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来源: 发布时间:2023-07-16

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    工艺盘组件还包括升降机构11,升降机构11与轴承座10连接,用于驱动轴3承座沿传动筒4的轴线方向运动。在本实用新型的实施例中,传动筒4通过轴承轴向固定于轴承座10内,因此升降机构11可以带动传动筒4升降,进而带动工艺盘转轴1和工艺盘01在腔室中升降。推荐地,如图2至4所示,工艺盘组件还包括波浪管6,波浪管6套设在传动筒4的外侧,波浪管6的一端与轴承座10固定连接,波浪管6的另一端用于与工艺腔密封连接。需要说明的是,波浪管6的上端与工艺腔(图未示)的腔室连通,波浪管6的下端与传动机构之间不连通,由于将波浪管气孔61输入的工艺气体导入腔室中以及将反应后的气体由波浪管气孔61导出。在轴承座10进行升降运动时,波浪管6的长度随之改变。本实用新型的实施例中设置波浪管6环绕在传动筒4的外侧,从而利用波浪管6与传动筒4外壁之间的空隙实现了工艺气体的输送,节约了设备空间。为减轻传送组件在升降过程中的振动,提高组件的稳定性,推荐地,如图1所示,工艺盘组件还包括定位块13,定位块13与上法兰101的上表面固定连接。定位块13推荐为弹性材料。在轴承座10向上运动超过预定高度时,定位块13接触上方连接在工艺腔底部的缓冲架,使轴承座10停止上升。湖北PF 半导体与电子工程塑料零件定制加工哪里买无论客户的经营或生产场所位于何处,您都可随时联系我们化学高新材料的技术人员,为您提供支持。

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    碳化硅的自扩散系数小,在不添加烧结助剂的情况下,很难烧结,即使在高温高压下也很难烧结出致密的组织。而采用金属元素的氧化物为烧结助剂能够降低烧结温度,促进烧结体组织致密化,从而提高碳化硅陶瓷的力学性能。***分散剂包括四甲基氢氧化铵、聚乙烯吡咯烷酮、丙烯酸铵、丙烯酸钠、聚乙烯醇及聚乙烯醇缩丁醛中的至少一种。***分散剂能够使碳化硅微粉和稀土元素的氯化物在***溶剂中混合均匀,从而利于后续的喷雾及热处理过程。具体地,步骤s110包括:步骤s112:将金属元素的氯化物、***分散剂、***溶剂及碳化硅微粉混合,得到***浆料。具体地,金属元素的氯化物的加入量按金属元素的氧化物的质量为碳化硅微粉的质量的%~%计算得到。进一步地,金属元素的氯化物的加入量按金属元素的氧化物的质量为碳化硅微粉的质量的2%~3%计算得到。具体地,***溶剂能够溶解金属元素的氯化物。在其中一个实施例中,***溶剂为水和乙醇的混合物。可以理解,在其他实施例中,***溶剂还可以为其他能够溶解金属元素的氯化物的溶剂。步骤s114:在冰浴条件下,将***浆料与环氧丙烷混合,得到第二浆料,且环氧丙烷与***浆料的质量比为(~)∶1。将***浆料与环氧丙烷混合。熟知机加工技能:三菱化学高新材料也通过机加工或注塑生产机械配件。

    上述碳化硅陶瓷的制备方法能够获得具有较好的力学性能的碳化硅陶瓷。附图说明图1为一实施方式的碳化硅陶瓷的制备方法的工艺流程图。具体实施方式为了便于理解本发明,下面将结合具体实施方式对本发明进行更***的描述。具体实施方式中给出了本发明的较佳的实施例。但是,本发明可以以许多不同的形式来实现,并不限于本文所描述的实施例。相反地,提供这些实施例的目的是使对本发明的公开内容的理解更加透彻***。除非另有定义,本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体地实施例的目的,不是旨在于限制本发明。请参阅图1,一实施方式的碳化硅陶瓷的制备方法,包括如下步骤:步骤s110:将碳化硅微粉、金属元素的氯化物、环氧丙烷、***分散剂及***溶剂混合,并在真空条件、700℃~900℃下进行加热处理,得到预处理颗粒,其中,金属元素为稀土元素或锶元素。具体地,碳化硅微粉的粒径为μm~μm。选择上述粒径的碳化硅微粉有利于控制得到的碳化硅陶瓷的晶粒尺寸,从而提高碳化硅陶瓷的力学性能。稀土元素包括钇(y)、钕(nd)、铈(ce)、镧(la)及钐(sm)中的至少一种。且在整个价值链中,具备可追溯性;湖南PVC半导体与电子工程塑料零件定制加工哪里买

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