热红外显微镜(Thermal EMMI) 也是科研与教学领域的利器,其设备能捕捉微观世界的热信号。它将红外探测与显微技术结合,呈现物体表面温度分布,分辨率达微米级,可观察半导体芯片热点、电子器件热分布等。非接触式测量是其一大优势,无需与被测物体直接接触,避免了对样品的干扰,适用于多种类型的样品检测。实时成像功能可追踪动态热变化,如材料相变、化学反应热释放。在高校,热红外显微镜助力多学科实验;在企业,为产品研发和质量检测提供支持,推动各领域创新突破。锁相热成像系统解析电激励产生的温度场信息。thermal锁相红外热成像系统平台
在光伏行业,锁相热成像系统成为了太阳能电池板质量检测的得力助手。太阳能电池板的质量直接影响其发电效率和使用寿命,而电池片隐裂、焊接不良等问题是影响质量的常见隐患。锁相热成像系统通过对电池板施加特定的热激励,能够敏锐地捕捉到因这些缺陷产生的温度响应差异,尤其是通过分析温度响应的相位差异,能够定位到细微的缺陷。这一技术的应用,帮助制造商及时发现生产过程中的问题,有效提高了产品的合格率,为提升太阳能组件的发电效率提供了坚实保障,推动了光伏产业的健康发展。IC锁相红外热成像系统工作原理锁相检测模块功能是通过与电激励信号的同步锁相处理,从热像序列中提取与激励频率一致的温度波动分量。
性能参数的突破更凸显技术实力。RTTLIT P20 的测温灵敏度达 0.1mK,意味着能捕捉到 0.0001℃的温度波动,相当于能检测到低至 1μW 的功率变化 —— 这一水平足以识别芯片内部栅极漏电等隐性缺陷;2μm 的显微分辨率则让成像精度达到微米级,可清晰呈现芯片引线键合处的微小热异常。而 RTTLIT P10 虽采用非制冷型探测器,却通过算法优化将锁相灵敏度提升至 0.001℃,在 PCB 板短路、IGBT 模块局部过热等检测场景中,既能满足精度需求,又具备更高的性价比。此外,设备的一体化设计将可见光、热红外、微光三大成像模块集成,配合自动化工作台的精细控制,实现了 “一键切换检测模式”“双面观测无死角” 等便捷操作,大幅降低了操作复杂度。
电子产业的电路板老化检测中,电激励的锁相热成像系统效果优异,为电子设备的维护和更换提供了科学依据,有效延长了设备的使用寿命。电路板在长期使用过程中,会因元件老化、线路氧化、灰尘积累等原因,导致性能下降,可能出现隐性缺陷,如电阻值漂移、电容漏电、线路接触不良等。这些隐性缺陷在设备正常工作时可能不会立即显现,但在负载变化或环境温度波动时,可能会导致设备故障。通过对老化的电路板施加适当的电激励,模拟设备的工作状态,老化缺陷处会因性能参数的变化而产生与正常区域不同的温度变化。锁相热成像系统能够检测到这些温度变化,并通过分析温度场的分布特征,评估电路板的老化程度和潜在故障风险。例如,在检测工业控制设备的电路板时,系统可以发现老化电容周围的温度明显高于正常区域,提示需要及时更换电容,避免设备在运行过程中突然故障。电激励强度可控,保护锁相热成像系统检测元件。
致晟光电热红外显微镜采用高性能InSb(铟锑)探测器,用于中波红外波段(3–5 μm)的热辐射信号捕捉。InSb材料具有优异的光电转换效率和极低的本征噪声,在制冷条件下可实现高达nW级的热灵敏度和优于20mK的温度分辨率,适用于高精度、非接触式热成像分析。该探测器在热红外显微系统中的应用,提升了空间分辨率(可达微米量级)与温度响应线性度,使其能够对半导体器件、微电子系统中的局部发热缺陷、热点迁移和瞬态热行为进行精细刻画。配合致晟光电自主开发的高数值孔径光学系统与稳态热控平台,InSb探测器可在多物理场耦合背景下实现高时空分辨的热场成像,是先进电子器件失效分析、电热耦合行为研究及材料热特性评价中的关键。锁相热成像系统缩短电激励检测的响应时间。热红外成像锁相红外热成像系统设备
电激励与锁相热成像系统结合,实现无损检测。thermal锁相红外热成像系统平台
在实际应用中,这款设备已成为半导体产业链的 “故障诊断利器”。在晶圆制造环节,它能通过热分布成像识别光刻缺陷导致的局部漏电;在芯片封装阶段,可定位引线键合不良引发的接触电阻过热;针对 IGBT 等功率器件,能捕捉高频开关下的瞬态热行为,提前预警潜在失效风险。某半导体企业在检测一批失效芯片时,传统热成像设备能看到模糊的发热区域,而使用致晟光电的一体化设备后,通过锁相技术发现发热区域内存在一个 2μm 的微小热点,终定位为芯片内部的金属离子迁移缺陷 —— 这类缺陷若未及时发现,可能导致产品在长期使用中突然失效。thermal锁相红外热成像系统平台