激光平面干涉仪是基于菲索干涉原理设计的光学精密计量仪器，主要用于检测光学元件表面面形精度和光学材料的均匀性 [1] [3-4]。该设备测量精度可达到1/10-1/100波长量级，采用半导体激光器（635nm）作为光源，具有防尘效果好、结构紧凑等特点，适用于光学车间、实验室等场景的批量检测 [3-4]。上海乾曜光学科技有限公司与北京海富达科技有限公司均具备相关生产能力，其中G150M、G200M及60-LP等型号产品采用标准化测量口径设计，可满足不同使用场景需求 [2-4]。截至2025年，相关企业产品已服务国内外科研院所及工业企业 [2]。激光的出现在世界计量史上具有重大的意义。昆山新款双频激光干涉仪产品介绍

反射光和透射光分别垂直入射到全反射镜M1和M2，它们经反射后回到G1（左）的半透半反射膜处，再分别经过透射和反射后，来到观察区域E。G2（右）为补偿板，它与G1为相同材料，有相同的厚度，且平行安装，目的是要使参加干涉的两光束经过玻璃板的次数相等，两束光在到达观察区域E时没有因玻璃介质而引入额外的光程差。当M2和M1'严格平行时，表现为等倾干涉的圆环形条纹，移动M2时,会不断从干涉的圆环中心“吐出”或向中心“吞进”圆环。两平面镜之间的“空气间隙”距离增大时，中心就会“吐出”一个个条纹；反之则“吞进”。M2和M1'不严格平行时，则表现为等厚干涉条纹，移动M2时，条纹不断移过视场中某一标记位置，M2平移距离 d 与条纹移动数 N 的关系满足：d=Nλ/2，λ为入射光波长。高新区本地双频激光干涉仪五星服务即使光强衰减90%，仍然可以得到有效的干涉信号。

干涉仪是一种使用干涉测量技术的光学计量仪器，其思想在于利用波的叠加性来获取波的相位信息，从而获得实验所关心的物理量。以下是对干涉仪的详细介绍：一、基本原理具有固定相位差的两列准单色波的叠加将导致振幅发生变化，从而可以通过测量较容易测量的振幅来获取波的相位信息。由于幅度变化依赖于相位差的余弦函数，这种幅度的变化有时候在空间表现为周期性的条纹，即干涉条纹。基本构成干涉仪一般由光源、分束器、反射镜、干涉屏（或检测器）等组成。光源发出的光经过分束器被分成两束，分别经由反射镜反射回来，并在干涉屏（或检测器）上产生干涉图样。其中，各元件的功能如下：

8、激光干涉仪的光源——激光，具有**度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。9、激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来使用。1、仪器应放置在干燥、清洁以及无振动的环境中应用。2、在移动仪器时，为防止导轨变形，应托住底座再进行移动。3、仪器的光学零件在不用时，应在清洁干燥的器皿中进行存放，以防止发霉。4、尽量不要去擦拭仪器的反光镜、分光镜等，如必须擦拭则应当小心擦拭，利用科学的方法进行清洁。双频激光干涉仪的基本原理是利用激光的相干性和干涉现象。

环境适应力强即使光强衰减90%，仍然可以得到有效的干涉信号。由于这一特点，双频激光干涉仪既可在恒温、恒湿、防震的计量室内检定量块、量杆、刻尺、微分校准器和坐标测量机，也可以在普通的车间内为大型的机床的刻度进行标定。实时动态测速高现代的双频激光干涉仪测速普遍达到1m/s，有的甚至于十几m/s，适于高速动态测量。双频激光干涉仪的发明使激光干涉仪**终摆脱了计量室的束缚，更为广泛的应用于工业生产和科学研究中因此，对于双频激光干涉仪的研究有利于提高对该仪器的了解，以致于改进其性能，使其在计量方面有着更加广泛的应用，具有重大意义。它通常用于高精度的位移、振动、形变等物理量的测量。高新区定制双频激光干涉仪销售厂

而双频激光干涉仪正好克服了这一弱点，它是在单频激光干涉仪的基础上发展的一种外差式干涉仪。昆山新款双频激光干涉仪产品介绍

激光干涉测量仪通过双频激光技术实现高精度线性位移测量，适用于车间生产环境下的数控机床校准、三坐标机校准及光学平台校准。其测量镜组可扩展功能，支持直线度、垂直度等几何量检测 [2]。该仪器的系统包括 [2]：1.双频激光头及附件2.环境补偿单元3.测量软件、分析软件4.各类测量镜组激光干涉测量仪的优势包括紧凑设计、自动环境补偿及符合测校国家标准的测量分析软件。截至2023年8月，典型型号LH3000的测量速度可达2米/秒，频差为7±0.5MHz [2]。昆山新款双频激光干涉仪产品介绍

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