然后将装有蚀刻液的石英烧瓶放入加热套中加热，待加热到确定温度后，放入氮化硅样片进行蚀刻；蚀刻完后，取出样片采用热超纯水清洗和氮气吹干后，使用椭圆偏振光谱仪对蚀刻前所取位置的6个点的厚度进行测量，计算蚀刻前后6个取点的厚度差值，对比6个点之间的厚度差值的差异。与现有的使用磷酸作为蚀刻液相比，本发明的有益效果是：醇醚类和表面活性剂的添加能明显改善磷酸溶液的浸润性和降低磷酸溶液的表面张力，有效提高了蚀刻液对氮化硅层的润湿性和蚀刻均匀性。具体实施方式下面结合具体实施例，进一步阐述本发明，对本发明做进一步详细的说明，但不限于这些实施例。本发明的蚀刻液配制时选择的磷酸浓度为85％，蚀刻温度为160℃，蚀刻时间为10min。先对所配制蚀刻液的表面张力进行检测，然后将氮化硅样片使用超纯水清洗和氮气吹干后，进行接触角的测量；蚀刻前使用超纯水清洗和氮气吹干氮化硅样片后，在氮化硅样片上取6个不同位置的点对其厚度进行测量；蚀刻完成后使用热超纯水清洗和氮气吹干氮化硅样片后，取与蚀刻前相同位置的6个点进行厚度测量。实施例1本发明的实施例按蚀刻液总质量为400g进行配制，先称取浓度为85％的磷酸，然后称取添加剂加入磷酸中。BOE蚀刻液，高效，品质之选。浙江BOE蚀刻液生产

    queseencuentrenentrámitedeautorizaciónenlafechadeentradaenvigordelpresenteRealDecreto,seguiránrigiéánacogersealasprescripcionesestablecidasenlaInstrucciónTécnicaComplementaria,desdeelmomentodesupublicaciónenel?BoletínOficialdelEstado?.Disposicióónalpormenordecarburantesycombustiblespetrolíferoseninstalacionesdeventaalpúblico,existentesalaentradaenvigordelaanexaITC,sesometeránalasinspeccionesypruebasperiódicasindicadasenelcapíósitosinstaladosconanterioridadalafechadeentradaenvigordelpresenteRealDecreto,dispondrándelossiguientesplazospararealizarlaspruebasestablecidasenelcapítuloVdelaanexaITC:1.oLosconstruidosantesde1963:dosa?.oLosconstruidosentre1963y1968:cuatroa?.oLosconstruidosentre1968y1973:seisa?.oLosconstruidosentre1973y1978:ochoa?os5.oLosconstruidosentre1978yfechadeentradaenvigor:dieza?üedaddelosdepósitosseráladefabricaciónolafechadelaúltimapruebarealizadaalosdepósitosencondicionessimilaresalasindicadasenelcapíónderogatoriaúnicadelRealDecr。江苏什么是BOE蚀刻液哪里买苏州博洋专业生产,BOE蚀刻液。

    ósitosapareddecubetoserácomomínimode50centímetrosyentretanquesserááóóónexteriordelosdepósitosseestudiarádeformaespecialenloscasosdeexistenciadeaguasselenitosas,corrosivasuotroselementosagresivosenlazonaadyacentealenterramientoycomomínimo,enmedionoagresivo,elrevestimientodeberá:1.oTenerunespesormí.oResistiralensayode15kVdetensióndeperforación,.oónseaplicarásobretodalasuperficieexterior,ósitosselimpiarádeaceites,grasas,etc.,aplicándoseuntratamientodecepilladomanualomecánicoparaconseguirquelasuperficiepresenteunaspectodebrillometálico,ónpasivainterior,á?ósitosdeaceroinoxidablenoseránecesarialaproteccióáunaorejetaenchapadeacerodecincomilímetrosdeespesorcomomínimo,soldadaalcuellodelabocadehombreparalaconexión,mediantetornilloosoldadura?CADWELD?,delalíneadetierraoproteccióncatódica;launiónseprotegeráyaislarámediantepastasepoxíálacontinuidadeléctricadelatapadelabocadehombre。

    所述的磷酸浓度为82-87％。进一步地，本发明涉及上述蚀刻液，醇醚类的含量为％。进一步地，本发明涉及上述蚀刻液，表面活性剂的含量为％。进一步地，本发明涉及上述蚀刻液，所述的醇醚类为选自二乙二醇单甲醚、丙二醇丁醚、二丙二醇甲醚、二乙二醇丁醚、三乙二醇乙醚、三丙二醇单甲醚、三甘醇单丁醚等中的至少一种；表面活性剂为选自脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p、壬基酚聚氧乙烯醚np-10、聚乙二醇硬脂酸酯egms、烷基酚聚氧乙烯醚硫酸钠、月桂酰氨乙基硫酸钠、醇醚羧酸盐等中的至少一种。进一步地，在使用本发明的蚀刻液进行氮化硅层蚀刻时，蚀刻温度为152-165℃，蚀刻时间为5-60min。通过在磷酸中添加醇醚类和表面活性剂，改善了磷酸的浸润性和表面张力，明显提高了蚀刻液对氮化硅层的润湿和蚀刻均匀性。为了便于验证氮化硅薄膜层的蚀刻均匀性，本发明使用淀积了氮化硅薄膜的晶圆样片(初始厚度约为)。蚀刻液配制完成后，先使用表面张力仪检测该蚀刻液的表面张力；然后将氮化硅晶圆片切割成1cm*3cm的小样片，采用超纯水清洗和氮气吹干后，使用接触角测量仪检测蚀刻液对氮化硅层的接触角大小。在蚀刻前，使用椭圆偏振光谱仪对氮化硅样片取不同位置共6个点进行厚度的测量。选择BOE蚀刻液，实现高精度蚀刻效果。

    添加剂为二乙二醇单甲醚、三乙二醇乙醚、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p，添加量分别为％、％、％。实施例6本发明的实施例按蚀刻液总质量为400g进行配制，先称取浓度为85％的磷酸，然后称取添加剂加入磷酸中，该实施例中所含成分及各成分称取的质量显示于表1。添加剂为丙二醇丁醚、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p、月桂酰氨乙基硫酸钠，添加量分别为总质量的％、％、％。对照例对照例中所含成分显示于表1，并采用与实施例相同的方法进行处理。对照例1为纯磷酸，总质量为400g。对照例2为磷酸、丙二醇丁醚，其中丙二醇丁醚的添加量为总质量的％。对照例3为磷酸、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p，其中脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p的添加量为总质量的％。结果如表2所示，与对照例蚀刻液相比，实施例蚀刻液有更低的表面张力和接触角，并且氮化硅层蚀刻后显示出良好的均匀性。表1表2显然，上述实施例和对照例是为了清楚地说明所作的实例，而并非对实施方式的限制。对于所属领域的技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动，这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而因此所引申的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之内。博洋 BOE 蚀刻液有妙招，个性化解决方案为您排忧解难。江西介绍BOE蚀刻液销售厂家

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    本实用新型属于废液处理领域，尤其涉及一种酸性蚀刻液电解后液处理系统。背景技术：酸性蚀刻液是用于印制电路板线路制作和多层板内层制作的蚀刻液，随着电路板行业的迅速发展，产生的废液量越来越大，发掘的污染物种类也越来越多，对环境造成巨大的危害，此类问题也成为社会的重要课题。为了减少甚至杜绝此类污染的发生，我们需要对酸性蚀刻液进行回收循环利用。目前对于酸性蚀刻废液的再生利用大多采用化学或电化学的方法，但传统的方法废液中总铜的含量不断增大，比重增加，必须排掉一部分废液或者补加子液和水来控制参数，这样污染大，影响环境，而且还会造成铜和酸的浪费。技术实现要素：本实用新型所要解决的技术问题为如何通过简单、低成本的技术实现种酸性蚀刻液电解后废液的再生利用。为解决上述技术问题，本实用新型是这样实现的，一种酸性蚀刻液电解后液处理系统，包括：电解槽，具有一出液口和出气口，且内置有酸性蚀刻液，用于对所述酸性蚀刻液进行电解提铜，产生氯气，得到电解后液；再生液调配缸，具有进液口和循环出液口，所述进液口通过管道与所述电解槽的出液口连接以接收电解后液；射流器，其进气口通过导气管与所述电解槽的出气口连接以接收所述氯气。浙江BOE蚀刻液生产