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来源: 发布时间:2025-07-13

在磁悬浮分子泵系统中,新巴顿的磁浮备用轴承发挥着安全保障作用。当磁悬浮系统断电时,备用轴承需在 0.1 秒内承接转子载荷,避免高速转子坠落损坏。公司设计的圆锥滚子备用轴承,采用淬火后 HRC62-64 的渗碳轴承钢,配合凸度修形技术,可承受瞬间高达 100g 的冲击载荷。其与磁浮轴承的间隙控制在 0.1-0.2mm,既保证磁浮运行时的无接触状态,又确保断电时的可靠承接。某科研用高真空系统采用该方案后,成功通过 1000 次断电测试,轴承未出现任何塑性变形,满足 ISO 16890 标准的严苛要求。数字化孪生技术应用,新巴顿分子泵轴承实现机械预测性维护。奉贤区巴顿VAC625AC002分子泵轴承

分子泵轴承

某 12 英寸晶圆厂的刻蚀机配备 4 台 2000L/s 分子泵,原采用进口钢制轴承,平均每 6 个月因碳化硅颗粒污染导致轴承失效。新巴顿为其定制的 Si?N?陶瓷轴承,配合迷宫式密封结构,使轴承寿命延长至 24 个月。该方案的重心在于:陶瓷球的硬度(HRC78-80)高于碳化硅颗粒,可减少磨粒磨损;密封唇口采用氟橡胶材质,在 150℃工况下仍保持弹性,阻止微粒侵入。改造后,该产线的非计划停机率从 8% 降至 1%,年节约维护成本 120 万元。此外,公司为某 MOCVD 设备配套的轴承,通过在保持架中嵌入石墨自润滑块,解决了金属有机化合物沉积导致的轴承卡死问题,使设备连续运行时间突破 10000 小时。常州C36STAY52分子泵轴承巴顿分子泵轴承——真空技术的组件。

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密封设计优势:多重防护抵御复杂环境,针对真空镀膜等行业中金属蒸汽侵蚀的难题,新巴顿设计了多重密封结构。轴承采用多道曲径迷宫密封与氟橡胶双唇口密封相结合的方式,外唇口以 0.12mm 的过盈量设计,在 10??Pa 的真空度下,漏气率低至 1×10?11Pa?m3/s ;内唇口配合挡油环,可有效阻挡 98% 的润滑脂泄漏,同时将金属蒸汽的侵入量减少 92% 。在某铝蒸镀设备的实际应用中,使用该密封结构的轴承更换周期从 1.5 个月延长至 10 个月,蒸镀产品的良品率从 88% 提升至 97%,大幅提升了生产效益和产品质量。

新巴顿通过大量失效案例总结出分子泵轴承的主要失效模式及预防措施。磨损失效多因润滑不足或污染引起,预防措施包括安装高效过滤器(精度≤3μm)、定期检测油样颗粒度;疲劳失效通常由过载或振动导致,需通过载荷计算优化轴承选型,安装减振垫(刚度 10-50N/μm)降低振动。在机械故障分析报告中,该公司发现 80% 的轴承失效可通过正确选型、规范安装和定期维护避免,因此为用户提供《分子泵轴承失效预防指南》,包含 12 项关键控制点,如安装时的同轴度要求(≤0.02mm)、润滑脂补充周期(每 2000 小时)等,帮助机械用户降低失效风险。抗电磁干扰设计,新巴顿分子泵轴承适用于磁悬浮等特殊机械场景。

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针对机械运行中的温度变化,新巴顿分子泵轴承设计了热膨胀补偿机制。通过材料线膨胀系数匹配(轴承钢 11.5×10??/℃,外壳材料铸铁 10.6×10??/℃),将热变形差值控制在 5μm/100℃以内;轴向预留补偿间隙(0.1-0.3mm),配合波形弹簧自动调整预紧力,补偿热膨胀导致的尺寸变化。在 CT 机的球管真空系统中,这种设计使轴承在球管发热(温度从 25℃升至 60℃)时,仍能保持转子轴向跳动≤15μm,确保影像重建的精度。热膨胀补偿机制使分子泵轴承在机械温度波动工况下,维持长期的精度稳定性,减少因热变形导致的性能衰减。巴顿分子泵轴承:强化润滑系统,提高运转效率。无锡巴顿VAC626AC003分子泵轴承

巴顿分子泵轴承:优化安装设计,简化安装过程。奉贤区巴顿VAC625AC002分子泵轴承

为降低机械行业的维护成本,新巴顿分子泵轴承设计了长效润滑方案。对于普通工况,采用锂基脂润滑(NLGI 2 级),润滑周期可达 8000 小时;高速高温场景则使用油气润滑系统,通过微量油雾(油量 0.01-0.05ml/h)实现持续润滑,避免传统油脂在高速下的结块问题。在纺织机械的真空脱水设备中,这种润滑系统可减少停机维护时间 30% 以上,同时降低油品消耗 50%。轴承的密封结构采用双唇口骨架油封(材质为氟橡胶),防尘防水等级达 IP65,防止机械加工中的粉尘、冷却液侵入,保障润滑系统的长效性,契合机械行业连续生产的需求。奉贤区巴顿VAC625AC002分子泵轴承

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