分类激光干涉仪主要分为单频激光干涉仪和双频激光干涉仪两种：单频激光干涉仪：在20世纪60年代中期出现，**初用于检定基准线纹尺，后用于在计量室中精密测长。它对环境要求较高，周围大气需处于稳定状态，以避免空气湍流对测量结果的影响。双频激光干涉仪：出现于1970年，适宜在车间中使用。它应用频率变化来测量位移，对由光强变化引起的直流电平变化不敏感，因此抗干扰能力强。双频激光干涉仪常用于检定测长机、三坐标测量机、光刻机和加工中心等的坐标精度，也可用作测长机、高精度三坐标测量机等的测量系统。三、应用它通常用于高精度的位移、振动、形变等物理量的测量。苏州定制双频激光干涉仪设备厂家

环境适应力强：双频激光干涉仪采用交流放大器对干涉信号进行放大，即使光强衰减90%，仍然可以得到有效的干涉信号。因此，它既可在恒温、恒湿、防震的计量室内使用，也可在普通车间内为大型机床的刻度进行标定。实时动态测速高：现代的双频激光干涉仪测速普遍达到1m/s，有的甚至达到十几m/s，适于高速动态测量。三、应用领域几何量精密测量：用于长度、角度、直线度、平行度、平面度、垂直度等几何量的高精度测量。同时，既支持几十米大量程的检测（如大型机械），也可对手表零件等微米级运动进行测量。姑苏区定制双频激光干涉仪选择而双频激光干涉仪正好克服了这一弱点，它是在单频激光干涉仪的基础上发展的一种外差式干涉仪。

截止***，激光干涉仪引力波探测器已经发展了40余年。 目前LIGO激光干涉仪实验宣称***直接测量到了引力波 (LIGO collaboration 2016) [7]。 LIGO可以认为是两路光线的干涉仪， 而另外一类引力波探测实验， 脉冲星测时阵列则可认为是多路光线干涉仪（Hellings 和Downs, 1983） [8]。其他用作高分辨率光谱仪。法布里-珀**涉仪等多光束干涉仪具有很尖锐的干涉极大，因而有极高的光谱分辨率，常用作光谱的精细结构和超精细结构分析。历史上的作用。19世纪的波动论者认为光波或电磁波必须在弹性介质中才得以传播，这种假想的弹性介质称为以太。

迈克尔逊干涉仪，是1881年美国物理学家迈克尔逊和莫雷合作，为研究“以太”漂移而设计制造出来的精密光学仪器。它是利用分振幅法产生双光束以实现干涉。通过调整该干涉仪，可以产生等厚干涉条纹，也可以产生等倾干涉条纹。主要用于长度和折射率的测量，若观察到干涉条纹移动一条，便是M2的动臂移动量为λ/2，等效于M1与M2之间的空气膜厚度改变λ/2。在近代物理和近代计量技术中，如在光谱线精细结构的研究和用光波标定标准米尺等实验中都有着重要的应用。利用该仪器的原理，研制出多种**干涉仪。 [1]接受信号为交流信号，前置放大器为高倍数的交流放大器，不用直流放大，故没有零点漂移等问题。

非接触式测量：激光干涉仪可以不接触物体表面就测量其形状，这对于测量易碎或精细的物体非常有用。多功能性：激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作。抗干扰能力强：双频激光干涉仪对由光强变化引起的直流电平变化不敏感，因此抗干扰能力强。五、注意事项与维护注意事项：仪器应放置在干燥、清洁以及无振动的环境中应用。在移动仪器时，应托住底座以防止导轨变形。光学零件在不用时，应在清洁干燥的器皿中进行存放以防止发霉。光程传播：参考光束和测量光束分别经过不同的路径，可能会经过被测物体或介质。吴中区耐用双频激光干涉仪设备厂家

即使不做细分也可达到μm量级，细分后更可达到nm量级。苏州定制双频激光干涉仪设备厂家

激光干涉测量仪是一种基于激光干涉原理的高精度计量仪器，广泛应用于工程与技术科学领域 [1-2]。该仪器通过测量激光波长变化实现几何量的检测，具备抗干扰能力强、精度高等特点。主要应用场景包括数控机床校准、三坐标机校准、光学平台校准等，通过与不同光学组件结合，可检测线性位移、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等参数 [2]截至2020年11月，激光干涉测量仪的技术参数包括 [1]：标准量程：0-40米测量精度：±0.5 ppm分辨率：1纳米比较大速率：240米/分钟角度测量精度：0.2%苏州定制双频激光干涉仪设备厂家

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