按照干涉光来源区分干涉仪可以分成波前分解和幅度分解两类， 其差异在于是否利用波前上不同位置的子波源形成干涉。 例如杨氏双缝干涉即属于波前分解干涉仪（钟锡华， 陈熙谋， 2002） [3]； 而等倾干涉和等厚干涉即为幅度分解干涉仪。干涉仪的应用极为***，主要有如下几方面：长度测量在双光束干涉仪中，若介质折射率均匀且保持恒定，则干涉条纹的移动是由两相干光几何路程之差发生变化所造成，根据条纹的移动数可进行长度的精确比较或***测量。迈克耳孙干涉仪和法布里-珀**涉仪曾被用来以镉红谱线的波长表示国际米。双频激光干涉仪是在单频激光干涉仪的基础上发展的一种外差式干涉仪。工业园区通用双频激光干涉仪选择

激光的出现在世界计量史上具有重大的意义。用稳频的氦氖激光器作为光源，由于它的相干长度很大，干涉仪的测量范围可以**的扩展；而且由于它的光束发散角小，能量集中，因而它产生的干涉条纹可以用光电接收器接收，变为电讯号，并由计数器一个不漏的记录下来，从而提高了测量速度和测量精度，比如说我国自行设计与制造的以氦氖激光器作为光源的光电光波比长仪，可以在20分钟之内把1米线纹尺上1001条刻线依次自动鉴定完毕，精度达到±0.2μm，这就是激光干涉仪的成功例证。工业园区通用双频激光干涉仪选择干涉仪是一种用于测量光波或其他波动现象的仪器，利用干涉原理来分析波的特性。

（1）几何精度检测 可用于检测直线度、垂直度、俯仰与偏摆、平面度、平行度等。（2）位置精度的检测及其自动补偿 可检测数控机床定位精度、重复定位精度、微量位移精度等。利用雷尼绍ML10激光干涉仪不仅能自动测量机器的误差，而且还能通过RS232接口自动对其线性误差进行补偿，比通常的补偿方法节省了大量时间，并且避免了手工计算和手动数控键入而引起的操作者误差，同时可比较大限度地选用被测轴上的补偿点数，使机床达到比较好精度，另外操作者无需具有机床参数及补偿方法的知识。

多普勒效应：当测量镜移动时，测量光的频率变为f1±Δf，与参考光f2干涉后形成差频信号|(f1±Δf)-f2|，该信号反映出位移引起的频率变化。信号检测：光电探测器将光信号转为电信号，经电路处理提取差频变化量，然后通过相位比较或脉冲计数来计算位移。二、主要特点精度高：双频激光干涉仪以波长作为标准对被测长度进行度量，即使不做细分也可达到微米（μm）量级，细分后更可达到纳米（nm）量级。应用范围广：双频激光干涉仪可用于长度的精密测量，配上适当的附件还可测量角度、直线度、平面度、振动距离及速度等。实时测量：可以实现实时监测和数据采集，适合动态测量。

激光干涉测量仪是一种基于激光干涉原理的高精度计量仪器，广泛应用于工程与技术科学领域 [1-2]。该仪器通过测量激光波长变化实现几何量的检测，具备抗干扰能力强、精度高等特点。主要应用场景包括数控机床校准、三坐标机校准、光学平台校准等，通过与不同光学组件结合，可检测线性位移、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等参数 [2]截至2020年11月，激光干涉测量仪的技术参数包括 [1]：标准量程：0-40米测量精度：±0.5 ppm分辨率：1纳米比较大速率：240米/分钟角度测量精度：0.2%抗干扰能力强：由于使用了两种不同频率的激光，干涉仪对环境噪声和振动的抗干扰能力较强。太仓直销双频激光干涉仪哪家强

广泛应用：广泛应用于材料科学、机械工程、光学测量、精密制造等领域。工业园区通用双频激光干涉仪选择

(1)接受信号为交流信号，前置放大器为高倍数的交流放大器，不用直流放大，故没有零点漂移等问题。(2)利用多普勒效应，计数器计频率差的变化，不受激光强度和磁场变化的影响。在光强度衰减90%时仍可得到满意的信号，这对于远距离测量是十分重要的，同时在近距离测量时又能简化调整工作。(3)测量精度不受空气湍流的影响，无需预热时间。用激光干涉仪作为机床的测量系统可以提高机床的精度和效率。起初*用于高精度的磨床、镗床和坐标测量机上，以后又用于加工中心的定位系统中。工业园区通用双频激光干涉仪选择

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