超硬材料如碳化硅、金刚石等，因其优异性能在众多领域应用***，但加工难度极大。飞秒激光加工技术为超硬材料微槽制作带来了新的解决方案。飞秒激光具有极高的峰值功率和极短的脉冲持续时间。当聚焦到超硬材料表面时，能在瞬间产生极高的电场强度，使材料中的原子或分子直接被电离，形成等离子体，从而实现材料的去除。以在碳化硅基片上制作微槽为例，传统机械加工方法不仅效率低，还容易造成材料表面裂纹和损伤。而飞秒激光能够精确控制微槽的宽度、深度和形状，加工出的微槽边缘整齐、光滑，无明显热影响区和重铸层，满足了超硬材料在微机电系统、光电子器件等领域对高精度微槽结构的需求 。微结构孔洞、陶瓷等飞秒定制加工/皮秒激光精密加工。金华石墨烯薄膜超快激光皮秒飞秒激光加工表面亲疏水

太阳能电池的生产过程中，激光开槽微槽技术对提高电池性能起着关键作用。在硅片表面制作微槽，可以有效减少电池的串联电阻，提高电流收集效率。通过激光开槽，能够精确控制微槽的深度和宽度，使其与电池内部的电极结构相匹配。例如，在晶体硅太阳能电池的制造中，利用激光在硅片表面开出深度约为几十微米、宽度几微米的微槽，然后在微槽中填充金属电极材料。这种微槽结构能够增加电极与硅片的接触面积，降低接触电阻，从而提高太阳能电池的光电转换效率。同时，激光开槽过程具有非接触、高精度的特点，避免了传统机械开槽可能带来的硅片损伤，提升了太阳能电池的生产质量和稳定性 。南通聚酰亚胺薄膜超快激光皮秒飞秒激光加工激光打孔微孔半导体硅片激光切割划片 硅晶圆打孔刻槽 皮秒飞秒激光加工 无崩边。

皮秒飞秒激光切割等技术，在超薄金属加工领域大放异彩。皮秒、飞秒激光，是指激光脉冲持续时间分别达到皮秒（10?12 秒）、飞秒（10?1?秒）量级。极短脉冲让能量高度集中，作用于材料时，能在极小区域，实现精细的材料去除。在 0.01 - 0.08mm 超薄金属加工中，皮秒飞秒激光切割精度极高，切缝宽度可低至微米级，热影响区极小，能很大程度保持金属原有性能，避免因热变形影响产品质量。打孔时，可打出直径微小且孔壁光滑的微孔。开槽、划线同样精细，可用于超薄金属掩膜板切割，光学狭缝片，光阑片，叉指电极等方面应用。精度高，无毛刺，无变形。表面微结构激光加工方面，可在金属表面雕刻出微纳尺度的图案、纹理。这些微结构能改变金属表面的光学、力学、化学性能，表面耐磨性、耐腐蚀性，超疏水性等。

皮秒和飞秒激光开槽是两种利用高能量激光束在材料表面进行精确开槽的技术，以下是它们的相关介绍：原理皮秒激光开槽：皮秒激光脉冲宽度极短，达到皮秒级别（1 皮秒 = 10?12 秒）。它通过瞬间释放高能量，使材料表面的物质在极短时间内吸收能量，产生光致电离和等离子体效应，进而将材料去除，实现开槽。这种技术能精确控制能量和作用区域，对周围材料的热影响较小。飞秒激光开槽：飞秒激光的脉冲宽度更短，为飞秒级别（1 飞秒 = 10?1?秒）。其原理与皮秒激光类似，也是利用高能量密度的激光脉冲作用于材料表面，通过多光子吸收等过程使材料迅速电离和气化，达到开槽的目的。飞秒激光的峰值功率极高，能够在更精细的尺度上对材料进行加工，具有更高的精度和更小的热影响区。PET膜 PI膜 音膜振膜 激光切膜 紫外 皮秒 薄膜切割打孔。

皮秒激光的特点高精度加工：皮秒激光的脉冲宽度极短，能够在瞬间将能量集中在极小的区域，实现微米级别的加工精度。热影响区小：由于脉冲时间短，热影响区极小，有效避免了对材料周边区域的热损伤。高加工速度：每个脉冲都能在很短的时间内完成大量的加工，明显提高了加工效率。飞秒激光的特点更短脉冲：飞秒激光的脉冲时间比皮秒激光更短，进一步减少了对材料的热损伤。更高精度：能够实现比皮秒级别更高的精细加工，适用于更复杂的材料和形状。不锈钢板激光开槽 金属薄板密集打孔 狭缝片微缝切割 导光板透光孔。南通聚酰亚胺薄膜超快激光皮秒飞秒激光加工激光打孔微孔

超快激光，皮秒飞秒激光加工，激光减薄，蚀刻，打孔开槽，微结构皮秒飞秒激光加工。金华石墨烯薄膜超快激光皮秒飞秒激光加工表面亲疏水

应用领域皮秒飞秒激光打孔技术在多个领域具有广泛的应用，包括但不限于：金属材料加工超薄金属切割：适用于铜、铝、铁、不锈钢等金属材料的超薄切割，保证加工精度。贵金属加工：在珠宝加工行业中，可用于贵金属表面的微雕和纹理制作，既保证精细度又不损害材料品质1。非金属材料加工高分子材料：如PET膜、PI膜等，可进行切割、打孔、划线等操作，满足柔性电子设备制造的需求。脆性材料：玻璃和陶瓷等脆性材料能通过皮秒激光加工实现高精度打孔和开槽。碳基材料：石墨烯和碳纤维等碳基材料也可被加工，用于制备电子器件或提高复合材料性能。特殊应用领域精密仪器制造：紫外皮秒激光切割机在加工超薄金属方面具有明显优势，特别是在电子、精密仪器等领域。光学元件制造：可实现高精度的抛光和镀膜，适用于光学玻璃元件的加工。生物医学领域：在微纳加工领域，可用于制造微型金属结构，为新材料和新器件的研发开辟新途径。金华石墨烯薄膜超快激光皮秒飞秒激光加工表面亲疏水