附图标记说明01：工艺盘1：工艺盘转轴2：驱动衬套210：***衬套部211：驱动通孔211a：避让槽220：第二衬套部221：轴通孔222：定位凸起3：驱动轴310：驱动连接部320：驱动轴体部311：定位平面312：圆柱面4：传动筒41：内凸台结构42：外凸台结构43：挡环槽5：密封衬套6：波浪管7：挡环8：调平件9：传动架91：传动法兰92：法兰连接件10：轴承座101：上法兰102：下法兰11：升降机构12：电机13：定位块具体实施方式以下结合附图对本实用新型的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式*用于说明和解释本实用新型，并不用于限制本实用新型。本实用新型的发明人在实验中发现，工件在工艺盘上出现摆放位置偏移的问题是工艺盘与相应的旋转传动组件之间出现滑移导致的。发明人在进行过大量实验研究后发现，在现有的半导体设备中，为了实现向工艺盘传递扭矩，通常采用圆柱面摩擦传动的方式带动，而正是该摩擦传动方式使得传动件的摩擦面长时间发生相对转动，导致配合面发生摩擦磨损，进而影响了对位精度。因此，为解决上述技术问题，作为本实用新型的***个方面，提供一种半导体设备中的工艺盘组件，如图1至3所示，工艺盘组件包括工艺盘01和工艺盘转轴1。材料组合更多，专设计用于湿制程工具。天津CPVC半导体与电子工程塑料零件定制加工多厚

半导体与电子生产集成电路芯片需要高度专业化的设备，可在多重苛刻环境下工作，如：真空环境下的等离子，高温，与高度研磨液接触，暴露于多种高腐蚀性化学品，与石英和陶瓷等传统材料相比，三菱化学高新材料（MitsubishiChemicalAdvancedMaterialsEPP）已研发出多种材料，既满足了晶圆低污染加工的严格要求，又是低成本的解决方案。我们的材料被设计用于整个晶圆加工制程。您的优势准确复制任何地区可用的材料一般的材料选择、工程支持和测试能力机加工能力，支持仿真系统NPI应用发展材料组合一般，专设计用于湿制程工具CMP环材料的制造商，包括Techtron®PPS（CMP应用）天津环保半导体与电子工程塑料零件定制加工规格尺寸为您的 CNC 铣削部件提供可制造性设计反馈。

    所述第二基准块与**基准块一体成型；所述**基准块的一侧设置有**基准面，所述第二基准块上设置有第二基准面，所述第二基准面垂直于**基准面，所述**基准面和第二基准面的连接处设置有与**基准块和第二基准块连接的圆弧避让槽；所述**基准块和第二基准块远离圆弧避让槽的一侧设置有圆弧基准台，所述圆弧基准台的圆心位于**基准面与第二基准面的连接处。采用此技术方案，设置的**基准面和第二基准面有助于半导体零件的贴合；设置的圆弧避让槽不*有助于抓数治具的加工，而且有助于半导体零件的贴合；设置的圆弧基准台有助于通过圆弧的切边抓数以计算或抓取半导体零件的尺寸以及导角的尺寸。作为推荐，所示抓数治具还设置有底座，所示底座上均匀排列有四个或四个以上抓数治具；四个或四个以上所述的抓数治具其**基准面或第二基准面在同一直线上。采用此技术方案，以便于批量检测抓数。作为推荐，所述圆弧基准台的半经设置在1mm的倍数。采用此技术方案，便于测量以及计算。作为推荐，所述抓数治具的长度设置在40-60mm，宽度设置在30-50mm。采用此技术方案，尺寸小，便于使用，以及保存。作为推荐，所述**基准块的宽度和第二基准块的宽度一致，其宽度设置在8-12mm。

    为实现传动筒4的平稳传动，可选地，如图1至图3所示，工艺盘组件还包括传动架9，传动架9的一端与传动筒4背离波浪管6的一端固定连接，传动架9的另一端用于与电机12的输出轴连接，传动架9用于带动传动筒4转动。本实用新型对传动架9的结构不做具体限定，例如，如图3所示，传动架9包括一对传动法兰91和用于连接两传动法兰91的法兰连接件92。推荐地，下方的传动法兰91通过联轴器与电机12的输出轴连接。为保证所述工艺盘组件运动的流畅性，推荐地，驱动轴3、传动筒4和工艺盘转轴1中至少一者的材料为奥氏体不锈钢。本实用新型的发明人在研究中发现，现有的半导体设备出现旋转卡顿的问题是因为运动件之间的润滑油脂液化泄露，导致润滑效果变差。进过进一步研究后，发明人发现是运动件中的部分钢铁材料结构在高速旋转的过程中因电磁感应效应产生发热现象，其发热量过大引起润滑油脂液化。因此，本实用新型中推荐地选择驱动轴3、传动筒4和工艺盘转轴1的材料为奥氏体不锈钢。奥氏体不锈钢的材料与现有技术中运动件常采用的304不锈钢相比，电阻率更低，在相同转速下电磁感应发热量更小，从而避免了润滑油脂泄露，保证了所述工艺盘组件运动的流畅性。作为一种推荐的实施方式。耐高温材料包括耐火材料和耐热材料。

    塑胶材料项目投资立项申请报告.***章项目基本情况一、项目概况（一）项目名称塑胶材料项目（二）项目选址某某产业示范园区项目属于相关制造行业，投资项目对其生产工艺流程、设施布置等都有较为严格的标准化要求，为了更好地发挥其经济效益并综合考虑环境等多方面的因素，根据项目选址的一般原则和项目建设地的实际情况，该项目选址应遵循以下基本原则的要求。（三）项目用地规模项目总用地面积（折合约）。（四）项目用地控制指标该工程规划建筑系数，建筑容积率，建设区域绿化覆盖率，固定资产投资强度。（五）土建工程指标项目净用地面积，建筑物基底占地面积，总建筑面积，其中规划建设主体工程，项目规划绿化面积。（六）设备选型方案项目计划购置设备共计139台（套），设备购置费。（七）节能分析1、项目年用电量，折合。2、项目年总用水量，折合。3、“塑胶材料项目投资建设项目”，年用电量，年总用水量，项目年综合总耗能量（当量值）。达产年综合节能量，项目总节能率，能源利用效果良好。（八）环境?；は钅糠夏衬巢凳痉对扒⒄构婊夏衬巢凳痉对扒到峁沟髡婊凸业牟捣⒄拐撸欢圆母骼辔廴疚锒疾扇×饲惺悼尚械闹卫泶胧?。与高度研磨液接触，暴露于多种高腐蚀性化学品。江苏制造半导体与电子工程塑料零件定制加工定制

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