微小孔的加工一直是机械制造中的一个难点，围绕这个问题研究人员进行了大量研究。目前可用于加工微小孔的方法有：机械加工、激光加工、电火花加工、超声加工、电子束加工及复合加工等。有关各种方法可加工的微小孔直径范围已有较多的报道，而对于加工所得微小孔侧壁粗糙度的研究却比较少。随着科学技术的发展和产品的日益精密化、集成化和微型化，微小孔越来越广地应用于汽车、电子、光纤通讯和流体控制等领域，这些应用对微小孔的加工也提出了更高的要求。化学蚀刻微孔加工利用特定化学试剂与材料的化学反应来蚀除材料形成微孔，大面积微孔阵列时有独特优势。南通金属微孔加工

由于PEEK材料的特性，在高精度微孔深孔加工中存在诸多加工难点，极易出现变形、炸裂、断刀等情况。本次项目Kasite微纳加工中心PEEK导向柱微小孔深孔加工，在主轴转速、进给量、进给速度等工艺方面进行了优化，实现了独特的技术突破，搞定了微孔深孔加工存在的技术难点！加工要求：PEEK导向柱超高精度深孔加工，孔洞加工深度23mm，直径0.256mm，正向精度±0.005mm。孔洞处于柱体中心位置，精度：±0.02mm。对深孔的圆度、中心垂直度、位置精度要求高，并且要求内孔表面光滑无毛刺。加工难点：1.PEEK材料膨胀系数比金属大，极易出现毛刺、变形、开裂等加工问题。2.深孔孔径与孔深比高达1:90，加工难度极大。3.钻孔后出现孔不圆、位置精度差、中心线不直等情况。4.深孔加工中刀具极易磨损或者崩刀、断刀。东莞激光微孔加工厂宁波米控机器人科技有限公司的微孔加工技术在半导体制造中表现优异。

不锈钢微孔加工，介于传统加工和微细加工之间。虽然可以采用激光加工微孔，但加工过程中通过高温切割，会改变材料性质，也会因为高温而产生变形。用电火花也可以加工0.15mm直径的微孔，但微孔孔壁会留下再铸层，影响微孔的使用寿命，使得微孔的孔壁表面质量发生恶化。用机械钻孔加工，钻头非常容易断，微孔的出口处会留下毛刺，这些毛刺会影响装配的效果。这些微孔只有在高倍显微镜下才能看到，许多微小型钻孔的决定因素也类似于标准尺寸的钻削加工。数印通根据零件的种类、内孔直径、形状、尺寸精度和深度等，采用蚀刻优版加工，先将客户需要的不锈钢微孔的图文在电脑中定稿，将定制好的图文通过蚀刻优版软件和喷墨印刷打印设备，直接对工件按需进行喷印蚀刻掩膜层，然后进入蚀刻环节。

在微孔加工过程中应避免出现孔径扩大孔直线度过大.工件表.面粗糙度差及钻头过快磨损等问题，以防影响钻孔质量和增大加工成本，应尽量保证以下的技术要求:①尺寸精度:孔的直径和深度尺寸的精度;②形状精度:孔的圆度、圆柱度及轴线的直线度;③位置精度:孔与孔轴线或孔与外圆轴线的同轴度;孑L与孔或孔与其他表面之间的平行度、垂直度等。同时，还应该考虑以下5个要素:1.孔径、孔深、公差、表面粗糙度、孔的结构;2.工件的结构特点，包括夹持的稳定性、悬伸量和回转性;3.机床的功率、转速冷却液系统和稳定性;4.加工批量;5.加工成本。宁波米控机器人科技有限公司的微孔加工设备配备智能控制系统，实现自动化操作，提高生产效率。

激光加工：其生产效率高、成本低、加工质量稳定可靠、具有良好的经济效益和社会效益。它主要加工0.1mm以下的材料，电子部件、多层电路板的焊接、陶瓷基片，宝石基片上的钻孔、划线和切片；半导体加工工种的激光走域加热和退货、激光刻蚀、掺杂和氧化等，对金属微孔加工激光工艺容易产生烧黑的现象，且容易改变材料的材质，残渣不易清理或无法清理的现象。线性切割：采用线电极连续供丝的方式，慢走丝线切割机在运用领域得到了普及，工件表面粗糙度通常可达到Ra=0.8μm及以上，但线切割工艺材料容易变形，批量切割生产价格昂贵。蚀刻：加工工艺即光化学蚀刻,通过曝光显影后将要蚀刻区域的保护膜去除,在蚀刻时接触化学溶液,使用两个阳性图形通过从两面的化学研磨达到溶解的作用,形成凹凸或者镂空成型的效果。对形状复杂，精密度要求高二机械加工难以实现的超薄形工件。蚀刻加工能够满足部件平整、无毛刺、图形复杂的要求，加工周期短、成本低。微钻加工:是直接小于3.175mm的钻头，它主要加工Ф0.1-Ф0.3mm，深径比超过10。宁波米控机器人科技有限公司的微孔加工设备支持高速加工，缩短生产周期。金属微孔加工供应

激光微孔加工凭借其高能量密度光束，可在金属、陶瓷等多种材料上精确雕琢出微米级孔洞，且加工热影响区小。南通金属微孔加工

激光LIGA技术它采用准分子激光深层刻蚀代替载射线光刻，从而避开了高精密的载射线掩膜制作、套刻对准等技术难题，同时激光光源的经济性和使用的普遍性明显优于同步辐射载光源，从而有效降低LIGA工艺的制造成本，使LIGA技术得以广泛应用。尽管激光LIGA技术在加工微构件高径比方面比载射线差，但对于一般的微构件加工完全可以接受。此外，激光LIGA工艺不像载射线光刻需要化学腐蚀显影，而是“直写”刻蚀，不存在化学腐蚀的横向浸润腐蚀影响，因而加工边缘陡直，精度高，光刻性能优于同步载射线光刻。南通金属微孔加工