佑光智能半导体科技(深圳)有限公司2025-05-22
固晶机的操作流程一般如下:
1.?准备工作:检查设备是否正常,包括机械部件、电气系统、视觉系统等。准备好所需的材料,如芯片、基板、固晶胶等,并根据产品要求进行相应的调试和参数设置。
2.?上料:将芯片和基板分别放置在固晶机的相应上料位置,通常芯片会放在晶圆承载台上,基板则放置在工作台上的定位夹具中。
3.?校准与定位:通过视觉系统对芯片和基板进行校准,确定它们的准确位置和姿态,确保固晶的精度。
4.?点胶:根据工艺要求,使用点胶装置在基板上需要固晶的位置精确地点上适量的固晶胶。
5.?取晶:固晶机的吸嘴下降到晶圆承载台上,吸取芯片,吸嘴的吸力要适中,以确保芯片被稳定吸取且不损坏芯片。
6.?固晶:吸嘴带着芯片移动到基板上方,根据之前校准的位置,将芯片准确地放置在基板上的点胶位置,使芯片与胶水充分接触并黏附。
7.?检测:通过视觉检测系统对固晶后的芯片进行检测,检查芯片的位置、角度、黏附情况等是否符合要求,如有不良品则进行标记或剔除。
8.?下料:将固晶完成的基板从工作台上取下,放置到指定的下料位置,然后进行下一轮的固晶操作。
不同型号和用途的固晶机在具体操作上可能会有一些差异,但总体流程大致相同。
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