真空机中真空处理设备技术方案【产品定位】

本设备是针对盲孔类工件电镀及前处理工艺研发的专业真空处理系统，适用于半导体、精密电子、航空航天等领域的复杂结构工件处理。

【功能】

1.真空置换系统：采用旋片式真空泵组，可在60秒内将工作腔压力降至10mbar以下，通过动态真空置换技术实现盲孔内空气的高效抽离

2.智能补液系统：配备流量闭环控制系统，可根据工件孔径自动调节药液填充速率，确保微孔填充率≥99.8%

3.工艺可视化：配置5.7英寸工业级触控屏，实时显示真空度、液位高度、处理时间等关键参数

【技术优势】

1.采用304不锈钢内胆+高硼硅玻璃视窗组合，耐酸碱腐蚀且便于观察

2.可调式硅橡胶密封条配合气压补偿装置，确保真空度稳定维持在±0.5mbar

3.模块化设计支持单工位/双工位/多工位扩展，处理效率提升40%以上

【应用价值】

通过建立可控的负压环境，有效解决盲孔类工件因气穴导致的漏镀、膜厚不均等问题，使镀层均匀性提升至±5μm以内，降低不良品率。设备符合ISO9001质量管理体系及CE安全认证，已成功应用于100+客户的量产线，平均提升良品率25%，降低生产成本18%。 通过 CE 安全认证，配备双重联锁保护装置，防止误操作引发的安全事故。江苏模块化真空机

真空除油设备的定义

一、基本概念

1.通过真空泵将设备内部气压降至常压以下（通常-0.08~-0.1MPa），形成负压环境。

2.利用真空状态下液体沸点降低、渗透力增强的特性，实现深度除油。

二、负压技术的作用

1.强化渗透：负压使液体快速填充盲孔，排出空气并冲刷油污。

2.微气泡清洗：液体沸腾产生的微气泡破裂时释放能量，剥离顽固附着物。

3.低温干燥：真空环境下液体蒸发速度提升5~10倍，避免高温损伤基材。

三、部件

真空罐体：密闭容器，承载工件并维持负压。

真空泵组：多级罗茨泵+旋片泵组合，快速抽气并维持真空度。

加热系统：控制液体温度（通常40~60℃）。

超声波发生器（可选）：增强空化效应，提升清洗效率。 湖南真空机行业标准传统工艺成本 25%，负压电镀省到底！

志成达研发的真空机，真空除油设备通过引入微波加热辅助技术

可在10-15秒内将顽固油污分子链断裂，配合真空环境下的分子扩散效应，实现金属加工件表面油膜残留量低于0.05μm，特别适用于精密齿轮、轴承等动密封部件的超净处理。在半导体晶圆制造领域，真空除油设备采用兆声波（1-3MHz）空化效应与真空干燥相结合的工艺，可去除直径小于50nm的纳米级油污颗粒，同时通过静电消除装置防止二次污染，满足12英寸晶圆对洁净度的苛刻要求。真空除油设备创新应用膜分离技术，将溶剂回收系统与真空蒸馏单元集成，实现每小时处理2000L混合油污的能力，其分离纯度可达99.9%，为PCB线路板、光学玻璃等行业提供经济高效的油污处理方案。

真空机中脉冲真空技术的原理

通过周期性压力波动突破传统静态真空处理的局限性，其工作原理可拆解为以下机制：

一、压力脉冲生成机制

1.动态真空调控

采用伺服真空泵组与快速响应阀门，在基础真空度（如10?1Pa）与脉冲峰值（10~100Pa）间循环切换，形成0.1~5Hz的压力波动。压力振幅可达基础真空度的100倍，产生局部压力梯度差（ΔP=10?1~102Pa）。

2.脉冲波形控制

二、技术优势对比

指标                            传统真空                          脉冲真空                  提升幅度           

盲孔除油率                  60%~75%                      92%~98%              +53%~+143%

处理时间                      20~30分钟                      15~20分钟              -25%~-33%                                          能耗                           1.2~1.5kWh/kg                   1.0~1.2kWh/kg       -17%~-20% 真空除油设备通过真空负压环境，将盲孔内残留油污分子级剥离，解决传统浸泡无法触及的深层清洁难题。

真空除油设备特殊工况应用型

深海装备真空除油解决方案

1.针对深海探测器部件的严苛工况，设备采用三重特殊设计：

2.耐压结构：采用钛合金腔体，可承受60MPa外部压力，内部维持-95kPa真空环境；

3.低温处理：配置液氮预冷系统，将油液温度降至-20℃，使蜡质污染物结晶析出；

4.脉动清洗：结合超声波振动与脉冲压力，深海矿物油形成的纳米级油膜。

传统工艺vs真空除油技术对比

工艺类型           工作原理                           优势局限                        局限

离心分离          利用离心力分离油水           设备成本低                     脱水效率<75%

化学清洗         添加破乳剂，分离杂质          初期效果                       产生大量危化品               

真空除油        真空环境下低温蒸发           深度净化+环保设备              投资较高 真空负压 + 动态压力，盲孔镀层 0 微孔缺陷！湖南真空机行业标准

设备配备精密压力传感器，实时监测盲孔内部压力变化，确保清洗过程安全可控。江苏模块化真空机

真空除油设备负压技术的工作流程

该技术通过六阶段闭环系统实现高效除油：

1.预处理：工件置于可旋转支架，采用氮气密封舱体至10?3Pa级气密性。

2.抽真空：多级泵组3-5分钟内将压力降至100Pa，主泵进一步达10?1Pa以下，同步预加热至30-80℃。

3.负压蒸发：红外加热结合循环气流，矿物油在0.09MPa下沸点降至80℃，薄油膜5-10分钟完成蒸发。

4.冷凝回收：-20℃半导体制冷片实现99%油蒸气回收，分离净化后循环使用。

5.干燥破空：真空干燥至-40℃，充入-60℃氮气并设气流屏障防污染。

6.后处理：激光测厚检测油膜厚度，集成MES系统自动匹配参数，预测性维护周期超5000小时。 江苏模块化真空机