将上述sr掺杂batio3/znte工作电极放入光电化学反应器内,与铂片对电极组装成两电极体系,将该电极在+,所用溶液为碳酸丙烯酯,用去离子水清洗后,将光电极在真空条件下50℃干燥10h。之后,采用上海辰华chi660e电化学工作站,将极化后的sr掺杂batio3/znte工作电极和饱与铂片对电极、饱和甘汞电极组装成典型的三电极体系,电解质溶液为。光电流测试前,往电解质溶液中鼓co2半个小时,使溶液中的氧气排尽,co2浓度达到饱和。图4为本实施例制备的sr掺杂batio3/znte工作电极和水热法制备的znte薄膜电极在。由图可知,单独的znte光电催化难以产生co产物,说明znte光阴极的大部分载流子不能与co2发生相互作用,导致界面载流子严重复合,co产生量很低。但是,sr掺杂batio3/znte工作电极的co产量明显增加,说明sr掺杂batio3增加了znte表面的载流子浓度,间接证实了sr掺杂batio3的载流子分离作用。硅光二极管哪家棒!世华高。硅光硅光电二极管生产厂家
6)在sio2层104、si3n4层105上刻出接触孔,然后溅射金属,溅射完成后刻蚀形成正面金属电极106;7)在衬底107的背面做金属化处理形成背面电极108。进一步的,所述的衬底107采用电阻率20~100为ohm·cm的低电阻率硅材料;衬底107直接与背面金属形成良好的欧姆接触;所述的高反层109是由折射率~~,通过化学气相淀积或光学镀膜技术生成;所述的外延层101的电阻率为500~1000ohm·cm,外延层101的厚度与耗尽区宽度相当;所述的保护环102为as离子源注入,注入剂量为1e15~2e15。所述的有源区103为b离子源注入,注入剂量为1e15~2e15;所述的正面金属电极106是在溅射al之后刻蚀形成。具体的,包括以下操作:1)以在n+掺杂硅材料作为衬底107,在其上通过化学气相淀积或光学镀膜生成厚度3~5um的高反层109;其中。深圳市世华高半导体有限公司(SIVAGO)成立于2004年,总部设在深圳,主要负责研发和销售工作。该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地,负责光电器件的制造。其产品范围包括光电二极管、光电三极管、红外线接收头、发射管、发光二极管、硅光电池、霍尔元件、光电开关、光电编码器、纸张感应器和光电耦合器等。经过十余年的发展。南京进口硅光电二极管二极管pin硅光电二极管哪家好!世华高好。
以p型离子注入形成有源区;所述的氧化硅层为热氧化生成sio2层,所述的氮化硅层为淀积生长的si3n4层;所述的正面金属电极是在溅射后经刻蚀成形。所述外延层的电阻率为500~1000ohm·cm,外延层厚度wepi根据耗尽区宽度wd确定:wepi≈wd,而wd≥w入/2,其中w入=f(λ),w入为入射光入射深度,λ为入射光波长。一种高速高响应度的硅基光电二极管的制备方法,包括以下操作:1)在衬底上溅射生成高反层;2)高反层开设刻蚀孔;3)高反层上通过淀积的方法生长外延层;4)在外延层上通过离子注入分别形成?;せ泛陀性辞?)在?;せ泛陀性辞仙蓅io2层,然后在sio2层上方生成si3n4层;6)在sio2层、si3n4层上刻出接触孔,然后溅射金属,溅射完成后刻蚀形成正面金属电极;7)在衬底的背面做金属化处理形成背面电极。所述的衬底采用电阻率20~100为ohm·cm的低电阻率硅材料;衬底直接与背面金属形成良好的欧姆接触;所述的高反层是由折射率~~,通过化学气相淀积或光学镀膜技术生成;所述的外延层的电阻率为500~1000ohm·cm,外延层的厚度与耗尽区宽度相当;所述的?;せ肺猘s离子源注入,注入剂量为1e15~2e15。深圳市世华高半导体有限公司(SIVAGO)成立于2004年,总部设在深圳。
本发明具有以下有益的技术效果:本发明提供的高速高响应度的硅基光电二极管,通过适当减小耗尽区宽度和减小扩散区电阻率,耗尽区宽度减小导致响应度的降低,本发明通过增加高反层使得光子在耗尽区中二次吸收来补偿;高反层的形成使得器件保持对长波响应度的同时,降低响应时间;由于扩散区(耗尽区以外的区域)材料电阻率很低,扩散区阻抗很小,因此扩散时间很短;从而实现硅基光电二极管高响应度与高响应速度同时提升。本发明提供的高速高响应度的硅基光电二极管,由于通过低阻材料降低了扩散区电阻,缩短了扩散时间;而高反层的设置提高了长波的吸收效率,降低了耗尽区的物理厚度,缩短了漂移时间,并且在其上开孔减小了扩散区的阻抗;衬底采用低电阻率材料,背面不用进行减薄注入,直接背面金属化形成背面电极,避免了加工过程中碎片的情况。附图说明图1为本发明的结构图示意图;图2为本发明的等效电路示意图;图3为本发明的高反层原理示意图;图4为多孔结构高反层的示意图;图5-1~图5-7分别为本发明的逐层制备示意图。图6为本发明的硅基光电二极管的响应度测试曲线;图7为本发明的硅基光电二极管的频率特性测试曲线。硅光电二极管厂家就找世华高。
其产品范围包括光电二极管、光电三极管、红外线接收头、发射管、发光二极管、硅光电池、霍尔元件、光电开关、光电编码器、纸张感应器和光电耦合器等。经过十余年的发展,世华高半导体已成为一家先进的半导体器件制造商。公司在全球范围内设有多个销售机构,分布在中国、印度、泰国、伊朗、香港等多个国家和地区。采用上海辰华chi660e电化学工作站,将极化后的sr掺杂batio3/znte工作电极和饱与铂片对电极、饱和甘汞电极组装成典型的三电极体系,电解质溶液为。光电流测试前,往电解质溶液中鼓co2半个小时,使溶液中的氧气排尽,co2浓度达到饱和。图3为本实施例制备的sr掺杂batio3/znte工作电极和水热法制备的znte薄膜电极的性扫描伏安法图,扫描速度为20mv/s。由图可知,znte电极经sr掺杂batio3铁电材料修饰后,光电流密度增加,且co2还原的起始电位正移,说明铁电材料的极化场对znte电极的光电流具有明显的促进作用。在可见光照射下,有znte被激发,说明复合材料光电流的提升来自于铁电材料的改性作用。实施例三称取、,依次加入2ml乙酸、8ml乙醇和8ml水,搅拌一定时间,使固体粉末完全溶解;然后,加入,搅拌24h,得到纺丝溶液;移取7ml纺丝溶液到10ml注射器中。硅光电池就找深圳世华高。深圳光电硅光电二极管找哪家
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硅光二极管在光电子学领域的重要性不言而喻。作为光电转换的基本单元,它在光信号的接收、处理和传输中发挥着关键作用。随着光电子技术的飞速发展,硅光二极管不仅在传统的通信领域得到广泛应用,还在新兴的光计算、光存储等领域展现出巨大的潜力。其优异的性能和稳定性使其成为光电子器件中的佼佼者。深圳市世华高半导体有限公司(SIVAGO)成立于2004年,总部设在深圳,主要负责研发和销售工作。该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地,负责光电器件的制造。其产品范围包括光电二极管、光电三极管、红外线接收头、发射管、发光二极管、硅光电池、霍尔元件、光电开关、光电编码器、纸张感应器和光电耦合器等。世华高半导体已成为一家先进的半导体器件制造商。公司在全球范围内设有多个销售机构,分布在中国、印度、泰国、伊朗、香港等多个国家和地区。随着生产规模的不断扩大和产品种类的丰富,公司的销售业绩稳步提升。硅光硅光电二极管生产厂家