真空机中真空处理设备技术方案【产品定位】

本设备是针对盲孔类工件电镀及前处理工艺研发的专业真空处理系统，适用于半导体、精密电子、航空航天等领域的复杂结构工件处理。

【功能】

1.真空置换系统：采用旋片式真空泵组，可在60秒内将工作腔压力降至10mbar以下，通过动态真空置换技术实现盲孔内空气的高效抽离

2.智能补液系统：配备流量闭环控制系统，可根据工件孔径自动调节药液填充速率，确保微孔填充率≥99.8%

3.工艺可视化：配置5.7英寸工业级触控屏，实时显示真空度、液位高度、处理时间等关键参数

【技术优势】

1.采用304不锈钢内胆+高硼硅玻璃视窗组合，耐酸碱腐蚀且便于观察

2.可调式硅橡胶密封条配合气压补偿装置，确保真空度稳定维持在±0.5mbar

3.模块化设计支持单工位/双工位/多工位扩展，处理效率提升40%以上

【应用价值】

通过建立可控的负压环境，有效解决盲孔类工件因气穴导致的漏镀、膜厚不均等问题，使镀层均匀性提升至±5μm以内，降低不良品率。设备符合ISO9001质量管理体系及CE安全认证，已成功应用于100+客户的量产线，平均提升良品率25%，降低生产成本18%。 省水省电省人工，1 机顶 5 个工人效率！化学镀真空机使用要求

志成达设计的真空机，针对深孔盲孔负压产品电镀，其工艺原理：

采用负压电镀

负压电镀指在电镀过程中，将工件置于封闭容器内，通过真空泵抽离容器内空气，构建负压环境。在此环境下，电镀液中的金属离子与杂质离子吸附于工件表面，以此提升镀层的均匀性和附着力。深孔盲孔电镀原理深孔盲孔电镀是将工件放入负压电镀容器，借助电镀液中金属离子在电场作用下，向工件表面移动并沉积成镀层。由于深孔盲孔的存在，电镀液于工件内部形成循环流动，促使金属离子充分接触工件表面，进而提高镀层均匀性与孔隙率。 单孔位真空机与盲孔产品真空负压 3 秒！0.1mm 微孔油渍无处藏！

如何根据不同行业的需求定制化真空除油设备？

真空除油设备通过负压技术实现高效表面清洁，其优势在于深度渗透深盲孔（长深比＞10:1）、微型沟槽等复杂结构，清洁率可达 99.5% 以上。通过降低气压使液体沸点降低（如 50℃沸腾），结合超声波空化效应，可在低温下快速剥离顽固油污，避免高温对材料的损伤。设备采用模块化设计，可根据行业需求定制：半导体领域配置分子泵实现 1×10??Pa 极限真空；航空航天行业集成高温真空系统处理烧结油污；新能源电池领域通过真空置换干燥控制水分＜10ppm。相比传统工艺，其化学药剂用量减少 60%，能耗降低 70%，适用于精密光学、医疗植入物、液压元件等高要求场景。未来趋势向智能化（AI 优化参数）、绿色化（超临界 CO?清洗）发展，满足半导体、航天等领域的超洁净需求。

真空机负压技术的跨行业应用的技术延伸

除传统制造领域外，负压技术已拓展至生物芯片制造（实现3μm细胞培养孔的精细加工）、航空航天密封件（提升O型圈沟槽的表面光洁度）、新能源电池（优化电极微孔的电解液渗透效率）等新兴领域，形成多技术融合的创新生态。

标准化体系的构建进程

国际标准化组织（ISO）正在制定《真空辅助精密加工技术规范》，涵盖设备性能参数、工艺控制指标等12项标准。我国已建立首条负压加工认证生产线，关键指标达到SEMI标准GEM300-0920要求，为产业国际化奠定基础。 创新真空破泡技术，消除清洗液中微气泡对微孔清洁效果的影响。

志成达研发的真空机，其真空除油设备的创新设计：

动态旋转清洗腔，结合60-80kHz高频超声波震荡，可对带有盲孔、深槽的航空航天部件进行立体除油，其真空干燥系统通过冷凝回收技术将溶剂回收率提升至98%以上，降低企业环保处理成本。模块化真空除油设备支持定制化配置，可选配真空蒸馏再生装置，实现溶剂循环利用率达95%，或集成在线检测系统，实时监控油分浓度（精度±0.05%），在电子元件、医疗器械等高精密制造领域，展现出的油污去除能力与工艺稳定性。 真空除油设备配置防爆电机，满足化工、制药等高风险行业安全需求。上海全自动真空机

智能温控系统，除油效率提升 30%！化学镀真空机使用要求

志成达研发的真空机，真空除油设备采用双真空室串联设计

前级室完成油污剥离与溶剂回收，后级室进行高温（120-150℃）真空干燥，整个流程实现全自动化，处理效率较传统单室设备提升60%，适用于批量生产的汽车零部件工厂。在海洋工程装备制造中，真空除油设备通过高压（50-80bar）旋转喷头与真空吸嘴协同作业，可深海阀门、钻井平台部件表面附着的重质原油及生物膜，其盐雾试验表明处理后工件防腐寿命延长3-5年。真空除油设备配置在线油分浓度监测仪，通过红外光谱分析实时检测清洗液污染程度，当油分浓度超过5%时自动触发溶剂再生程序，确保连续生产过程中清洗效果的稳定性，降低人工干预频率。 化学镀真空机使用要求