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分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。这种泵具体可分为：（1）牵引分子泵 气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量，被驱送到泵的出口。（2）涡轮分子泵 靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的。这种泵通常在分子流状态下工作。（3）复合分子泵 它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合型的分子真空泵。（1）转子转速达到20000r/min，故分子泵启动时间较长。（2）气体处于分子流状态，故需要配备前级泵，一般使用旋片泵作为前级泵。闵行区本地分子泵轴承选择气体轴承：气体轴承利用气体的压力来支撑转子，适合于高转速和高真空应用。

NTN 6000LLB轴承是相当有代表性的滚动轴承，用途***。适用于高转速甚至极高转速的运行，而且非常耐用，无需经常维护。该类轴承摩擦系数小，极限转速高， 结构简单，制造成本低，易达到较高制造精度。 尺寸范围与形式变化多样，应用在精密仪表、低噪音电机、汽车、摩托车及一般机械等行业，是机械工业中使用**为***的一类轴承。主要承受径向负荷，也可承受一定量的轴向负荷。NTN 6000LLB轴承尺寸外径D：26mm宽度B：8mmNTN 6000LLB轴承参数动态负荷C0：4.55静态负荷C0r：1.96脂润滑：29000油润滑：34000

涡轮分子泵主要由泵体、带叶片的转子（即动叶轮）、静叶轮和驱动系统等组成。主要有立式和卧式两种。动叶轮外缘的线速度高达气体分子热运动的速度（一般为150～400米/秒）。单个叶轮的压缩比很小，涡轮分子泵要由十多个动叶轮和静叶轮组成。动叶轮和静叶轮交替排列。动、静叶轮几何尺寸基本相同,但叶片倾斜角相反。每两个动叶轮之间装一个静叶轮。静叶轮外缘用环固定并使动、静叶轮间保持1毫米左右的间隙,动叶轮可在静叶轮间自由旋转。它们广泛应用于半导体制造、材料科学、物理实验、真空镀膜等领域。

在运动叶片两侧的气体分子呈漫散射。在叶轮左侧，当气体分子抵达A点左近时，在角度α1内反射的气体分子回到左侧；在角度β1内反射的气体分子一局部回到左侧，另一局部穿过叶片抵达右侧；在角度γ1内反射的气体分子将直接穿过叶片抵达右侧。同理，在叶轮右侧(图3b),当气体分子入射到B点左近时，在α2角度内反射的气体分子将返回右侧；在β2角度内反射的气体分子一局部抵达左侧，另一局部返回右侧；在γ2角度内反射的气体分子穿过叶片抵达左侧。倾斜叶片的运动使气体分子从左侧穿过叶片抵达右侧，比从右侧穿过叶片抵达左侧的几率大得多。叶轮连续旋转，气体分子便不时地由左侧流向右侧，从而产生抽气作用轴承表面拉伤：铁谱中发现有切削磨粒，磨粒成分为有色金属。闵行区本地分子泵轴承选择

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性能泵的排气压力与进气压力之比称为压缩比。压缩比除与泵的级数和转速有关外，还与气体种类有关。分子量大的气体有高的压缩比。对氮（或空气）的压缩比为108～109；对氢为102～104；对分子量大的气体如油蒸气则大于1010。泵的极限压力为10-9Pa，工作压力范围为10-1～10-8Pa，抽气速率为几十到几千升每秒（1L=10-3m3）。涡轮分子泵必须在分子流状态（气体分子的平均自由程远大于导管截面比较大尺寸的流态）下工作才能显示出它的优越性，因此要求配有工作压力为1～10-2Pa的前级真空泵。分子泵本身由转速为10000～60000转/分的中频电动机直联驱动。浦东新区质量分子泵轴承价格查询

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