具体实施方式以下,参照附图对实施方式进行说明。在以下的各图中,使用xyz坐标系对图中的方向进行说明。在该xyz坐标系中,将铅直方向设为z方向,将水平方向设为x方向、y方向。x方向是水平方向内的一个方向,是沿着后述的区段间顶棚轨道13和第二区段间顶棚轨道14的方向。y方向是与x方向正交的方向,是沿着区段内顶棚轨道11的直线部11a、和第二区段内顶棚轨道12的直线部12a的方向。另外,关于x、y、z方向的各方向,适当地将与箭头相同一侧称为+侧(例如,+x侧),将其相反侧称为-x侧(例如,-x侧)。图1是表示本实施方式所涉及的搬运系统100的一个例子的俯视图。图1所示的搬运系统100例如设置于半导体设备的制造工厂等,对收容有在半导体设备的制造中使用的半导体晶圆的foup、或者收容有中间掩模等的中间掩模盒等物品2进行搬运。在本实施方式中,使用物品2是foup的例子来进行说明,但物品2也可以是除foup以外的物品。另外,搬运系统100也能够应用于除半导体制造领域以外的设备,物品2可以是由用于设置搬运系统100的设备处理的各种物品。在本实施方式中。梁溪区学校商铺搬运报价哪家好,诚心推荐无锡永旺搬家有限公司。无锡商铺搬运公司电话
入口部15a形成供高架搬运车50从区段间顶棚轨道13向区段内顶棚轨道11或者第二区段内顶棚轨道12行驶的路径。出口部15b形成供高架搬运车50从区段内顶棚轨道11或者第二区段内顶棚轨道12向区段间顶棚轨道13行驶的路径。第二连接轨道16与连接轨道15相同地,具有入口部16a和出口部16b作为两个轨道。入口部16a形成供高架搬运车50从第二区段间顶棚轨道14向区段内顶棚轨道11或者第二区段内顶棚轨道12行驶的路径。出口部16b形成供高架搬运车50从区段内顶棚轨道11或者第二区段内顶棚轨道12向第二区段间顶棚轨道14行驶的路径。此外,在本实施方式中,示出连接轨道15与第二连接轨道16是同一形状或者大致同一形状的例子,但连接轨道15与第二连接轨道16也可以是不同的形状。如图1所示,保管部20a和交接端口30a配置于保管区域sa1。如图1所示,第二保管部20b和第二交接端口30b配置于第二保管区域sa2。保管部20a和交接端口30a配置于区段内顶棚轨道11的下方且侧方。第二保管部20b和第二交接端口30b配置于第二区段内顶棚轨道12的下方且侧方。保管部20a和交接端口30a配置于在区段内顶棚轨道11能够通过后述的起重机40a和高架搬运车50进行物品2的交接的范围。无锡商铺搬运公司电话梁溪区货车商铺搬运报价哪家好,诚心推荐无锡永旺搬家有限公司。
"接头"需要建立在移动的离散设备与上下游设备之间的良好通讯条件的基础上。与上位软件的通讯为了更好的管理整个搬运过程,一个自动化系统通常也需要有一个管理搬运任务和设备的上位管理软件,常见的有仓库管理软件WMS、仓库控制软件WCS、自动搬运机器人调度软件等等。上位各种管理软件的功能都是建立在与现场环境中所有的搬运设备信息交互的基础上。上位管理软件下发的指令数据需要通讯通道将命令传递到搬运设备上,同时,现场的搬运设备的当前的状态和任务执行情况要实时的上传给上位机管理软件与第三方的通讯需要通过运动才能执行搬运任务的离散搬运设备,在执行任务时一定会占用一定的公共资源,比如要占用通道,占用电梯又或者是通过一到门。占用公共资源之前,离散搬运设备可能需要通过与公共资源通讯进而申请占用授权,公共资源允许后通知搬运设备,在完成占用后,搬运设备将释放信号再次通知给公共资源,以便公共资源下次为别的设备提供资源。:工业内通用的通讯方式主要有两大类,有线通讯,无线通讯。传统的有线通讯稳定性高,无线通讯便捷和机动性高。很显然,对于绝大部分的离散搬运设备来讲,无线通讯是较好的选择。而在实际上。
也可在使悬挂式起重机30从存储库区域10a向规定区域(10b、10c、10d)移动的情况下使用第二机架内环绕轨道42,在使悬挂式起重机30从规定区域向存储库区域10a移动的情况下使用机架内环绕轨道41。另外,也可在使悬挂式起重机30从存储库区域10a向规定区域(10b、10c、10d)移动的情况下,以及在使悬挂式起重机30从规定区域向存储库区域10a移动的情况下,使用相同的机架内环绕轨道。另外,在法律允许的范围内,引用作为日本申请的特愿2017-128569以及本说明书所引用的全部的文献的内容并作为正文记载的一部分。附图标记的说明lp…装载端口、mn…维护装置;st…暂存区;tl…处理装置;2…物品;10…存储库;10a…存储库区域;10b…存储库区域(规定区域);10c…维护区域(规定区域);10d…规定区域;10f…作业者进入禁止区域;10g…作业者通路;11…保管部;12…交接口;20,20c,20d…起重机轨道;30…悬挂式起重机;31…起重机用行驶部;32…桅杆;33…升降台;34…物品移载部;35…升降驱动部;40…高架搬运车轨道;41…机架内环绕轨道;41a、42a…外绕轨道;41b、42b…内绕轨道;41c、42c…连接轨道;42…第二机架内环绕轨道;43…机架间轨道;44…第二机架间轨道;50…高架搬运车。滨湖区质量商铺搬运报价哪家好,诚心推荐无锡永旺搬家有限公司。
在半导体制造工厂等制造工厂中,配置有保管收纳半导体晶圆的foup或者收纳中间掩膜的中间掩膜盒等物品的存储库。存储库具备用于在多个保管架与交接口之间移载物品的起重机。作为该起重机公知有在被配置于顶棚的轨道上行驶的悬挂式起重机,为了提高物品的移载效率,提出了两种悬挂式起重机在共用的轨道上行驶的构成(例如,参照文献1)。文献1:国际公开第2016/178347号对于文献1所记载的存储库,两种悬挂式起重机虽在共用的轨道上行驶,但其行驶范围被限制在配置了存储库的一个存储库区域内。因此,在使该悬挂式起重机向其它的存储库区域移动时,或者为了维护而使悬挂式起重机向维护区域移动时,需要从轨道取下并搬运悬挂式起重机。但是,从轨道取下悬挂式起重机的作业麻烦且费事,作业者的负担大。并且,由于使用特殊的搬运设备搬运已取下的悬挂式起重机,所以不仅成本提高,而且存在搬运也需要时间这样的问题。技术实现要素:本发明目的是提供一种能够容易地使悬挂式起重机在存储库区域内与规定区域之间移动而不使用特殊的搬运设备的搬运系统以及搬运方法。本发明的搬运系统具备:被配置于存储库区域内的存储库?;萆角分噬唐贪嵩吮勰募液茫闲耐萍鑫尬劳峒矣邢薰尽A合掏旧唐贪嵩说缁?/p>
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、第二移送部44a、44b具备能够沿与、第二行驶部41a、41b的行驶方向正交的方向伸缩的臂部48、和设置于臂部48的前端并保持物品2的保持部49。保持部49通过把持物品2的凸缘部2a而将物品2悬挂保持。保持部49例如是具有能够沿水平方向移动的爪部49a的卡盘,使爪部49a侵入至物品2的凸缘部的下方,使保持部49上升,由此将物品2悬挂保持。在、第二移送部44a、44b接收物品2时,将臂部48伸长而使保持部49配置于物品2的上方,在使凸缘部2a保持于爪部49a的状态下使、第二升降台43a、43b上升,由此利用保持部49将物品2提起。接着,、第二移送部44a、44b维持利用保持部49保持物品2的状态地收缩臂部48,由此将保持有物品2的保持部49配置于、第二升降台43a、43b的下方。此外,、第二移送部44a、44b并不限定于上述的结构。例如,也可以是保持部49载置物品2的结构,也可以是保持部49把持且保持物品2的侧面的结构。、第二升降驱动部45a、45b例如使用升降机等,沿着、第二桅杆42a、42b使、第二升降台43a、43b升降。、第二升降驱动部45a、45b具备悬挂部件45a和驱动部45b。悬挂部件45a例如是带状物或者线材等,、第二升降台43a、43b通过该悬挂部件45a从上部支承体47悬挂。无锡商铺搬运公司电话
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