供人员或者其他设备通过2.可以局部移动,以临时腾开公共空间供第三方使用3.可以提升到一定高度,将公共资源空间让出来供第三方使用不好扩展离散式的搬运系统,如果效率箱想进一步提升,或者接驳方式要改变,可以通过增加单体离散搬运设备数量和改造装载方式即可实现。而对于连续性搬运设备而言,却很难实现。借鉴离散型搬运系统中由单个搬运设备组成的特点,可以将连续搬运设备采用模块化的设计。总结:一个完整的自动化仓储物流系统,不会只由一种搬运形式所组成,往往是由多个离散式搬运子系统和连续式搬运子系统利用各自的优势和特点实现整个系统的功能。目前某些前沿的面向未来的厂内物流自动化技术在研究如何将离散和连续各自的优势结合到一起形成既有柔性、机动性,又能高搬运效率的综合搬运系统。比如配置有滚筒的智能搬运小车,为了提高搬运效率,可以自行拼接成连续搬运的滚筒输送线。再比如德国研发的Celluveyor,使输送机不再是固定的一成不变的输送装置,而是采用模块化的设计,使其更加灵活,搬运路径和方式可变。另外,以上的讨论的搬运都是建立在以电机驱动的形式下而展开的,实际应用中的搬运也有通过气动的方式来搬运的。锡山区正规商铺搬运报价哪家好,诚心推荐无锡永旺搬家有限公司。无锡正规商铺搬运服务
参照图6)。因此,起重机用行驶部31或者搬运车用行驶部51能够无障碍地在以及第二连结轨道60a、60b行驶。这样,将上述轨道设为相同的剖面形状,由此能够实现轨道的标准化,能够以低成本进行轨道的设置。在上述搬运系统100中,悬挂式起重机30在存储库区域10a或者存储库区域10b内,沿着起重机轨道20行驶,在保管部11与交接口12之间搬运物品2。例如,悬挂式起重机30能够通过物品移载部34(参照图4)接受被保管部11保管的物品2,沿着起重机轨道20行驶至交接口12,将物品2载置于交接口12。另外,在利用高架搬运车50将物品2载置于交接口12的情况下,悬挂式起重机30能够沿着起重机轨道20行驶到交接口12,利用物品移载部34接受物品2之后,沿着起重机轨道20行驶到移载目的地的保管部11,通过物品移载部34将物品2载置于保管部11。另外,在搬运系统100中,高架搬运车50在利用悬挂式起重机30将物品2载置在交接口12的情况下,沿着高架搬运车轨道40行驶至存储库区域10a的交接口12。然后,能够由物品保持部53(参照图5)保持物品2,在高架搬运车轨道40行驶,由此将物品2搬运到其它存储库区域10b的交接口12、处理装置lt的装载端口lp或者暂存区st,在他们各自处载置物品2。另外。新吴区学校商铺搬运价钱梁溪区品质商铺搬运报价哪家好,诚心推荐无锡永旺搬家有限公司。
具体实施方式以下,参照附图对实施方式进行说明。在以下的各图中,使用xyz坐标系对图中的方向进行说明。在该xyz坐标系中,将铅直方向设为z方向,将水平方向设为x方向、y方向。x方向是水平方向内的一个方向,是沿着后述的区段间顶棚轨道13和第二区段间顶棚轨道14的方向。y方向是与x方向正交的方向,是沿着区段内顶棚轨道11的直线部11a、和第二区段内顶棚轨道12的直线部12a的方向。另外,关于x、y、z方向的各方向,适当地将与箭头相同一侧称为+侧(例如,+x侧),将其相反侧称为-x侧(例如,-x侧)。图1是表示本实施方式所涉及的搬运系统100的一个例子的俯视图。图1所示的搬运系统100例如设置于半导体设备的制造工厂等,对收容有在半导体设备的制造中使用的半导体晶圆的foup、或者收容有中间掩模等的中间掩模盒等物品2进行搬运。在本实施方式中,使用物品2是foup的例子来进行说明,但物品2也可以是除foup以外的物品。另外,搬运系统100也能够应用于除半导体制造领域以外的设备,物品2可以是由用于设置搬运系统100的设备处理的各种物品。在本实施方式中。
所述存储库具备:在上下方向设置多层来保管物品的保管部、用于交接物品的交接口、沿着保管部以及交接口设置的起重机轨道、沿着起重机轨道行驶的起重机用行驶部、从起重机用行驶部垂下的桅杆、以及具有被桅杆引导地升降的物品移载部并且在保管部与交接口之间搬运物品的悬挂式起重机;高架搬运车轨道,其被设置于存储库区域之外,沿着交接口以及处理装置的装载端口延伸至规定区域;高架搬运车,其具有沿着高架搬运车轨道行驶的搬运车用行驶部、以及保持并升降物品的物品保持部,并且在交接口与装载端口之间搬运物品;以及连结轨道,其连结起重机轨道与高架搬运车轨道,所述搬运方法包含以下步骤:使起重机用行驶部从起重机轨道通过连结轨道进入高架搬运车轨道,在高架搬运车轨道行驶至规定区域,或者使起重机用行驶部从规定区域进入高架搬运车轨道行驶至连结轨道,通过连结轨道进入起重机轨道而在起重机轨道行驶。根据本发明的搬运系统以及搬运方法,通常沿着存储库区域内的起重机轨道行驶并且在存储库区域内在保管部与交接口之间移载物品的悬挂式起重机能够根据需要,通过连结轨道以及高架搬运车轨道移动到存储库区域外的规定区域。根据该结构。锡山区企业商铺搬运报价哪家好,诚心推荐无锡永旺搬家有限公司。
搬运系统100在配置于、第二装置区域ta1、ta2的、第二处理装置tl1、tl2的装载端口lp、以及后述的、第二保管部20a、20b、、第二交接端口30a、30b之间搬运物品2。、第二处理装置tl1、tl2例如是曝光装置、涂布显影装置、制膜装置、或者蚀刻装置等,对收容于搬运系统100所搬运的物品2的半导体晶圆实施各种处理。各、第二处理装置tl1、tl2分别具备两处装载端口lp。图2是表示、第二处理装置tl1、tl2和装载端口lp的一个例子的图。在图2中表示从+x侧观察、第二处理装置tl1、tl2和装载端口lp的情况的一个例子。如图1和图2所示,处理装置tl1在设定于制造工厂等的地板部的装置区域ta1内沿一个方向(y方向)排列配置。第二处理装置tl2在第二装置区域ta2内沿一个方向(y方向)排列配置。、第二装置区域ta1、tl2分别沿x方向配置多个。沿y方向排列的多个、第二处理装置tl1、tl2沿x方向设置多列。此外,多个、第二处理装置tl1、tl2的配置是一个例子,也可以是其他配置。另外,并不限定于、第二处理装置tl1、tl2具备两处装载端口lp,也可以具备一处或者三处以上。另外,在制造工厂等中配置用于暂时保管物品2的、第二保管区域sa1、sa2。保管区域sa1与处理装置tl1对应设置。滨湖区长途商铺搬运报价哪家好,诚心推荐无锡永旺搬家有限公司。新吴区学校商铺搬运价钱
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行驶部41a能够从区段内顶棚轨道11经由连接轨道15或者第二连接轨道16驶入区段间顶棚轨道13或者第二区段间顶棚轨道14地进行行驶。第二起重机40b的第二行驶部41b能够从第二区段内顶棚轨道12驶入区段间顶棚轨道地进行行驶。即,第二行驶部41b能够从第二区段内顶棚轨道12经由连接轨道15或者第二连接轨道16驶入区段间顶棚轨道13或者第二区段间顶棚轨道14地进行行驶。根据该结构,、第二起重机40a、40b根据需要而能够容易地经由区段内顶棚轨道11或者第二区段内顶棚轨道12在区段内顶棚轨道11与第二区段内顶棚轨道12之间移动。、第二升降台43a、43b在下表面侧安装有、第二移送部44a、44b,并被、第二桅杆42a、42b引导而能够升降。、第二升降台43a、43b具备与、第二桅杆42a、42b的表面接触的未图示的引导滚子,从而顺利地进行沿着、第二桅杆42a、42b的升降动作。另外,在、第二桅杆42a、42b的下部设置有未图示的下部支承体,、第二升降台43a、43b能够下降至在该下部支承体上抵接的位置。此外,下部支承体防止、第二升降台43a、43b从、第二桅杆42a、42b向下方脱落。无锡正规商铺搬运服务
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