岱美仪器技术服务2025-04-05
晶圆缺陷检测设备是用于检测半导体晶圆表面和内部缺陷的仪器设备,其性能特点通常包括以下几个方面:
1、精度高:晶圆缺陷检测设备需要对微小的缺陷进行检测,因此精度是其基本的性能指标之一。现代晶圆缺陷检测设备的精度可以达到纳米级别。
2、检测速度快:随着半导体工业的发展,生产的晶圆越来越多,因此检测速度成为晶圆缺陷检测设备的重要指标之一。现代设备的检测速度可以达到每秒数百张晶圆。
3、检测范围广:晶圆缺陷检测设备需要同时检测晶圆表面和内部缺陷,因此需要具有比较普遍的检测范围,可以检测不同材料、不同工艺的晶圆。
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