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采用优化的沉积类金刚石(DLC)涂层工艺及过渡层技术,在硬质合金上制备出性能优良的DLC膜.实验室切削试验与工业生产现场切削表明:在切削铝青铜和共晶铝硅合金时,DLC膜涂层刀具使用寿命明显高于末涂层刀具.上海英屹涂层技术有限公司引进美国PE-CVD设备技术制备的类金刚石DLC膜层沉积速率快膜厚可达60um膜层硬度高膜层摩擦系数低小于0.1结合力好耐腐蚀性能好优异的耐磨性膜层具有自润滑性的优点?？梢越饩鯬VD涂层镀不到的工件内孔的问题。公司涂层已经应用于航空机械模具电子医疗汽车发动机部件等领域。硬质涂层的特性的部分：DLC涂层。昆山铣刀类金刚石技术DLC涂层（类金刚石涂层）的优点类金刚石碳（Di...

采用磁控溅射的方法,利用氩气和甲烷为气源,在中国较早汽车股份有限公司自主研发的发动机配气机构的挺柱上制备类金刚石(DLC)薄膜.利用摩擦磨损试验机和发动机配气机构试验台架,研究了DLC涂层挺柱的摩擦学行为及其对发动机节能的影响.试验结果表明,在边界润滑条件下,DLC涂层挺柱的摩擦因数比原零件降低67％,抗磨损性能大幅度提高；在实际使用工况下,配气机构的摩擦损失降低6％.DLC涂层零件可以降低发动机摩擦损失,适用于汽车低碳技术路线.上海英屹涂层技术有限公司引进美国PE-CVD设备技术制备的类金刚石DLC膜层沉积速率快膜厚可达60um膜层硬度高膜层摩擦系数低小于结合力好耐腐蚀性能好优异的耐磨性膜层...

上海 英屹涂装 技术 有限公司 引进 美国 PE -CVD 设备 技术 制备 的类钻石 DLC膜层沉积 速度快 的膜厚可达 60 um ，是英语语言 Diam ondLi ke Carbon 的简称 ，其性质 与钻石 相似 ，硬度 高，电阻率 高。 良好 的光学 性能 等，有独特 摩擦学 特性 的非晶 碳薄膜 。 膜层硬度 高膜层摩擦系数 低于 0.1 的结合力 耐腐蚀性 能优良 的耐磨 膜层具有 自润滑性 优点 。 可以 解决 PVD涂层 不能 镀层 的工件 内孔 的问题 。 公司 涂层 早已 应用 于航空 机械 模具 电子医疗汽车发动机 构件 等领域 。公司 涂层 早已 应用 于航空 机械...

类金刚石常常是以薄膜形式使用的，类金刚石薄膜具有高硬度.高电阻率.良好光学性能等，同时又具有自身独特摩擦学特性的非晶碳薄膜。碳元素因碳原子和碳原子之间的不同结合方式，从而使其终产生不同的物质：金刚石（diamond）—碳碳以sp3键的形式结合；石墨（graphite）—碳碳以sp2键的形式结合；而如同绪论里所述类金刚石（DLC）—碳碳则是以sp3和sp2键的形式结合，生成的无定形碳的一种亚稳定形态，它没有严格的定义，可以包括很宽性质范围的非晶碳，因此兼具了金刚石和石墨的优良特性；所以由类金刚石而来的DLC膜同样是一种亚稳态长程无序的非晶材料，碳原子间的键合方式是共价键。类金刚石碳膜(DLC膜)...

类金刚石膜有望代替SO2成为下一代集成电路的介质材料。近年来，类金刚石膜在微电子领域的应用，逐渐成为热点。采用类金刚石膜和碳膜交替出现的多层膜结构构造成的多量子阱结构，具有共振隧道效应的和独特的电特性，在微电子领域有着潜在的应用前景。类金刚石膜具有良好的表面平面光滑度，电子发射均匀性好，并且其具有负的电子亲和势，有效功函数相对较低的和较宽的禁带宽度，即使在较低的外电场作用下，也可产生较大的发生电流，这个性能在平板显示器中有着特殊的使用价值。上海冶金所研制的DLC平面柱状阵列场发射平板显示器样品就是利用了这一原理。DLC(类金刚石镀膜(Diamond-like carbon)) 。嘉定压铸模类金...

类金刚石在电学性能及应用。DLC薄膜具有优异的电学性能，一般来说，含氢DLC薄膜电阻率比不含氢的DLC薄膜的高，可能是由于氢稳定了薄膜中sp3相的缘故。由于DLC中的sp2相和薄膜的电阻率有直接的关系，因此沉积工艺和离子束的能量都对DLC薄膜层电阻率有着很大的影响。由于DLC薄膜的良好导热性能，它可以作为芯片中铜片散热器的绝缘电阻，能防止通常功率下因热膨胀系数不匹配而引起的铜片抓痕。此外，DLC在腐蚀介质中表现出极高的化学惰性，可以?；せ酌庠馔饨绺唇橹实娜苁础４康腄LC薄膜表现出极好的耐蚀性，可以抵御各类酸碱甚至王水的侵蚀。另外，DLC薄膜具有较低的电子亲和势，是一种优异的冷阴极场发射材料...

类金刚石薄膜的制备方法较多，相关的工艺层出不穷，因而对于不同应用场合，有相应的工艺方法，制备出对应性能要求的薄膜。通过改变制备方法的相关参数，调控薄膜中的sp3，sp2杂化键的比例及不同的氢含量可获得不同性能特征的DLC薄膜。如含氢与不含氢的DLC薄膜在不同湿度环境中会呈现不同的摩擦学特性。针对在特殊环境服役的DLC薄膜，如高承载，高速运转的零部件，也会对DLC薄膜进行适当的掺杂来改变薄膜内部交联碳基质混合网络的成键方式与薄膜表面的化学状态，进而提高薄膜的性能，以实现在实际工况中的应用。其中掺杂的金属主要有Ti、Cr、W、Mo、Al、Ni、Cu、Co、Nb等，非金属有Si、N、F等，化合物有过...

类金刚石膜DLC因其具有抗磨性、化学惰性、沉积温度低、膜面光滑，可以将其作为一些电子产品的?；つ?。如喷墨打印机墨盒加热层上、磁存储器的表面、录音机磁头极尖加一层类金刚石膜DLC?；げ?、不仅能有效的减少机械损伤，又不影响数据存储。类金刚石膜具有电阻率高、绝缘性强、化学惰性高和低电子亲和力等性能，且易在较大的基体上成膜。人们将类金刚石膜用作光刻电路板的掩膜，不仅可以避免操作过程中的机械损伤，还可以在去除薄膜表面的污染物允许用较激烈的机械或化学腐蚀方法，且同时不会破坏薄膜的表面，所以类金刚石膜有望代替SO2成为下一代集成电路的介质材料。近年来，类金刚石膜在微电子领域的应用，逐渐成为热点。采用类金刚石...

纳米金刚石微粉：纳米技术是上世纪9O年代后兴起的一项高新技术，纳米级金刚石由尺寸为纳米级，即十亿分之一米的金刚石微粒组成，是近几年来用炸裂技术合成的新材料。它不但具有金刚石的固有特性，而且具有小尺寸效应、大比表面积效应、量子尺寸效应等，因而展现出纳米材料的特性。在爆轰波中合成的这种金刚石具有立方组织结构，晶格常数为（O.3562+0.0003）nm，晶体密度为3.1g／cm3，比表面积为300m2／g~390m2／g。用不同的化学方法处理后，金刚石表面可形成多种不同的官能团，这种金刚石晶体具有很高的吸附能力。DLC类金刚石涂层性能及作用。真空类金刚石哪个好类金刚石(DLC)由于其优越的耐摩擦学...

表面硬质涂层硬度的检测方法,并分别利用显微硬度计和纳米压入仪对类金刚石(DLC)涂层进行了硬度检测试验,运用Jonsson-Hogmark提出的显微硬度模型进行了涂层本征硬度的推算,并与纳米压入硬度进行了对比分析,结果表明,在加载力为1N时,两者具有较好的一致性,推算结果可信.上海英屹涂层技术有限公司引进美国PE-CVD设备技术制备的类金刚石DLC膜层沉积速率快膜厚可达60um膜层硬度高膜层摩擦系数低小于0.1结合力好耐腐蚀性能好优异的耐磨性膜层具有自润滑性的优点?？梢越饩鯬VD涂层镀不到的工件内孔的问题。公司涂层已经应用于航空机械模具电子医疗汽车发动机部件等领域。类金刚石涂层的制备方法有哪些...

薄膜与基体间的界面结合性能是决定薄膜性能发挥的关键要素.针对类金刚石薄膜(DLC)在硬质合金上结合力差的问题,采用线性阳极离子束复合磁控溅射技术在硬质合金YG8基体上设计制备了单层W过渡层、WC过渡层、双层W过渡层和三层W过渡层4种不同W过渡层的DLC薄膜,探讨了不同过渡层对DLC薄膜力学和摩擦学性能的影响.结果表明:不同过渡层结构的DLC薄膜结构致密,界面柱状生长随着层数增加及过渡层厚度的降低而打断,有利于改善薄膜的韧性.当为三层W过渡层时,DLC薄膜的断裂韧性达到最大值MPa·m1/2;与单层W过渡层相比,薄膜硬度有小幅下降,但薄膜内应力降低了55％,且膜/基匹配性更佳,结合强度高达85N...

为了提高活塞销表面类金刚石(DLC)涂层的结合力及抗磨损性能,使用扫描电子显微镜、圆度仪、粗糙度仪等检测设备对2种活塞销DLC涂层表面、截面及涂层结合处的微观形貌、组成元素和成分进行了对比分析,并对2种活塞销进行了发动机台架耐久试验.结果表明:原样件活塞销耐久试验后涂层大面积脱落且磨损严重,通过改变工艺参数将原样件活塞销进行优化,优化后的活塞销DLC涂层表面的均匀性、平整性及光滑度都有了明显改善,涂层厚度由μm增加到了μm,且粗糙度Ra值由原样件的μm减小为μm,同时圆柱度也明显减小,耐久试验后涂层完好,没有发生脱落.此研究为提高活塞销表面质量,改善活塞销在工作中的磨损及失效提供了参考。上海英...

DLC膜的成分、结构和性能不同。类金刚石碳膜(Diamond-likecarbonfilms，简称DLC膜)作为新型的硬质薄膜材料具有一系列优异的性能，如高硬度、高耐磨性、高热导率、高电阻率、良好的光学透明性、化学惰性等，可用于机械、电子、光学、热学、声学、医学等领域，具有良好的应用前景。我们开发了等离子体-离子束源增强沉积系统，并同过该系统中的磁过滤真空阴极弧和非平衡磁控溅射来进行DLC膜的开发。该项技术用于电子、装饰、宇航、机械和信息等领域，用于摩擦、光学功能等用途。目前在我国技术正处于发展和完善阶段，有巨大市场潜力。类金刚石薄膜(DLC)的制备方法及应用。温州拉刀类金刚石厂薄膜与基体间的...

分别以氩气-甲烷、氩气-乙炔为辅助气体,高纯石墨为靶材,利用中频脉冲非平衡磁控溅射技术制备了类金刚石薄膜.采用Raman光谱、X射线光电子能谱、纳米压痕测试仪、表面形貌进行了分析.Raman光谱和X射线光电子能谱测试结果表明,以氩气-甲烷为辅助气体制备的类金刚石薄膜中sp3杂化键的含量比以氩气-乙炔为辅助气体制备的类金刚石薄膜的高.纳米压痕测试结果表明,以氩气-甲烷为辅助气体制备的类金刚石薄膜的纳米硬度比以氩气-乙炔为辅助气体的高.原子力显微镜测试结果表明,以氩气-甲烷为辅助气体制备的类金刚石薄膜的RMS表面粗糙度比以氩气-乙炔为辅助气体的低.以上结果说明辅助气体组成对类金刚石薄膜的键结构、机...

研究结果表明，采用射频等离子体增强化学气相沉积方法，可以在不锈钢表面沉积一定厚度的DLC碳膜，但是由于薄膜与基材之间存在较大的内应力，薄膜牢度较小，易剥落，且不耐磨。用旋转磁控电弧离子镀技术，在不锈钢金属表面先制备了Ti/TiC、Ti/TiN等中间过渡层，然后再用射频等离子体化学气相沉积(rfPEVCD)方法在过渡层上制备了DLC薄膜，发现所制备的DLC碳膜的附着牢度、摩擦性能、硬度均有很大提高。上海英屹涂层技术有限公司引进美国PE-CVD设备技术制备的类金刚石DLC膜层沉积速率快膜厚可达60um膜层硬度高膜层摩擦系数低小于结合力好耐腐蚀性能好优异的耐磨性膜层具有自润滑性的优点。可以解决PVD...

我们都知道金刚石，金刚石是世界上较难的东西。这一特性使金刚石成为一个良好的磨料，这也可能是金刚石的用途，除了珠宝(有趣)。然而，实际上，金刚石不仅硬度大，而且还集成了一系列的逆特性：金刚石具有比较好的常规材料的热导率、比较高的电子迁移率和很低的热膨胀系数。这些特性使得金刚石在许多前沿领域有着巨大的发展潜力。X射线光学是较有前途的应用之一.金刚石具有很好的X射线光学性能.我们都知道X射线在光场中被称为"刺"，因为X射线在任何介质中的折射率等于1或接近1，这使得X射线很难被反射或折射。类金刚石碳基薄膜材料是什么？温州插齿刀类金刚石公司 类金刚石碳（Diamond-likecarbon，D...

薄膜与基体间的界面结合性能是决定薄膜性能发挥的关键要素.针对类金刚石薄膜(DLC)在硬质合金上结合力差的问题,采用线性阳极离子束复合磁控溅射技术在硬质合金YG8基体上设计制备了单层W过渡层、WC过渡层、双层W过渡层和三层W过渡层4种不同W过渡层的DLC薄膜,探讨了不同过渡层对DLC薄膜力学和摩擦学性能的影响.结果表明:不同过渡层结构的DLC薄膜结构致密,界面柱状生长随着层数增加及过渡层厚度的降低而打断,有利于改善薄膜的韧性.当为三层W过渡层时,DLC薄膜的断裂韧性达到最大值MPa·m1/2;与单层W过渡层相比,薄膜硬度有小幅下降,但薄膜内应力降低了55％,且膜/基匹配性更佳,结合强度高达85N...

随着技术及航空航天技术的发展，红外技术越来越受到人们的重视，在及航天领域有着举足轻重的作用。红外光学元件的工作环境往往非常恶劣，如空-空导弹、超音速飞机等装备光电系统的红外窗口，需要承受灰尘、高温、高压、雨淋、冰雹撞击、热冲击等严峻考验，因此对红外窗口材料的性能要求越来越苛刻，既要求材料在工作波段具有优良的光学性能，还要求材料具有优良的力学、耐磨损、耐高温、耐腐蚀等性能。常作为红外窗口的材料有锗(Ge)、硫化锌(ZnS)、硒化锌(ZnSe)、砷化镓(GaAs)、氟化镁(MgF2)、蓝宝石(sapphire)、尖晶石等，但这些材料在应用中都存在着一些问题，例如，Ge在高温时透过率下降；GaAs制...

类金刚石常常是以薄膜形式使用的，类金刚石薄膜具有高硬度.高电阻率.良好光学性能等，同时又具有自身独特摩擦学特性的非晶碳薄膜。碳元素因碳原子和碳原子之间的不同结合方式，从而使其终产生不同的物质：金刚石（diamond）—碳碳以sp3键的形式结合；石墨（graphite）—碳碳以sp2键的形式结合；而如同绪论里所述类金刚石（DLC）—碳碳则是以sp3和sp2键的形式结合，生成的无定形碳的一种亚稳定形态，它没有严格的定义，可以包括很宽性质范围的非晶碳，因此兼具了金刚石和石墨的优良特性；所以由类金刚石而来的DLC膜同样是一种亚稳态长程无序的非晶材料，碳原子间的键合方式是共价键。无氢类金刚石薄膜是什么？...

类金刚石(diamond-likecarbon,DLC)薄膜是一种同时含有sp2键和sp3键的非晶碳膜，其结构及性能介于金刚石与石墨之间，具有高硬度、高热导率、良好的化学惰性和耐磨性，在装备关键运动部件的表面防护方面有巨大应用前景，现已成为世界范围内被研究的薄膜材料之一。但DLC作为一种亚稳态材料，膜内残余压应力大、膜基结合强度低，高温下易发生化学键破坏，导致性能下降。向薄膜中添加异质元素是调控或提高DLC膜性能的有效方法。近日，省新材料研究所真空镀膜团队利用高功率脉冲磁控溅射复合中频磁控溅射技术制备了掺Si的纳米多层类金刚石(Si-DLC)薄膜，发现通过改变Si元素的含量可调控薄膜的摩擦学行...

类金刚石在生物医学特性及其应用。由于DLC薄膜在化学成分上（碳、氢元素）能够满足生物相容性的要求并具有高硬度、低摩擦系数、化学惰性等特性，同时具备优异的生物相容性和化学稳定性，越来越多的研究者将目光投向了DLC薄膜在生物医学领域的应用。例如人工关节表面沉积的DLC薄膜，可以增强人工关节的耐磨、耐蚀性能、减少磨屑、增加生物相容性，提高使用性能。在作为人工心脏瓣膜的钛合金或不锈钢表面沉积一层DLC薄膜，不仅能满足生物相容性的要求，而且能够提高该部件的机械和耐腐蚀性能，提高这些部件的使用性能。此外，DLC薄膜对蛋白质的吸附率高，对血小板的吸附率低，可以在不影响主体特征的前提下，从多种途径促进材料表面...

自上世纪80年代以来，类金刚石膜作为新型的膜材料一直是世界各国膜技术领域研究的热点之一。我国在类金刚石膜的研究方面取得了一定的进展，但与发达国家相比，还是有一定的差距。类金刚石膜的种类很多，其结构、工艺及机理极为复杂，主要是由于DLC是在非平衡态和等离子体状态下制备合成的，存在着许多争议尚未解决的问题。这些问题至今仍严重制约着类金刚石膜的研究进展。如高温稳定性问题，DLC在温度大于400℃时性能将明显变差；内应力问题，DLC中存在很大的内应力，它降低了类金刚石膜与基体的结合强度，使膜层容易起皱、脱落，阻碍了类金刚石膜的工业应用；同时，不同工艺制备的类金刚石膜的结构和性能差异很大。这些问题都将是...

类金刚石薄膜通常又被人们称为DLC薄膜，是英文词汇DiamondLikeCarbon的简称，它是一类性质近似于金刚石，具有高硬度.高电阻率.良好光学性能等，同时又具有自身独特摩擦学特性的非晶碳薄膜。碳元素因碳原子和碳原子之间的不同结合方式，从而使其终产生不同的物质:金刚石(diamond)-碳碳以sp3键的形式结合;石墨(graphite)-碳碳以sp2键的形式结合;而如同绪论里所述类金刚石(DLC)-碳碳则是以sp3和sp2键的形式结合，生成的无定形碳的一种亚稳定形态，它没有严格的定义，可以包括很宽性质范围的非晶碳，因此兼具了金刚石和石墨的优良特性;所以由类金刚石而来的DLC膜同样是一种亚稳...

类金刚石(DLC)膜涂层刀具的硬度高、摩擦系数低、耐摩擦和耐腐蚀性能强、抗粘结性能好,并且可以用来制作复杂、异型刀具,是未来刀具的一个重要发展方向.本文介绍了DLC膜的表面显微结构和Raman光谱并列举了DLC的制备方法(包括磁控溅射、离子束沉积、脉冲激光沉积、真空阴极电弧沉积、等离子体增强型化学气相沉积)与分类.从酸蚀法、施加过渡层、表面微喷砂处理和掺杂4个方面分析如何提高膜基结合力,探讨了DLC膜的摩擦性能受湿度、温度和加工条件的影响.例举了几个国内外DLC涂层硬质合金刀具的使用范例,指出了目前研究工作的不足之处,提出了下一步研究工作的重点是优化DLC膜的制备工艺、提高膜基结合力和热稳定性...

类金刚石碳膜因同时具有高硬度和低摩擦系数而引起关注,然而,它与工业中常用的铁基材料存在"触媒效应",即,镀的刀具在加工黑色金属的过程中高硬度砂键会转化成软的护键,使耐磨性急剧下降,因此限制了它的应用范围年限,柳襄怀等采用离子束辅助沉积功技术制备出了用于满足电磁功能要求的"石墨化"的膜年,提出存在高硬度"碳结构"，其后,英国及公司采用全封闭非平衡磁控溅射制备出了高硬度碳膜一镀层阅研究表明一以砂结构为主,在与钢铁材料摩擦时未出现"触媒效应"且硬度适中、摩擦系数小、比磨损率较低一个数量级,具有极其优越的摩擦学性能碳膜的结构和性能很大程度上与其制备工艺有关方法便于控制辅助轰击参数以改变镀层的结构,磁控...

金刚石铰刀的磨损原理比较复杂，主要有宏观磨损和微观磨损，前者主要是机械磨损，后者主要是热化学磨损。金刚石铰刀常见的磨损形式有前刀面磨损、后刀面磨损和刀刃破裂。单晶金刚石铰刀在刃磨时，既要有磨耗，也要有刃磨出符合要求的刀具，但是如果产生不必要的磨耗，则可损伤已被刃磨好的前后刀面。当刃口应力大于金刚石铰刀的局部承受能力时，就会产生刃口崩裂(即崩裂)，这通常是由于金刚石晶体沿晶表面的微观解理破坏所致。金刚石铰刀的切削刃钝圆半径在超精密加工中相对较小，其自身又属于硬脆材料，同时由于其切面各向异性容易发生解理，常因振动和砂轮砂粒对刃口的冲击而伴随崩刃的现象。类金刚石镀膜的温度多高。苏州不锈钢类金刚石工艺...

薄膜与基体间的界面结合性能是决定薄膜性能发挥的关键要素.针对类金刚石薄膜(DLC)在硬质合金上结合力差的问题,采用线性阳极离子束复合磁控溅射技术在硬质合金YG8基体上设计制备了单层W过渡层、WC过渡层、双层W过渡层和三层W过渡层4种不同W过渡层的DLC薄膜,探讨了不同过渡层对DLC薄膜力学和摩擦学性能的影响.结果表明:不同过渡层结构的DLC薄膜结构致密,界面柱状生长随着层数增加及过渡层厚度的降低而打断,有利于改善薄膜的韧性.当为三层W过渡层时,DLC薄膜的断裂韧性达到最大值MPa·m1/2;与单层W过渡层相比,薄膜硬度有小幅下降,但薄膜内应力降低了55％,且膜/基匹配性更佳,结合强度高达85N...

类金刚石(DiamondlikecarbonDLC)薄膜是近年来出现的备受关注的新型碳材料，具有高硬度、低摩擦、化学惰性和导热性佳等优异性能，在摩擦学领域具有广阔的应用前景，也是PVD涂层的一种新的应用，特别是对于汽车零部件行业的减磨、自润滑具有重要的意义。汽车行业的长期压力是减少车辆的尾气排放，预计在未来几年内，对排放的要求会更加严格。这将导致大力提倡使用新材料和新处理技术，以增加发动机和传动系统的效率。欧洲、亚洲和美洲各地政策决策者为未来的汽车时代制定新要求已不可避免。现代真空涂层技术是满足上述新要求的关键因素之一，尤其是类金刚石涂层对于减磨、自润滑意义重大，且制备类金刚石薄膜能真正做到无...

采用磁控溅射的方法,利用氩气和甲烷为气源,在中国较早汽车股份有限公司自主研发的发动机配气机构的挺柱上制备类金刚石(DLC)薄膜.利用摩擦磨损试验机和发动机配气机构试验台架,研究了DLC涂层挺柱的摩擦学行为及其对发动机节能的影响.试验结果表明,在边界润滑条件下,DLC涂层挺柱的摩擦因数比原零件降低67％,抗磨损性能大幅度提高；在实际使用工况下,配气机构的摩擦损失降低6％.DLC涂层零件可以降低发动机摩擦损失,适用于汽车低碳技术路线.上海英屹涂层技术有限公司引进美国PE-CVD设备技术制备的类金刚石DLC膜层沉积速率快膜厚可达60um膜层硬度高膜层摩擦系数低小于结合力好耐腐蚀性能好优异的耐磨性膜层...

在刀具上沉积类金刚石(DLC)薄膜的关键技术问题是如何提高DLC薄膜的附着力,以发挥DLC薄膜在刀具涂层领域的优势.本文通过对微型钻头表面进行不同的化学预处理后利用射频等离子体化学气相沉法沉积DLC薄膜,对影响膜基附着力的内在规律进行了探讨.结果表明:采用简单酸碱腐蚀(先后使用NaOH溶液和HNO3溶液进行腐蚀)对DLC薄膜附着力的提高有一定作用,而综合腐蚀(首先使用酸碱腐蚀,然后使用Murakami试剂腐蚀)的效果更佳;此外,使用Murakami试剂腐蚀时间过长(超过6min)会影响钻头本体的机械强度.实验结果对于DLC薄膜作为微型钻头涂层的应用具有很好的指导意义.上海英屹涂层技术有限公司引...