超高研磨性能的金刚石微粉研究所一直在大力研究和开发人造金刚石微粉研磨膏的应用。据他们认为,金刚石研磨膏应用于抛光高精度零件比用非金刚石磨料制成的研磨膏的生产效率提高1~2倍,而且加工的光洁度可提高一个等级。金刚石研磨膏的应用十分多,常用于一些高精度高表面光洁度元器件的精磨和抛光。例如用于金相试样、拉丝模、钟表和其它工业用宝石轴承、压模和冲模、量规和块规、航空器高精度液压传动零件和内燃机零件、精密仪表元件、雷达设备、各种晶体管和陀螺仪零件等的精磨或抛光。此外还用于钻石、硬质合金、玻璃、石英、陶瓷、红宝石、蓝宝石、锗、硅和其它硬脆材料元件的研磨,以及铸铁、钢、有色金属和合金零件的抛光;钛、钽、锆和...
金刚石磨轮磨削的优点有哪些?1、磨削效率高在磨削硬质合金时,它的磨削效率是碳化硅的好几倍。在磨削W12Cr4V4Mo这种磨削性能很差的高速钢时,平均提高效率5倍以上。2、具有很高的耐磨性金刚石磨轮的耐磨性很高,磨粒消耗很少,特别是在磨削很硬又很脆的工件时,这点较为突出。用金刚石磨轮磨削淬火钢时,它的耐磨性是一般磨料的100~200倍;磨削硬质合金时,则是一般磨料的5000~10000倍。3、磨削力小,磨削温度低金刚石磨粒的硬度和耐磨性很高,磨粒能长久保持锋利,容易切入工件。用树脂结合剂的金刚石磨轮磨削硬质合金时,磨削力只有普通砂轮磨削力的l/4~1/5。金刚石的导热系数很高,是碳化硅的17.5...
金刚石铰刀的磨损原理比较复杂,主要有宏观磨损和微观磨损,前者主要是机械磨损,后者主要是热化学磨损。金刚石铰刀常见的磨损形式有前刀面磨损、后刀面磨损和刀刃破裂。单晶金刚石铰刀在刃磨时,既要有磨耗,也要有刃磨出符合要求的刀具,但是如果产生不必要的磨耗,则可损伤已被刃磨好的前后刀面。当刃口应力大于金刚石铰刀的局部承受能力时,就会产生刃口崩裂(即崩裂),这通常是由于金刚石晶体沿晶表面的微观解理破坏所致。金刚石铰刀的切削刃钝圆半径在超精密加工中相对较小,其自身又属于硬脆材料,同时由于其切面各向异性容易发生解理,常因振动和砂轮砂粒对刃口的冲击而伴随崩刃现象。类金刚石薄膜的损耗严重吗?上海铰刀类金刚石哪个好...
金刚石磨轮磨削的优点有哪些?1、磨削效率高在磨削硬质合金时,它的磨削效率是碳化硅的好几倍。在磨削W12Cr4V4Mo这种磨削性能很差的高速钢时,平均提高效率5倍以上。2、具有很高的耐磨性金刚石磨轮的耐磨性很高,磨粒消耗很少,特别是在磨削很硬又很脆的工件时,这点较为突出。用金刚石磨轮磨削淬火钢时,它的耐磨性是一般磨料的100~200倍;磨削硬质合金时,则是一般磨料的5000~10000倍。3、磨削力小,磨削温度低金刚石磨粒的硬度和耐磨性很高,磨粒能长久保持锋利,容易切入工件。用树脂结合剂的金刚石磨轮磨削硬质合金时,磨削力只有普通砂轮磨削力的l/4~1/5。金刚石的导热系数很高,是碳化硅的17.5...
近几年来,在经济全球化背景下,我国的制造业获得了空前发展的机遇,而现代切削刀具成了提升制造业技术水平的关键因素之一,不断提高的切削加工要求和被加工材料的能级以及减少切削加工对环境污染等有力地推动了用于现代切削刀具涂层技术的发展.膜系材料多元合金化,涂层工艺组合的多样化中出现的TiAlN、TiAlCN、CrSiN等多元复合涂层和多层涂使刀具获得了高耐磨、低摩擦、热稳定性好和抗氧化能力强等良好的综合性能,有效提升了现代切削刀具的性能;纳米组分和纳米薄膜涂层的显微结构使得难加工材料的切削得到了新的解决办法。类金刚石膜的制备及其物理性质。无锡模具类金刚石价格类金刚石薄膜的制备方法根据制备DLC薄膜碳源...
类金刚石碳膜因同时具有高硬度和低摩擦系数而引起关注,然而,它与工业中常用的铁基材料存在"触媒效应",即,镀的刀具在加工黑色金属的过程中高硬度砂键会转化成软的护键,使耐磨性急剧下降,因此限制了它的应用范围年限,柳襄怀等采用离子束辅助沉积功技术制备出了用于满足电磁功能要求的"石墨化"的膜年,提出存在高硬度"碳结构",其后,英国及公司采用全封闭非平衡磁控溅射制备出了高硬度碳膜一镀层阅研究表明一以砂结构为主,在与钢铁材料摩擦时未出现"触媒效应"且硬度适中、摩擦系数小、比磨损率较低一个数量级,具有极其优越的摩擦学性能碳膜的结构和性能很大程度上与其制备工艺有关方法便于控制辅助轰击参数以改变镀层的结构,磁控...
经过对类金刚石涂层制备过程的分析发现,当基体表面薄膜的厚度大于或等于1um时,薄膜会发生脱落,这与膜体-基底之间热膨胀系数不匹配有关。因此,如何改善膜基结合力,提高薄膜稳定性引起业内人士关注。薄膜与基体之间结合力的大小与沉积方法及沉积工艺参数有关,因此选择合适的沉积压力、偏压等参数,有助于提高膜体与基体之间的结合力,并延长类金刚石膜层的使用时间。改善基体状态当基体表面存在缺陷时,会影响膜与基体之间的结合,对此可以利用超声波、金刚石研磨等机械方法来清洗刀具基体,表面污染物及氧化物;另外,采用化学酸蚀方法,能够去除刀具基体表面的钴,并能粗化基体,增加膜基接触面积,提高膜基结合力。添加过渡层膜基之间...
金刚石铰刀的磨损原理比较复杂,主要有宏观磨损和微观磨损,前者主要是机械磨损,后者主要是热化学磨损。金刚石铰刀常见的磨损形式有前刀面磨损、后刀面磨损和刀刃破裂。单晶金刚石铰刀在刃磨时,既要有磨耗,也要有刃磨出符合要求的刀具,但是如果产生不必要的磨耗,则可损伤已被刃磨好的前后刀面。当刃口应力大于金刚石铰刀的局部承受能力时,就会产生刃口崩裂(即崩裂),这通常是由于金刚石晶体沿晶表面的微观解理破坏所致。金刚石铰刀的切削刃钝圆半径在超精密加工中相对较小,其自身又属于硬脆材料,同时由于其切面各向异性容易发生解理,常因振动和砂轮砂粒对刃口的冲击而伴随崩刃现象。类金刚石薄膜材料结构特点。松江电镀类金刚石哪家便...
采用磁控溅射的方法,利用氩气和甲烷为气源,在中国较早汽车股份有限公司自主研发的发动机配气机构的挺柱上制备类金刚石(DLC)薄膜.利用摩擦磨损试验机和发动机配气机构试验台架,研究了DLC涂层挺柱的摩擦学行为及其对发动机节能的影响.试验结果表明,在边界润滑条件下,DLC涂层挺柱的摩擦因数比原零件降低67%,抗磨损性能大幅度提高;在实际使用工况下,配气机构的摩擦损失降低6%.DLC涂层零件可以降低发动机摩擦损失,适用于汽车低碳技术路线.上海英屹涂层技术有限公司引进美国PE-CVD设备技术制备的类金刚石DLC膜层沉积速率快膜厚可达60um膜层硬度高膜层摩擦系数低小于结合力好耐腐蚀性能好优异的耐磨性膜层...
DLC涂层(类金刚石涂层)的运用:精密模具-DLC涂层后,产品在“干”情况下(无润滑油)亦可容易脱模。具有高润滑性和高硬度,更耐磨,并获得更长的使用寿命。?注塑成型模具?冲压模具?光学级模具?光盘模具?玻璃成型模具?空调器翻边模具?吹塑成型模具精密机械–降低摩擦,加强润滑?精密轴承?纺织设备及零部件?压缩机螺杆,滑片?泵密封圈,叶片?缝制设备及零部件?弹簧片?精密传动机构切削刀具-具有良好抗粘结性?加工有色金属的刀具?加工PCB材料的刀具工量具–减少摩擦力,延长使用寿命?卡尺?卡规?塞规?治具医疗设备和器具-耐各种酸、碱等腐蚀,对人体无毒无污染?手术刀片?手术剪内燃机工业-大幅度减少摩擦力,增...
DLC薄膜在发动机上的应用效果,在技术上DLC薄膜将极低的摩擦阻力和极高的硬度完美地结合在一起,该技术已被初步应用于汽车零部件的各个运动系统中,尤其是自20世纪90年代中期以来,作为汽车零部件保护性薄膜材料得到快速发展。除上述性能与应用外,DLC薄膜的润湿性能也受到了人们的关注。某些需要疏水的领域如电子元器件、窗口等都对DLC薄膜的润湿性能提出了新的要求,目前主要通过对其进行化学改性来改善DLC薄膜的疏水性能。利用DLC薄膜的耐腐蚀性和低温合成的特点!既可以将其镀在塑料饰件上,防止酸、碱及有机试剂的侵蚀,又可以在橡胶、树脂等有机材料上镀一层DLC薄膜。从而增加其柔软性,这在对有机材料有滑动性和...
利用射频等离子体增强化学气相沉积技术以CH4、H2为气源,Ar为稀释气体,在不锈钢、玻璃等基底上制备大面积类金刚石碳膜(DLC)。并对所制备的DLC碳膜采用拉曼光谱(Raman)、X射线光电子能谱(XPS)、傅立叶红外光谱(FT-IR)、扫描电子显微镜(SEM)等研究手段对样品的形貌和结构进行表征;利用纳米显微硬度计和摩擦磨损试验机对DLC碳膜的机械和摩擦学特性进行了研究,得到了摩擦性能随沉积参数和实验条件的变化规律,对DLC碳膜的自润滑机制和磨损机理进行了探索。上海英屹涂层技术有限公司引进美国PE-CVD设备技术制备的类金刚石DLC膜层沉积速率快膜厚可达60um膜层硬度高膜层摩擦系数低小于结...
天然金刚石微粉继续在发展在工业金刚石中,人造金刚石的生产量约占四分之三甚至更多,但在一些部门人造金刚石目前还不能完全取代天然金刚石。DeBeers公司生产的SND金刚石微粉是的天然金刚石微粉,其特点是颗粒形状和粒度十分均匀,具有锋利的切削边棱,较小粒度约为0~0.25m,用这种天然金刚石微粉配制的研磨膏用于抛光加工特硬冶金试样等十分有效。目前许多工业技术部门都要求使用0至4m的金刚石微粉。就4m以细的金刚石微粉而论,1981年制订的美国国家标准ANSIB74.20—1981中规定4m以细的金刚石微粉只有3级::0~1、0~2、2~4。1984年制订的行业标准1DA中规定4m以细的金刚石微粉有5...
类金刚石(DLC)薄膜与不锈钢的结合强度是DLC薄膜应用于血管支架表面改性的关键技术问题.利用磁过滤阴极真空弧源沉积方法在316L不锈钢表面沉积DLC薄膜,研究沉积时基体偏压、薄膜厚度以及钛过渡层对DLC薄膜与基体结合强度的影响.研究结果表明,316L表面制备相同厚度的DLC薄膜,采用-1000V脉冲偏压制备的薄膜结合强度明显优于-80V直流偏压下制备的DLC薄膜;随着DLC薄膜厚度的增大,DLC薄膜与316L基体的结合力下降;316L不锈钢表面制备一层100nm的钛过渡层之后可以改善DLC薄膜的结合状况,并且经过20%的拉伸变形后,DLC薄膜完整,耐蚀性优于未表面处理的316L不锈钢.以上研...
表面硬质涂层硬度的检测方法,并分别利用显微硬度计和纳米压入仪对类金刚石(DLC)涂层进行了硬度检测试验,运用Jonsson-Hogmark提出的显微硬度模型进行了涂层本征硬度的推算,并与纳米压入硬度进行了对比分析,结果表明,在加载力为1N时,两者具有较好的一致性,推算结果可信.上海英屹涂层技术有限公司引进美国PE-CVD设备技术制备的类金刚石DLC膜层沉积速率快膜厚可达60um膜层硬度高膜层摩擦系数低小于0.1结合力好耐腐蚀性能好优异的耐磨性膜层具有自润滑性的优点。可以解决PVD涂层镀不到的工件内孔的问题。公司涂层已经应用于航空机械模具电子医疗汽车发动机部件等领域。盐雾腐蚀对DLC薄膜摩擦学性...
如果在普通眼镜片表面沉积类金刚石膜,能够有效地阻挡紫外线,从而达到保护视力的目的。在汽车挡风玻璃与反光镜表面沉积一层类金刚石膜,就使得挡风玻璃和反光镜具有与一般汽车挡风玻璃和反光镜不可媲美的优异性能,比如:完全吸收紫外线,可见光透明度高,表面张力大,不沾水,不产生由冷热造成的雾气,不怕划伤,耐腐蚀等。所以,将类金刚石膜DLC用作眼镜,汽车挡风玻璃和反光镜,手表玻璃壳,手机显示屏等表面保护层,市场前景广阔。不过,一般的DLC在可见光范围内透光性差限制了它在光电器件上的应用。类金刚石膜DLC的密度低,弹性模量高,声速高达,同时它还具有适宜的声阻尼特性,是高频扬声器理想的振膜材料,将其作为发声器的涂...
介绍了采用物理相沉积(PVD)技术制备类金刚石涂层的方法,进而论述了涂层的摩擦磨损和结合力等性能的研究现状和发展前景.分析并综述了类金刚石涂层的技术发展,以及制备类金刚石薄膜的方法和影响其性能的多种要素.表面涂有类金刚石薄膜的工件具有较高的硬度、良好的热传导率、极低的摩擦系数、优异的电绝缘性能等.类金刚石薄膜(DLCFilms)是近年来兴起的一种以sp3和sp2键的形式结合生成的亚稳态材料,因其优异的减摩和抗磨性能,在摩擦学领域获得了应用,是一种与金刚石涂层性能相似的新型薄膜材料.DLC涂层的性能研究大多集中在它的摩擦学特性和结合力性能,并且作为的涂层材料已被应用于汽车、模具、刀具等领域.上海...
传统硬质合金刀具铣削碳纤维复合材料(CFRP)时磨损严重,需在其上沉积金刚石薄膜涂层.在相同的硬质合金立铣刀基体上,改变沉积工艺,获得3种分别覆有粗晶、细晶和复合晶等不同CVD金刚石薄膜的刀具.用扫描电镜观察分析3种涂层的表面形貌.在相同条件下,用3种刀具切削CFRP并分析其刀具磨损机理.结果表明:复合晶工艺的金刚石涂层硬质合金立铣刀耐磨性比较好、使用寿命较长,约为粗晶金刚石涂层铣刀的、细晶金刚石涂层铣刀的膜层硬度高膜层摩擦系数低小于结合力好耐腐蚀性能好优异的耐磨性膜层具有自润滑性的优点。可以解决PVD涂层镀不到的工件内孔的问题。公司涂层已经应用于航空机械模具电子医疗汽车发动机部件等领域。电镀...
为提高纺织机高速纺纱工况下钢丝圈表面的磨损性能,采用直流等离子气相沉积法在钢丝圈表面制备类金刚石涂层(DLC),采用原位扫描探针显微镜观测涂层表面形貌,测量并计算涂层硬度.结果发现,DLC涂层颗粒粒径约为100nm,呈岛状聚集分布,硬度约为18GPa.采用球-盘式摩擦试验机研究DLC涂层在不同载荷(20~100N)和不同转速(100~600r/min)条件下的摩擦特性.结果表明,在低载高速的条件下,DLC涂层具有良好的耐磨特性,符合钢丝圈的实际工况.采用傅里叶变换红外光谱分析涂层的磨损机制,结果发现,在摩擦磨损过程中从薄膜中释放出来的氢和涂层的剪切变形引起了DLC薄膜的石墨化SP3/SP2转变...
采用直流磁控溅射法在硅基底上交替沉积类金刚石碳(DLC)和氮化碳(CNx)薄膜,制备了不同DLC层厚度的CNx/DLC纳米多层膜.使用X射线衍射、场发射扫描电子显微镜、X射线光电子谱、Raman光谱等测试手段表征了薄膜的微观组织形貌、化学成分和原子价键结构等.采用原位纳米压入技术、涂层附着力划痕仪、球盘式摩擦磨损试验机对薄膜的力学和摩擦学性能进行了测试.结果表明:所制备的CNx/DLC多层膜均为微晶或非晶结构,组织致密.随着DLC层厚度的减小,多层膜内sp3杂化键的含量先升高后下降,压应力由135MPa增至538MPa,结合力先上升后降低,而磨损率则呈相反变化趋势.多层膜在大气和真空中的摩擦因...
随着现代科学技术的不断进步,普通硬质涂层和超硬涂层有了明显的发展,部分涂层已经在某些领域实现了应用。主要介绍了氮化物、碳化物、氧化物、硼化物等普通硬质涂层和金刚石、类金刚石(DLC)、cBN、纳米多层结构涂层及纳米复合涂层等超硬涂层的性能、应用、制备技术及其发展趋势,并对部分常见涂层面临的性能改进及其今后可能的发展方向进行了探讨。上海英屹涂层技术有限公司引进美国PE-CVD设备技术制备的类金刚石DLC膜层沉积速率快膜厚可达60um膜层硬度高膜层摩擦系数低小于结合力好耐腐蚀性能好优异的耐磨性膜层具有自润滑性的优点。可以解决PVD涂层镀不到的工件内孔的问题。公司涂层已经应用于航空机械模具电子医疗汽...
研究结果表明,采用射频等离子体增强化学气相沉积方法,可以在不锈钢表面沉积一定厚度的DLC碳膜,但是由于薄膜与基材之间存在较大的内应力,薄膜牢度较小,易剥落,且不耐磨。用旋转磁控电弧离子镀技术,在不锈钢金属表面先制备了Ti/TiC、Ti/TiN等中间过渡层,然后再用射频等离子体化学气相沉积(rfPEVCD)方法在过渡层上制备了DLC薄膜,发现所制备的DLC碳膜的附着牢度、摩擦性能、硬度均有很大提高。上海英屹涂层技术有限公司引进美国PE-CVD设备技术制备的类金刚石DLC膜层沉积速率快膜厚可达60um膜层硬度高膜层摩擦系数低小于结合力好耐腐蚀性能好优异的耐磨性膜层具有自润滑性的优点。可以解决PVD...
为提高纺织机高速纺纱工况下钢丝圈表面的磨损性能,采用直流等离子气相沉积法在钢丝圈表面制备类金刚石涂层(DLC),采用原位扫描探针显微镜观测涂层表面形貌,测量并计算涂层硬度.结果发现,DLC涂层颗粒粒径约为100nm,呈岛状聚集分布,硬度约为18GPa.采用球-盘式摩擦试验机研究DLC涂层在不同载荷(20~100N)和不同转速(100~600r/min)条件下的摩擦特性.结果表明,在低载高速的条件下,DLC涂层具有良好的耐磨特性,符合钢丝圈的实际工况.采用傅里叶变换红外光谱分析涂层的磨损机制,结果发现,在摩擦磨损过程中从薄膜中释放出来的氢和涂层的剪切变形引起了DLC薄膜的石墨化SP3/SP2转变...
碳钢是常用的普通钢,冶炼方便、加工容易、价格低廉,而且在多数情况下能满足使用要求,所以应用十分普遍。按含碳量不同,碳钢又分为低碳钢、中碳钢和高碳钢。随含碳量升高,碳钢的硬度增加、韧性下降。合金钢又叫特种钢,在碳钢的基础上加入一种或多种合金元素,使钢的组织结构和性能发生变化,从而具有一些特殊性能,如高硬度、高耐磨性、高韧性等。与纯铜相同,铁碳合金的表面耐腐蚀性也一般。为提高上述材料表面的耐腐蚀特性,可在其表面镀或渗透钛层。目前发展阶段,目前的镀钛方法包括化学转化、真空沉积、喷涂等处理方法,然而这些方法的弊端在于镀层与基体结合不紧密。上海英屹涂层技术有限公司引进美国PE-CVD设备技术制备的类金刚...
类金刚石薄膜(Diamond—likecarbonfilms)发现于20世纪70年代,是一系列含有sp3和sp2键的非晶碳膜,它有着和金刚石膜非常接近的性质——高硬度、高弹性模量、耐磨损、低摩擦系数、高电阻率、高透光率和高化学稳定性等。因此,类金刚石薄膜技术被广泛应用到机械、电子、光学和医学等各个领域。掺杂的DLC膜是一种非晶半导体材料,禁带宽度可以在1—4eV之间调制,可大面积生长,材料自身和加工过程环保,在光电探测领域的运用具有非常大的潜力。但目前DLC半导体掺杂尚无法获得n型或者p型DLC半导体材料。上海英屹涂层技术有限公司引进美国PE-CVD设备技术制备的类金刚石DLC膜层沉积速率快膜...
多数实验研究表明:DLC在大气环境下可以表现出低的摩擦系数,如果制备工艺恰当,其摩擦因数比较低可达,且类金刚石膜具有良好的自润滑特性,所以人们可较好的将其使用在高真空、高温等不适于液体润滑的情况以同时又有清洁要求的环境中,如航天航空领域。上个世纪70年代末前苏联将DLC技术应用于宇航仪表中的动压气浮轴承,成功研制出高精度且**磨损型陀螺动压马达。1990年欧洲空间中心摩擦实验室在评价了空间使用的各种固体材料之后,明确指出今后太空空间的固体材料涂层应该是以金刚石膜和类金刚石膜为主。通过分析比较,他们认为DLC是适合未来的太空空间润滑摩擦表面的涂层。研究还发现,类金刚石膜在超高真空中的磨损更为缓和...
类金刚石薄膜又称山膜。碳的一种亚稳态,组成主要是碳,也含有氢,其量随工艺条件而异,多时可达20%。类金刚石具有很高的硬度、高导热性、高绝缘性、良好的化学稳定性、从红外到紫外的高光学透过率等。这与金刚石相似,但其性能数值均低于金刚石膜。类金刚石膜已开始用作耐磨涂层。类金刚石碳(DLC)是非晶结构,碳原子主要以sp3和sp2杂化键结合。含氢DLC又称为α-C:H,其中氢含量在20%到50%之间。无氢类金刚石膜包括无氢非晶碳(α-C)和四面体非晶碳(ta-C)膜。α-C膜含有一些sp3键;ta-C膜中以sp3键为主(sp3>70%)。结构类金刚石薄膜通常又被人们称为DLC薄膜,是英文词汇Diamon...
金刚石切割片的常见规格有哪些?金刚石切割片是一种切割工具,广泛应用于石英玻璃、陶瓷钨钢等硬脆材料的加工。金刚石切割片主要由两部分组成:基体与刀头。基体是粘结刀头的主要支撑部分,而刀头则是在使用过程中起切割的部分,刀头会在使用中而不断地消耗掉,而基体则不会,刀头之所以能起切割的作用是因为其中含有金刚石,金刚石作为目前较硬的物质,它在刀头中摩擦切割被加工对象,而金刚石颗粒则由金属包裹在刀头内部。产品规格: 外径(mm):350、300、200、150、120、80、76.2、56 厚度较薄可达0.18 mm内径(mm):40、32、25.4、20 ;金刚石层厚度(mm) 1.20、1.0、0....
以Cr作为中间过渡层,采用磁控溅射的方法在ZL114合金表面制备了类金刚石(DLC)硬质涂层,对比分析了母材与涂层的硬度、耐蚀性能和干/湿摩擦学性能.结果表明:在ZL114合金表面制备了Cr过渡层厚度约为2μm、表面DLC涂层约为10μm的Cr-DLC涂层;Cr-DLC涂层具有DLC薄膜的特性,显微硬度和纳米硬度分别为母材的(%NaCl溶液)条件下仍然具有较好的耐磨性.上海英屹涂层技术有限公司引进美国PE-CVD设备技术制备的类金刚石DLC膜层沉积速率快膜厚可达60um膜层硬度高膜层摩擦系数低小于结合力好耐腐蚀性能好优异的耐磨性膜层具有自润滑性的优点。可以解决PVD涂层镀不到的工件内孔的问题。...
类金刚石薄膜通常又被人们称为DLC薄膜,是英文词汇DiamondLikeCarbon的简称,它是一类性质近似于金刚石,具有高硬度.高电阻率.良好光学性能等,同时又具有自身独特摩擦学特性的非晶碳薄膜。碳元素因碳原子和碳原子之间的不同结合方式,从而使其终产生不同的物质:金刚石(diamond)-碳碳以sp3键的形式结合;石墨(graphite)-碳碳以sp2键的形式结合;而如同绪论里所述类金刚石(DLC)-碳碳则是以sp3和sp2键的形式结合,生成的无定形碳的一种亚稳定形态,它没有严格的定义,可以包括很宽性质范围的非晶碳,因此兼具了金刚石和石墨的优良特性;所以由类金刚石而来的DLC膜同样是一种亚稳...