常州市志达不锈钢模板有限公司2025-06-13

侧蚀成因：蚀刻液沿抗蚀层边缘横向扩散，导致纹理边缘变宽（侧蚀率 = 侧蚀宽度 / 蚀刻深度）。 控制技术： 抗蚀层优化： 使用干膜光刻胶（厚度 30-50μm），曝光显影后边缘垂直度≥85°； 预涂阻蚀剂（如石蜡）于非蚀刻区域，减少侧向腐蚀。 工艺参数： 降低蚀刻液浓度（如 FeCl?从 40% 降至 30%），延长蚀刻时间； 采用喷淋式蚀刻（压力 0.5-1MPa），增强液体流动性，减少停滞区。 后处理补偿： 蚀刻后用细砂纸（P1000）手工修边，或通过激光精修去除侧蚀残留。

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