真空机中真空处理设备技术方案【产品定位】

本设备是针对盲孔类工件电镀及前处理工艺研发的专业真空处理系统，适用于半导体、精密电子、航空航天等领域的复杂结构工件处理。

【功能】

1.真空置换系统：采用旋片式真空泵组，可在60秒内将工作腔压力降至10mbar以下，通过动态真空置换技术实现盲孔内空气的高效抽离

2.智能补液系统：配备流量闭环控制系统，可根据工件孔径自动调节药液填充速率，确保微孔填充率≥99.8%

3.工艺可视化：配置5.7英寸工业级触控屏，实时显示真空度、液位高度、处理时间等关键参数

【技术优势】

1.采用304不锈钢内胆+高硼硅玻璃视窗组合，耐酸碱腐蚀且便于观察

2.可调式硅橡胶密封条配合气压补偿装置，确保真空度稳定维持在±0.5mbar

3.?？榛杓浦С值スの?双工位/多工位扩展，处理效率提升40%以上

【应用价值】

通过建立可控的负压环境，有效解决盲孔类工件因气穴导致的漏镀、膜厚不均等问题，使镀层均匀性提升至±5μm以内，降低不良品率。设备符合ISO9001质量管理体系及CE安全认证，已成功应用于100+客户的量产线，平均提升良品率25%，降低生产成本18%。 设备搭载智能故障诊断系统，可提前预警真空泵组异常，保障 24 小时连续稳定运行。重庆真空机盲孔产品解决方案

志成达研发的真空机，真空除油 —— 针对微孔产品清洁

在深孔盲孔电镀前处理中，真空除油技术成为关键突破口。传统超声波清洗难以触及 0.1mm 以下微孔内部的顽固油污，而真空除油设备通过 - 0.1MPa 负压环境，强制排出孔内空气并形成局部湍流，配合高温除油剂渗透，3 秒内 99% 以上的油渍。某航空部件制造商实测显示，经真空除油的钛合金深孔（深径比 8:1）清洁度提升 90%，后续电镀漏镀率从 18% 降至 3%。设备集成动态压力波动功能，可针对不同孔径自动调节真空强度，实现全尺寸覆盖。 节能真空机工艺优化方案盲孔内壁油污在真空状态下沸点降低，配合溶剂实现高效汽化分离，清洁精度可达 Ra0.01μm。

真空除油设备中，负压除油的流程：

1.抽真空阶段

将工件放入真空罐，启动真空泵使罐内压力降至设定值（通常-0.08~-0.1MPa）。持续抽气1~3分钟，排出盲孔内空气。

2.液体浸泡与沸腾

注入脱脂剂或溶剂，在负压下液体迅速沸腾，产生微气泡冲刷盲孔内壁。浸泡时间根据油污类型调整（通常3~5分钟）。

3.循环漂洗

排出污液后，注入清水或中和液，再次抽真空使液体渗透并排出?？芍馗?~3次，确保残留洗净。4.干燥阶段保持真空状态，通过热辐射或热风（60~80℃）快速蒸发残留液体?；指闯Ｑ购笕〕龉ぜ?。

志成达研发的真空机，是盲孔加工技术的突破瓶颈

在精密制造领域，盲孔结构因其独特的空间约束特性，成为衡量加工精度的重要指标。传统机械钻孔工艺在0.3mm以下孔径时，易产生毛刺、孔壁不规整等问题。随着半导体封装、微型传感器等领域的需求升级，负压辅助加工技术的引入，使盲孔加工精度提升至±5μm以内，有效解决了深径比超过10:1的技术难题。

负压环境的物理作用

机制在真空负压环境下（10^-3Pa量级），材料去除过程产生的热量可通过分子热传导快速消散。研究表明，该环境下刀具磨损速率降低40%，加工表面粗糙度Ra值从0.8μm优化至0.2μm。负压气流还能实时切削碎屑，避免二次污染，特别适用于生物医学植入体等洁净度要求严苛的场景。 创新真空蒸馏回收系统，使清洗剂循环利用率达 95%，大幅降低企业处理成本。

真空除油设备负压技术的工作流程

该技术通过六阶段闭环系统实现高效除油：

1.预处理：工件置于可旋转支架，采用氮气密封舱体至10?3Pa级气密性。

2.抽真空：多级泵组3-5分钟内将压力降至100Pa，主泵进一步达10?1Pa以下，同步预加热至30-80℃。

3.负压蒸发：红外加热结合循环气流，矿物油在0.09MPa下沸点降至80℃，薄油膜5-10分钟完成蒸发。

4.冷凝回收：-20℃半导体制冷片实现99%油蒸气回收，分离净化后循环使用。

5.干燥破空：真空干燥至-40℃，充入-60℃氮气并设气流屏障防污染。

6.后处理：激光测厚检测油膜厚度，集成MES系统自动匹配参数，预测性维护周期超5000小时。 微孔内残留的 PDMS 脱模剂需用等离子体处理彻底分解去除。安徽高压脉冲真空机

未来真空除油技术将向智能化、集成化方向发展，结合 AI 视觉检测实现全流程闭环质量管控。重庆真空机盲孔产品解决方案

真空除油设备工作原理详解

真空除油技术在于通过压力-温度耦合调控实现高效清洁，其工作流程可分解为四个精密控制阶段：

1.真空环境构建

设备采用多级罗茨泵组+旋片泵复合真空系统，30秒内将腔体压力降至0.1kPa（相当于海拔30公里高空的气压）。

2.低温沸腾溶解在-90kPa真空度下，特制环保溶剂（如碳氢系D40）的沸点从140℃骤降至45℃。这种"亚临界沸腾"状态产生的微气泡直径为超声波清洗的1/50，能深入0.01mm的微小缝隙。

3.动态循环强化双泵体驱动的紊流循环系统使溶剂以8m/s流速冲刷工件表面，配合360°旋转夹具，实现复杂曲面的均匀清洗。系统集成在线浓度监测仪，当溶剂污染度超过阈值时，自动触发真空蒸馏再生系统，回收率达98.7%。

4.分子级干燥真空环境下采用红外辐射+热气流吹扫组合干燥技术，利用水蒸气分压梯度差加速水分蒸发。 重庆真空机盲孔产品解决方案