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在半导体制造工艺中微差压表是必不可少
在半导体制造工艺中，环境与设备的精密管控直接关系到芯片良率与性能。山本，长野计器（NAGANO KEIKI）的微差压表凭借百年计测技术积淀，为半导体行业提供高纯度气体监测、洁净室压差管控等关键环节的精细解决方案，成为全球前沿晶圆厂和封测企业的优先设备。
应用场景：
1. 高纯度气体系统监测
采用不锈钢波登管与氩弧焊接工艺，确保微差压表在腐蚀性气体（如蚀刻用氟化氢、氨气）和高纯度惰性气体（如氩气、氮气）环境中长期稳定工作，避免泄漏，沉积、刻蚀等工艺的气体流量精度。
2. 洁净室与隔离室压差管控
通过实时监测洁净室与外界环境的微压差（±50Pa以内），防止颗粒污染物侵入，满足ISO 1-5级洁净度要求，适用于光刻区、封装无尘车间等敏感区域。
3. 关键设备状态预警
集成于薄膜沉积设备、光刻机辅助系统中，监测气体过滤器堵塞或管道压力波动，提前预警设备异常，减少非计划停机损失。
技术优势：
1. 严苛环境适应性：全不锈钢结构（含外壳与连接部件）通过RoHS认证，耐腐蚀性远超行业标准。
2. 精度与可靠性：严格的气密性检测与耐压测试（符合SEMI标准），确保在恒压或波动压力下误差率低于±1% FS。
3. 定制化服务：支持甘油填充、卫生型变送器集成等选项，适配半导体特殊工艺需求。
行业验证：
长野计器微差压表已服务于中芯国ji、京东方等头部企业，并获日本本土及国内多地晶圆厂批量采购。其GV系列、GW系列产品在3D NAND存储芯片制造与前沿封装产线中表现好，助力客户实现工艺良率提升与综合成本优化。
选择山本，长野微差压表，即是选择百年品牌对精密与可靠的不懈追求——为半导体制造的每一帕斯卡压力，提供值得信赖的。
另外，为了响应客户的降本增效需求，要求我们对应国内替代方案，我们花了两年时间，经过多次厂家研发成功了。现在可以为客户做国内替代品。质量一样，价格美丽！
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