任何仪器在制作过程中难免会遇到密封不严的情况，某些不重要的设备中轻微的泄露没有太大关系，但是汽车管路作为汽车转配中的重要零部件，关系着车辆和乘员的安全。良好的密封才能决定仪器的正常使用，所以检漏十分重要!传统的检漏方法：如加压水检法、压差法、卤素检漏法，在检漏速度、精度及环保性能上都有一定程度的缺陷，而氦检漏技术，是集真空技术、计算机技术及质谱技术为一体的应用技术，为汽车空调两器及管路提供专业的检漏方案。氦检仪可靠的品质保证普遍的市场应用，氦检仪适用于工业、分析研究、镀膜市场等。检漏时，如果用氦气喷吹漏孔，氦气便通过漏孔进入氦检仪的质谱室中，使氦检仪的测量仪表立即灵敏地反应出来，达到了检漏的目的。此款氦检仪坚固耐用，抗震性能极强，可反复使用数年仍保证的检漏漏率。氦检仪紧凑的设计适合串列生产和持续工作。为防止油污、粉尘和杂物进入氦质谱检漏仪，应在氦质谱检漏仪下方设置过滤器。江苏氦质谱检漏仪生产厂家

随着汽车行业的迅猛发展，汽车空调行业对氦检的需求越来越大，对氦检的性能指标要求越来越高。氦检仪在汽车空调蒸发器、冷凝器和压缩机检漏上在拥有氦气检漏的普遍优点的同时，更具备操作方便、工作节拍快、误判率低等独有特点。对被检工件抽空后充入一定压强的氦气，被检工件外面是具有一定真空度要求的真空箱，真空箱与氦检仪检漏口相接。若被检工件有漏，则漏入真空箱的氦气可通过氦检仪测出。与被检工件相连的是充气回收装置，在检漏前后分别实现氦气的充铸和回收。电厂使用氦检仪主要是对汽轮机内部真空系统的检漏，还有冷凝罐的检漏，由于每一个环节如果有泄漏的话都会增加生产成本，所以电厂检漏在实际生产中是非常重要的。氦检仪在电厂检漏领域被普遍使用。宁波移动式氦质谱检漏仪哪家好氦检仪作为一种磁偏转型质谱分析仪器，结构上分单级磁偏转型和双级串联偏转性。

氦检仪常用的几种检漏方法：氦质谱检漏方法较多，根据被检工件的测量目的可分为两种类型，一种是漏点型，另一种是漏率型；在实际检验过程中，应根据检验目的选择较合理的方法，并根据被检件的具体情况灵活运用各种检漏方法。测定漏点型氦质谱检漏方法。确定漏点型既是确定要检部件的具体漏点或漏孔的位置,在大部件或大型部件中较为常见,如卫星、导弹弹体、弹头、输气管道、气罐、油罐、锅炉等。喷氦法氦质谱检漏方法。喷氦法又叫喷吹法，较常用、较方便的检漏方法。一般用于检测体积相对较小的部件,将被检器件和仪器连通,在抽好真空后,在被检器件可能存在漏孔的地方(如密封接头,焊缝等)用喷头喷氦。

氦质谱检漏仪性能试验方法：1、反应时间、消除时间及其测定，反应时间是指仪器节流阀完全开启，本底讯号为零(或补偿到零)时，由恒定的氦流量使输仪表讯号上升到值的(1-e-1)倍(即O.63)所需要的时间，记为τR。消除时间是指输出仪表讯号稳定到固定值后，停止送氦，其讯号下降到值的e-1倍(即O.37)所需要的时间，记为τC。2、工作真空、极限真空及入口处抽速，质谱室极限真空，尤其是工作真空及入口处抽速是表征仪器性能的重要参数。利用氦质谱检漏仪的真空规可以测定仪器的极限真空和工作真空。利用流量计可测定仪器入口处抽速。氦质谱检漏仪是根据被检工件的不同它所使用的检漏方法也是不同的。

氦检仪现已普遍应用于半导体设备检漏。半导体设备及材料需要检漏原因：1、半导体设备要求高真空，比如磁控溅射台、电子束蒸发台、ICP、PECVD等设备。出现泄漏就会导致高真空达不到或需要大量的时间，耗时耗力；2、在高真空环境洁净度高、水蒸气很少。一旦出现泄漏周围环境中的灰尘和悬浮颗粒或尘埃就会对晶元造成污染，对半导体的特性改变并破坏其性能，因此在半导体器件生产过程中必须进行氦质谱检漏；3、一些半导体设备要用到有毒或有腐蚀性的特殊气体，经过氦质谱检漏后，在低漏率真空条件下，这些气体不易外泄，设备能及时抽走未反应气体和气态反应产物，保障工作人员安全和大气环境。4、芯片封装，一旦出现泄漏，芯片就会失效。综上所述，氦检仪在半导体行业起着至关重要的作用。氦质谱检漏仪的漏孔漏率是指一个大气压的干燥空气通过漏孔漏向真空侧的漏气速率。温州移动式氦质谱检漏仪技术指导

氦质谱检漏仪应每隔一段时间保养油泵。江苏氦质谱检漏仪生产厂家

氦检仪的捡漏方法：正压法（吸入法）。可分为真空箱法和正压法两张模式，工件内充氦气，吸抢检测可根据工件漏率选择性充入一定比例混合氦气可检测工件的具体漏点。检测精度高。适用行业：特种阀门，高压管道，制冷管路，汽轮机组等。因为空气中含有5ppm的氦气，正压法检漏灵敏度相对负压法要低。氦检仪正压法有二种方式,即移动嗅探式和氦罩累积式。前者只能定性检测大漏,后者则可定量检测微漏。氦质谱检漏正压氦罩法注意事项：氦罩要专门设计,一般用金属制作(塑料布在长时间累积中渗透量太大)。如果累积时间短,也可用0.10～0.15mm的塑料布制作。检测时氦罩应尽量小,以便提高氦的压升率。氦罩要密封。探测口要方便检测。检漏过程中,仪器灵敏度和吸头在校准后不得进行调整,否则要重新进行校准。吸头不应一直插在检测口内,以免影响累积信号。在低温探测时,环境湿度应尽量降低,被检件应先加高压示漏气体而后降温,以免小孔阻塞。江苏氦质谱检漏仪生产厂家