迈克尔逊干涉仪，是1881年美国物理学家迈克尔逊和莫雷合作，为研究“以太”漂移而设计制造出来的精密光学仪器。它是利用分振幅法产生双光束以实现干涉。通过调整该干涉仪，可以产生等厚干涉条纹，也可以产生等倾干涉条纹。主要用于长度和折射率的测量，若观察到干涉条纹移动一条，便是M2的动臂移动量为λ/2，等效于M1与M2之间的空气膜厚度改变λ/2。在近代物理和近代计量技术中，如在光谱线精细结构的研究和用光波标定标准米尺等实验中都有着重要的应用。利用该仪器的原理，研制出多种**干涉仪。 [1]激光干涉仪是一种利用激光干涉原理进行测量的精密仪器。太仓销售双频激光干涉仪五星服务

激光干涉测量仪是一种基于激光干涉原理的高精度计量仪器，广泛应用于工程与技术科学领域 [1-2]。该仪器通过测量激光波长变化实现几何量的检测，具备抗干扰能力强、精度高等特点。主要应用场景包括数控机床校准、三坐标机校准、光学平台校准等，通过与不同光学组件结合，可检测线性位移、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等参数 [2]截至2020年11月，激光干涉测量仪的技术参数包括 [1]：标准量程：0-40米测量精度：±0.5 ppm分辨率：1纳米比较大速率：240米/分钟角度测量精度：0.2%吴中区定制双频激光干涉仪产品介绍其原因在于它是一种直流测量系统，必然具有直流光平和电平零漂的弊端。

三角运算给出其中叠加后的振幅为可以看到， 叠加后的振幅与两列波的初始相位差有关。 由于幅度变化依赖于相位差的余弦函数， 这种幅度的变化有时候在空间表现为周期性的条纹。 这种条纹有时候叫做干涉条纹， 由于相位差变化引起的幅度变化有时也称为条纹移动。分类干涉仪的分类有不同分法按照结构区分干涉仪可以分为单路径干涉仪和多路径干涉仪两类， 其差异在于干涉的波是否通过同一路径传播。 例如迈克尔逊干涉仪就是常见的多路径干涉仪， 而Sagnac干涉仪， 等倾干涉和等厚干涉等即为单路径干涉仪（钟锡华， 陈熙谋， 2002） [3]。

激光干涉仪具有广泛的应用领域，包括但不限于：科学研究：用于检测引力波、测量微小位移和振动等。工业制造：用于精密机械加工、质量控制和机床校准等。在机床校准中，激光干涉仪能够测量机床的线性定位误差、直线度误差、偏摆角、俯仰角和滚动角等，以及速度、加速度、振动等参数，并评估机床的动态特性。计量学：用于长度标准的校准。通信：用于光纤传感和信号处理。四、主要特点高精度：激光干涉仪能够实现亚纳米级的测量精度，非常适合各种高精度测量应用。双频激光干涉仪的发明使激光干涉仪摆脱了计量室的束缚，更为广泛的应用于工业生产和科学研究中。

激光干涉仪是一种利用激光干涉原理进行测量的精密仪器。它通过将激光束分成两部分，分别经过不同的路径后再合并，形成干涉图样，从而可以精确测量光程差、位移、厚度等物理量。激光干涉仪的基本原理可以概括为以下几个步骤：激光发射：激光器发出单色光束。光束分割：通过分束器将激光束分成两部分，通常称为参考光束和测量光束。光程传播：参考光束和测量光束分别经过不同的路径，可能会经过被测物体或介质。光束合并：两束光在分束器后重新合并，形成干涉图样。高精度：双频激光干涉仪能够实现亚纳米级别的测量精度，适用于微小位移的检测。太仓销售双频激光干涉仪五星服务

测量精度不受空气湍流的影响，无需预热时间。太仓销售双频激光干涉仪五星服务

（5）数控机床动态性能检测 利用RENISHAW动态特性测量与评估软件，可用激光干涉仪进行机床振动测试与分析（FFT），滚珠丝杠的动态特性分析，伺服驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性（低速爬行）分析等。5D/6D标准型：1. 线性：0.5ppm .2. 测量范围：40米（1D可选80米）3. 线性分辨力：0.001um.4. 偏摆角和俯仰角的精度：（1.0+0.1/m）角秒或1%显示较大值5. 比较大范围：800角秒6. 滚动角精度：1.0角秒7. 直线度精度：（1.0+0.2/m）um或1%显示较大值8. 直线度比较大范围：500um9. 垂直度精度：1角秒10. 温度精度：0.2摄氏度11.湿度精度：5%12.压力精度：1mmHg太仓销售双频激光干涉仪五星服务

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