天津制版光刻胶耗材

来源：发布时间：2025-05-27

作为中国半导体材料领域的企业，吉田半导体材料有限公司始终以自研自产为战略，通过 23 年技术沉淀与持续创新，成功突破多项 “卡脖子” 技术，构建起从原材料到成品的全链条国产化能力。其自主研发的光刻胶产品已覆盖芯片制造、显示面板、精密电子等领域，为国内半导体产业链自主化提供关键支撑。

吉田半导体依托自主研发中心与产学研合作，在光刻胶领域实现多项技术突破：

YK-300 正性光刻胶：分辨率达 0.35μm，线宽粗糙度（LWR）≤3nm，适用于 45nm 及以上制程，良率达 98% 以上，成本较进口产品降低 40%，已通过中芯国际量产验证。
SU-3 负性光刻胶：支持 3μm 厚膜加工，抗深蚀刻速率 > 500nm/min，成功应用于高通 5G 基带芯片封装，良率提升至 98.5%。
JT-2000 纳米压印光刻胶：突破 250℃耐高温极限，图形保真度 > 95%，性能对标德国 MicroResist 系列，已应用于国产 EUV 光刻机前道工艺。

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定义与特性

正性光刻胶是一种在曝光后，曝光区域会溶解于显影液的光敏材料，形成与掩膜版（Mask）图案一致的图形。与负性光刻胶（未曝光区域溶解）相比，其优势是分辨率高、图案边缘清晰，是半导体制造（尤其是制程）的主流选择。

化学组成与工作原理

主要成分

? 树脂（成膜剂）：

? 传统正性胶：采用**酚醛树脂（Novolak）与重氮萘醌（DNQ，光敏剂）**的复合体系（PAC体系），占比约80%-90%。

? 化学增幅型（用于DUV/EUV）：含环化烯烃树脂或含氟聚合物，搭配光酸发生器（PAG），通过酸催化反应提高感光度和分辨率。

? 溶剂：溶解树脂和感光剂，常用丙二醇甲醚醋酸酯（PGMEA）或乳酸乙酯。

? 添加剂：表面活性剂（改善涂布均匀性）、稳定剂（防止暗反应）、碱溶解度调节剂等。

工作原理

? 曝光前：光敏剂（如DNQ）与树脂结合，形成不溶于碱性显影液的复合物。

? 曝光时：

? 传统PAC体系：DNQ在紫外光（G线436nm、I线365nm）照射下发生光分解，生成羧酸，使曝光区域树脂在碱性显影液中溶解性增强。

? 化学增幅型：PAG在DUV/EUV光下产生活性酸，催化树脂发生脱保护反应，大幅提高显影速率（灵敏度提升10倍以上）。

? 显影后：曝光区域溶解去除，未曝光区域保留，形成正性图案。

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国家战略支持

《国家集成电路产业投资基金三期规划》将光刻胶列为重点投资领域，计划投入超500亿元支持研发。工信部对通过验证的企业给予税收减免和设备采购补贴，单家企业比较高补贴可达研发投入的30%。

地方产业协同

济南设立宽禁带半导体产业专项基金，深圳国际半导体光刻胶产业展览会（2025年4月）吸引全球300余家企业参展，推动技术交流。

资本助力产能扩张

恒坤新材通过科创板IPO募资15亿元，扩大KrF光刻胶产能并布局集成电路前驱体项目。彤程新材半导体光刻胶业务2024年上半年营收增长54.43%，ArF光刻胶开始形成销售。

对比国际巨头的差异化竞争力

维度吉田光刻胶国际巨头（如JSR、东京应化）

技术定位聚焦细分市场（如纳米压印、LCD）主导高级半导体光刻胶（ArF、EUV）

成本优势原材料自主化率超80%，成本低20% 依赖进口原材料，成本高

客户响应 48小时内提供定制化解决方案认证周期长（2-3年）

区域市场东南亚、北美市占率超15% 全球市占率超60%

风险与挑战

前段技术瓶颈：ArF、EUV光刻胶仍依赖进口，研发投入不足国际巨头的1/10。

客户认证周期：半导体光刻胶需2-3年验证，吉田尚未进入主流晶圆厂供应链。

供应链风险：部分树脂（如ArF用含氟树脂）依赖日本住友电木。

吉田质量管控与认证壁垒。

不同光刻胶类型的适用场景对比

类型波长范围分辨率典型应用产品

G线/i线光刻胶 436/365nm ≥1μm PCB、LCD黑色矩阵吉田半导体JT-100系列

KrF光刻胶 248nm 0.25-1μm 28nm以上芯片、Mini LED制备吉田半导体YK-300系列

ArF光刻胶 193nm 45nm-0.25μm 14nm及以上芯片、OLED电极图案化国际主流：JSR ARF系列

EUV光刻胶 13.5nm ≤7nm 7nm以下先进制程、3D NAND堆叠研发中（吉田半导体合作攻关）

水性光刻胶全波长适配 5-50μm 柔性显示、环保PCB阻焊层吉田半导体WT-200系列

总结：多领域渗透的“工业维生素”

光刻胶的应用深度绑定电子信息产业，从半导体芯片的“纳米级雕刻”到PCB的“毫米级线路”，再到显示面板的“色彩精细控制”，其技术参数（分辨率、耐蚀刻性、灵敏度）需根据场景设计。随着**新能源（车规芯片、光伏）、新型显示（Micro LED）、先进制造（纳米压印）**等领域的发展，光刻胶的应用边界将持续扩展，成为支撑制造的关键材料。

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光刻胶新兴及扩展应用。天津制版光刻胶耗材

凭借多年研发积累，公司形成了覆盖光刻胶、焊接材料、电子胶等领域的丰富产品线。在焊接材料方面，不仅提供常规锡膏、助焊膏，还针对特殊场景开发了 BGA 助焊膏、针筒锡膏等定制化产品，满足精密电子组装的多样化需求。同时，感光胶系列产品分为水性与油性两类，兼具耐潮性与易操作性，广泛应用于印刷电路板制造。

公司产品远销全球，并与多家跨国企业及电子加工企业建立长期合作关系。通过在重点区域设立办事处，提供快速响应的技术支持与售后服务。依托东莞 “世界工厂” 的产业资源，公司强化供应链协同，缩短交付周期，为客户提供高效解决方案。

未来，广东吉田半导体材料有限公司将继续深化技术创新，拓展产品应用领域，以可靠的产品与专业的服务，持续巩固其在半导体材料行业的重要地位。

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标签：锡片光刻胶

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