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水浸超声扫描如何确定探头规格?

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杭州芯纪源半导体设备有限公司2025-06-12

确定水浸超声扫描探头规格需结合工件材质与厚度,如检测较厚半导体晶圆需选用低频、长焦距探头(如2MHz、25mm晶片直径),以增强穿透力并聚焦至目标深度,同时需匹配材料声速(如5900m/s)优化检测效果。

杭州芯纪源半导体设备有限公司
杭州芯纪源半导体设备有限公司
简介:杭州芯纪源成立于 2024 年,融合声、光及 AI 算法,专注半导体检测设备研发制造,提供超声检测。
简介: 杭州芯纪源成立于 2024 年,融合声、光及 AI 算法,专注半导体检测设备研发制造,提供超声检测。
水浸式超声扫描仪2
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其余 2 条回答

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    杭州芯纪源半导体设备有限公司 2025-06-15

    探头规格需根据缺陷类型与检测精度选择,例如检测微小裂纹需高频聚焦探头(如25MHz、Φ13晶片),利用其高指向性和窄波束提升分辨率;而检测大面积均匀材料则可选宽带探头,兼顾灵敏度与信噪比。

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    杭州芯纪源半导体设备有限公司 2025-06-15

    水浸超声探头规格需综合工件几何尺寸与检测效率,如扫描大面积平面工件时,宜选用大晶片尺寸(如Φ20mm)和快速扫描速度(如120mm/s)的探头,同时调整水声距(如380-400mm)确保声场均匀覆盖检测区域。

  • 杭州芯纪源半导体
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