集气罩:根据前处理设备形状、废气散发特点定制,如槽边侧向集气罩等,可高效收集废气,常见材质有 PP 等耐腐蚀材料 。
通风管道:多选用耐腐蚀的 PP 材质,用于连接抽风设备各部件,将废气输送至处理设备,其设计需考虑废气流量、阻力等因素 。
引风机:常安装在输送通道出风口处,为废气的抽取和输送提供动力 ,可根据实际需求选择不同规格和性能的引风机。
此外,一些抽风装置还可能配备过滤处理箱、活性炭吸附网板等,用于对废气进行初步过滤、吸附,减少大颗粒杂质等对风机的损害 。 离心干燥设备适配滚镀后工件,通过高速旋转甩干水分,避免传统热风干燥的能耗与时间损耗。湖北随州超声波电镀设备
是一种高效、智能化的电镀生产系统,通过龙门机械手实现工件的全流程自动化传输与精细加工,广泛应用于金属表面处理行业。
一、设备结构与组成龙门架与机械手龙门桁架:横跨电镀槽上方,搭载伺服驱动的机械臂,实现三维空间内的精确定位(重复精度±0.1mm)。夹具系统:根据工件形状(如螺丝、连接器、汽车零件)定制夹具,确保抓取稳固。电镀槽组包含 前处理槽(除油、酸洗)、电镀槽(镀锌、镀镍等)、后处理槽(钝化、烘干)等,槽位数量可按工艺扩展(如8~20槽)。槽内配备液位传感器、温控装置及循环过滤系统,保障镀液稳定性。控制系统PLC+HMI:控制器预设工艺参数(电流、时间、温度),触摸屏实时监控运行状态。智能调度算法:优化机械手路径,减少空载时间,提升产能(如每小时处理500~2000件) 江西脉冲电镀设备滚镀后的离心甩干设备内置防滑衬垫,高速旋转时固定工件,避免碰撞损伤并加速脱水。
是一种于半导体制造中金属化工艺的精密设备,主要用于在半导体晶圆、芯片或微型元件表面沉积均匀的金属镀层。其在于通过可控的电化学或化学镀工艺,实现高精度、高一致性的金属覆盖,满足集成电路封装、先进封装及微机电系统等领域的特定需求
与传统滚镀不同,半导体滚镀更注重工艺洁净度、镀层精度及与半导体材料的兼容性。
1.金属互连:在晶圆上形成铜导线。
2.凸块制备:沉积锡、铜、金等材料,用于芯片与基板的电气连接。
3.阻挡层/种子层镀覆:镀钛、钽等材料,防止金属扩散并增强附着力。
1.电镀槽:
材质:耐腐蚀材料,避免污染镀液
镀液循环系统:维持镀液成分均匀,过滤颗粒杂质
2.旋转载具:
晶圆固定装置:真空吸附或机械夹持,确保晶圆平稳旋转
转速控制:通过伺服电机调节转速,优化镀层均匀性
3.阳极系统:
可溶性/不溶性阳极:铜、铂等材料,依镀层需求选择
阳极位置调节:控制电场分布,减少边缘效应
4.供液与喷淋系统:
多点喷淋头:均匀分配镀液至晶圆表面,避免气泡滞留
流量控制:精确调节镀液流速,匹配不同工艺需求
5.控制系统:
PLC/工控机:集成温度、pH值、电流密度等参数监测与反馈。
配方管理:存储不同镀层的工艺参数
对比项 传统滚镀 半导体滚镀 对象 小型金属零件(螺丝、纽扣等) 晶圆、芯片、微型半导体元件 精度 微米级 纳米级(≤100nm) 洁净度 普通工业环境 无尘室(Class100~1000) 工艺控制 电流/时间粗调 实时闭环控制(电流、流量、温度) 镀液类型 酸性/碱性镀液 高纯度镀液(低杂质)
大尺寸晶圆兼容:适配12英寸(300mm)晶圆,向18英寸过渡。环保镀液:无物、低毒配方,减少废水处理压力。智能化集成:AI工艺优化:通过机器学习预测镀层缺陷。与CMP(化学机械抛光)、PVD设备联动,形成全自动金属化产线
半导体滚镀设备是封装与芯片制造的关键装备,通过精密旋转与镀液控制,实现纳米级金属镀层的均匀沉积。其技术在于洁净环境下的高精度工艺控制 搅拌设备通过空气鼓泡或机械桨叶驱动电解液流动,避免浓度分层,提升镀层均匀性与沉积效率。
1.镀槽:是电镀加工的设备,用于盛放电镀液,为电镀提供反应场所。根据电镀工艺和工件的不同,镀槽的材质、形状和尺寸也各不相同,常见的有聚丙烯、聚四氟乙烯等材质制成的镀槽。
2.整流器:其作用是将交流电转换为直流电,为电镀过程提供稳定的电流。电镀过程需要精确控制电流的大小和稳定性,以确保电镀层的质量和性能。
3.过滤机:用于过滤电镀液中的杂质、颗粒和悬浮物,保持电镀液的清洁度。过滤机通常采用滤芯式或滤袋式过滤,可根据电镀液的性质和过滤精度要求选择不同的过滤材料。
4.加热和冷却装置:加热装置通常采用电加热或蒸汽加热的方式,而冷却装置则多采用冷水机或冷却塔进行冷却。
5.搅拌设备:包括机械搅拌和空气搅拌等方式。
6.挂具:用于悬挂和固定待电镀的工件,使工件能够在电镀槽中与电镀液充分接触,并保证电流均匀地通过工件。7.行车:主要用于在电镀车间内吊运工件、原材料和成品等重物。
8.废气处理设备:电镀过程中会产生各种有害气体,如酸雾、碱雾和重金属废气等。废气处理设备通常采用喷淋塔、活性炭吸附装置、催化燃烧装置等,对废气进行净化处理,达标后排放。 喷淋式电镀设备利用高压喷头将电解液均匀喷洒在工件表面,加速离子交换,提高电镀效率,形状复杂的工件。广西便携式电镀设备
设备维护系统集成故障诊断模块,通过传感器数据预判过滤机堵塞、加热管老化等问题,减少停机时间。湖北随州超声波电镀设备
是一种用于电镀实验的专业装置,它融合了滚镀和挂镀两种电镀方式于一体。
该设备通常由镀槽、滚桶、挂具、电源系统、搅拌装置、温控系统等部分组成。在进行电镀实验时,既可以将小型零件放入滚桶中进行滚镀,使零件在滚动过程中均匀地镀上金属层;也可以通过挂具将较大或形状特殊的零件悬挂在镀槽中进行挂镀,以满足不同类型零件的电镀需求。这种设备具有功能多样、操作灵活、占地面积小等优点,能够为电镀工艺的研究和开发提供便利,帮助科研人员和技术人员更好地掌握电镀技术,优化电镀参数,提高电镀质量。 湖北随州超声波电镀设备