaseleccióndelosmaterialeseléctricos,ándecobre,conaislamientodePVCycubiertaexternadePVCresistentealoshidrocarburosynopropagadoradelallama,segúónylasintensidadesmáximasestaráónmecánica,oquedispongandearmaduraabasedehilosdeacerogalvanizado,susecciónmínimapodráserde2,5milímetroscuadrados,paraalimentacionesdefuerza;paraalumbradoycontrol,tendránunasecciónmínimadeunmilíálculodelaseccióndeloscables,laintensidadadmisibledelosconductoresdeberádisminuirseenun15por100,ademásdeaplicarlosfactoresdecorreccióndependiendodelascaracterísticasdelainstalacióándisponerdeunaproteccióncontracortocircuitosycontrasobrecargassiéánconconductordeproteccióásicas,tresfasesyconductordeprotección,encircuitosmonofásicos,fase。BOE蚀刻液厂家直销价格。江苏一种BOE蚀刻液价格
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然后将装有蚀刻液的石英烧瓶放入加热套中加热,待加热到确定温度后,放入氮化硅样片进行蚀刻;蚀刻完后,取出样片采用热超纯水清洗和氮气吹干后,使用椭圆偏振光谱仪对蚀刻前所取位置的6个点的厚度进行测量,计算蚀刻前后6个取点的厚度差值,对比6个点之间的厚度差值的差异。与现有的使用磷酸作为蚀刻液相比,本发明的有益效果是:醇醚类和表面活性剂的添加能明显改善磷酸溶液的浸润性和降低磷酸溶液的表面张力,有效提高了蚀刻液对氮化硅层的润湿性和蚀刻均匀性。具体实施方式下面结合具体实施例,进一步阐述本发明,对本发明做进一步详细的说明,但不限于这些实施例。本发明的蚀刻液配制时选择的磷酸浓度为85%,蚀刻温度为160℃,蚀刻时间为10min。先对所配制蚀刻液的表面张力进行检测,然后将氮化硅样片使用超纯水清洗和氮气吹干后,进行接触角的测量;蚀刻前使用超纯水清洗和氮气吹干氮化硅样片后,在氮化硅样片上取6个不同位置的点对其厚度进行测量;蚀刻完成后使用热超纯水清洗和氮气吹干氮化硅样片后,取与蚀刻前相同位置的6个点进行厚度测量。实施例1本发明的实施例按蚀刻液总质量为400g进行配制,先称取浓度为85%的磷酸,然后称取添加剂加入磷酸中。安徽哪些新型BOE蚀刻液私人定做