工业和科研实验室经常会使用到气体质量流量控制器,本装置主要是通过控制气体流量的大小来进行一个气体浓度的调节,那么用户在选择气体配比装置时,关于气体的总流量大小应该如何确认和选择呢?有没有什么简单的测量方法?第1种情况:用户在明确知道所需总流量和浓度的情况下,只需要向公司的销售和技术人员说明即可。第2种情况:用户只知道流量但是不知道浓度的情况下,我公司产品可按照比例范围或流量大小,直接开放浓度稀释设置,用户在使用时自行调节设置浓度即可。第3种情况:用户只知道浓度稀释范围,但是不知道流量大小,公司技术人员可根据现场使用工装或用简易的流量测量方式,即可确定流量。气体质量流量控制器采用热式原理,响应快,精度高。重庆模拟气体质量流量控制器技术支持
气体质量流量控制器的工作原理是:气流进入进气管道街头后大部分流量流过分流器通道,其中很小一部分进入传感器内部的毛细钢管。出于分流器通道的特殊结构,可以实现这两部分气体流量成正比例关系。传感器经过预热加温,里而的温度高于进入的气流温度,此时通过毛细钢管传热和温差量热法原理测量这一小部分气体的质量流量。用这种办法测出的气体流量可以忽略温度和压力的影响,将传感器测得的流量检测信号输入电路板,经过放大后输出,就完成了MFM的功能。将电路板中加入PID闭环自动控制功能,把传感器测得的流量检测信号与用户给出的设定信号进行比较,以此为基础控制调节阀,使得流量检测信号与设定信号相等,这样便实现了MFC的功能。重庆模拟气体质量流量控制器技术支持气体质量流量控制器常见类型有涡轮流量计。
为什么等离子设备上需要使用热式气体质量流量控制器?随着等离子行业的快速发展,热式气体质量流量控制器在各种等离子设备中普遍使用,热式气体质量流量计的主要作用是准确的控制和调节气体的进气流量,等离子设备中需要注入和填充的混合气体,以保证更好的产品性能,就需要更高精度和稳定性好的气体质量流量控制器。等离子体指部分或完全电离的气体,且自由电子和离子所带正、负电荷的总和完全抵消,宏观上呈现中性电。等离子体又叫做电浆,是由部分电子被剥夺后的原子及原子被电离后产生的正负电子组成的离子化气体状物质。
热式气体质量流量控制器在使用过程中,不通气应该怎么处理?首先先检查一下产品的针脚接线定义是否对应,以及产品是否正常供电,排除以上原因后,在检查产品的进气压力是多少?因为热式气体质量流量控制器是带有控制阀门的产品,在使用时对初始压力有要求,而且流量控制器的进气和出气两端的压力差值,也必须保证在一个正常的工作压差值范围内才行。压差过小的话,就会导致阀门无法正常开启,气体流通不过去。如果是压力过大的话,会让阀门处于全开状态而达不到控制的目的。当气体质量流量控制器处于清洗状态时,可以当质量流量计使用。
客户在使用气体质量流量控制器/计时,对于气体的要求:1,气体必须洁净并且没有颗粒物,没有液体,这就要求在气体质量流量控制器/计的上游气路中安装<30μm的过滤器。2,输入的气体压力必须符合产品的耐压标准,不可以超过气体质量流量控制器/计要求的压力。3、气体质量流量控制器/计使用的气体必须与用户订货选择的密封材料相适应,用户有责任按照可用的安全规章使用每种气体。不正确的使用产品会使保修无效,由于不正确的使用所导致的损害不能归咎于厂家。气体质量流量控制器高压条件下正常使用需要注意在MFC下游加背压阀,稳定反应室和MFC出口的气压。广东M3030VA气体质量流量控制器哪家质量好
气体质量流量控制器可实现多种通讯方式及客户定制的I/O功能。重庆模拟气体质量流量控制器技术支持
怎么样来区分热式气体质量流量控制器和质量流量计呢?热式流量计传感器包含两个传感元件,一个速度传感器和一个温度传感器。它们自动地补偿和校正气体温度变化。仪表的电加热部分将速度传感器加热到高于工况温度的某一个定值,使速度传感器和测量工况温度的传感器之间形成恒定温差。当保持温差不变时,电加热消耗的能量,也可以说热消散值,与流过气体的质量流量成正比。它是气体流量计量中新型仪表,不需要进行压力和温度修正是区别于其它气体流量计重要指标,能直接测量气体的质量流量,它适合单一气体和固定比例多组份气体的测量。可用于控制一般的腐蚀性气体,正常使用时应保证进出气两端的压差在技术指标范围之内,低于或高于正常工作压差都可导致气体质量流量控制器无法正常使用。热式气体质量流量控制器(MFC)多用于气体动态配比装置、环境检测、真空镀膜、航空航天、光伏行业、精密半导体、燃料电池、气调储存保鲜相关设备、生物反应器、生物过程控制器、食品及制药产业、气相色谱仪等相关行业。重庆模拟气体质量流量控制器技术支持