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    图1为本发明实施例提供的一种抛光减薄装置的结构示意图；图2为本发明实施例提供的一种托盘和待加工部件的键合固定方式示意图；图3为本发明实施例提供的一种磁转子的结构示意图；图4为本发明实施例提供一种磁转子的旋转方式的示意图；图5为本发明实施例提供的一种抛光减薄方法的流程示意图。具体实施方式以上是本发明的思想，为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。本发明实施例提供了一种抛光减薄装置，用于对inp基晶圆等部件进行抛光减薄，如图1所示，包括托盘10、喷头11和磁转子12，当然，本发明实施例中的抛光减薄装置还包括反应室13等，托盘10、喷头11和磁转子12等在反应室13内进行抛光和减薄反应。其中，托盘10，可选为石英托盘，用于固定待加工部件20，待加工部件20包括inp基晶圆。喷头11用于向待加工部件20的待加工表面喷涂抛光液110，以对待加工表面进行抛光。

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    且所述限位块438和所述第二限位块439均可在所述限位孔437内移动，通过所述连接部433的限位效果，避免所述支撑条431和所述第二支撑条432在磁力作用下产生脱离，从而使所述支撑条431和所述第二支撑条432在磁力和所述连接部433的限位力作用下保持平衡。一般的，所述位块438和所述第二限位块439均设置为圆柱型，从而便于所述限位块438和所述第二限位块439在所述限位孔437内的移动。当放置于所述底支撑件43上的玻璃受到冲击或振动时，所述支撑条431可相对于所述第二支撑条432作水平方向的偏移移动，或所述限位块438和所述第二限位块439均在所述限位孔437内移动，使所述支撑条431可相对于所述第二支撑条432作竖直方向的移动，从而可实现对各个方向上冲击力或振动的吸收缓冲效果，提高玻璃的安全性。较佳的，所述限位块438和所述第二限位块439可设置为螺钉，所述限位孔437宽度配合所述螺钉的螺纹直径设置，在所述支撑条431和所述第二支撑条432上设置螺纹孔，通过将所述限位块438和所述第二限位块439与所述螺纹孔螺纹连接，从而实现所述限位块438和所述第二限位块439在所述支撑条431和所述第二支撑条432上的固定。通过将所述限位块438和所述第二限位块439设置为螺钉。南通性价比高的减薄用清洗剂商家