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广东华芯半导体技术有限公司2025-06-09
冷却阶段通入高纯氮气（纯度≥99.999%），保持腔体氧含量≤50ppm，同时控制冷却速率≤5℃/min，避免焊料骤冷产生应力。广东华芯半导体技术有限公司的冷却模块采用微通道换热器，换热效率提升 40%。
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