探针台-芯片测试必备设备，芯片测试必备设备之手动探针台，集成单筒显微镜带高清1080PCCD相机，较大变焦后可清晰观看1微米光刻晶圆ID号。配置三维磁吸探针座，1微米移动。加载同轴LED光源，实现高清芯片内部电路图像对比度，可观察芯片之美。探针针尖可小于1微米对芯片电极扎针接触，连接电源等仪器就可以对芯片进行测试啦。半导体测试可以按生产流程可以分为三类：验证测试、晶圆测试测试、封装检测。探针台主要用于晶圆制造环节的晶圆检测、芯片研发和故障分析等应用。探针台的建设需要克服地球环境和宇宙环境的技术差距。上海12寸探针台哪家好

探针测试台x-y工作台的分类，纵观国内外的自动探针测试台在功能及组成上大同小异，即主要由x-y向工作台，可编程承片台、探卡/探卡支架、打点器、探边器、操作手柄等组成，并配有与测试仪（TESTER）相连的通讯接口。但如果按其x-y工作台结构的不同可为两大类，即：以美国EG公司为表示的平面电机型x-y工作台（又叫磁性气浮工作台）自动探针测试台和以日本及欧洲国家生产的采用精密滚珠丝杠副和直线导轨结构的x-y工作台型自动探针测试台。由于x-y工作台的结构差别很大，所以其使用维护保养不可一概而论，应区别对待。上海12寸探针台哪家好探针台的建设需要尊重自然和秉持可持续发展理念。

探针台分类，探针台从操作上来区分有:手动，半自动，全自动，从功能上来区分有:温控探针台，真空探针台(较低温探针台)，RF探针台，LCD平板探针台，霍尔效应探针台，表面电阻率探针台。经济手动型，根据客户需求定制：chuck尺寸:4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12" (可选)；X-Y移动行程:4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12"(可选)；chuck Z轴方向升降10mm(选项)方便探针与样品快速分离；显微镜:金相显微镜、体式显微镜、单筒显微镜(可选)；显微镜移动方式:立柱环绕型、移动平台型、龙门结构型(可选)；探针座:有0.7um、2um、10um精度可选，磁性吸附带磁力开关；可搭配Probe card测试；适用领域:晶圆厂、研究所、高校等。

承片台结构设计要具有实现自动对准的兹 向 旋转，兹 向旋转的分度精度要求非常高，在150 mm (6 英寸)晶圆上的分度精度要臆0.05° ；为了实现与探针的紧密接触稳定地抬升、有效地达到接触 位置的精度，抬升机构的进给精度要高，同时承片 台要具备极高的刚性，而且在150 mm 的台面上 刚度一致是非常重要的。通过在Z 轴方向的往复 移动，实现高刚性、稳定的探针接触。承片台旋转结构在设计上采用THK 超精密 交叉滚柱轴环RB 型（外圈分隔，内环旋转）支撑 旋转。在交叉滚柱轴环中，因圆柱形滚柱在呈 90° 的V 形沟槽滚动面上通过间隔保持器被相互垂直排列。使得单个轴承就可承受径向、轴向及 力矩负荷等所有方向的负荷，具有很高的刚性。又 由于内圈或外圈是分隔的构造，轴承间隙可调整。探针台能够为人类文化和科技的不断进步提供有力技术支持。

极低温测试:因为晶圆在低温大气环境测试时，空气中的水汽会凝结在晶圆上，会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。高温无氧化测试：当晶圆加热至300℃,400℃,500℃甚至更高温度时，氧化现象会越来越明显，并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差，物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。探针台的工作需要合理规划和有条不紊的执行。上海12寸探针台哪家好

探针台能够捕捉到宇宙中不同能量和波长的辐射线，并运用档次高技术解析这些信息。上海12寸探针台哪家好

对于正常情况下的定子则要定期作除尘清理工作，清理时应先通入大气以便动子移动，方法是用脱脂棉蘸少许大于95%的无水乙醇，轻擦定子表面，然后用专门使用工具撬起动子，方法同前， 轻擦动子表面，动子的表面有若干个气孔，它是定子和动子间压缩空气的出孔，观察这此气孔的放气是否均匀，否则用工具小心旋开小孔中内嵌气孔螺母检查是否有杂质堵塞气孔，处理完毕后应恢复内嵌气孔螺母原始状态。需要特别注意的是在未加压缩空气时不可强行拉动动子，以免造成定子及动子的损伤。平面电机应使用在环境温度15～25 ℃，相对湿度小于50%的环境中，其所需的压缩空气必须经过干燥过滤处理且与环境空气温度差值小于5 ℃，气压为0．4±0．04MPa。上海12寸探针台哪家好