11.5.1工艺设备的安装不应影响洁净室参数和服务功能。11.5.2工艺设备安装时，现场的净化空调系统应已连续运行24h以上；现场除正常照明外，应配备三相380V、单相220V和低压行灯电源。11.5.3任何用于大设备的提升、牵引或定位的**设备在进人洁净室安装现场前，应彻底清洁，并应检查有无脱屑、剥落的表面或不宜进入洁净环境的材料。11.5.4设备安装时应妥善保护墙壁与地面，设备的软胶轮应予包裹，避免在地面拖磨。开洞作业不应划伤或污染所在表面。设备安装位置穿越不同洁净级别区域时，穿越处缝隙应用柔性材料填充、密封，并应装饰处理。无尘室是现代科技发展中的重要支撑，为各个领域的创新和进步提供了稳固的基础。安徽尘埃粒子无尘室检测技术好

空气由空调箱经风管与超净间内之空气过滤器(HEPA)进入超净间，并由超净间两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于超净间等级1,000-100,000级。优点：构造简单、系统建造成本，超净间之扩充比较容易，在某些特殊用途场所，可并用无尘工作台，提高超净间等级。缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制程产品。另外若系统停止运转再***，欲达需求之洁净度，往往须耗时相当长一段时间。江苏口罩生产车间环境无尘室检测分析单向流和非单向流组合的气流。

4.1.2洁净厂房净化空调系统的新风口与城市交通干道之间的距离（相邻侧边沿）宜大于50m。当洁净厂房与交通干道之间设有城市绿化带时，可根据具体条件适当减少，但不得小于25m。4.1.3对于有微振控制要求的洁净厂房的位置选择，应实际测定周围现有振源和模拟振源的影响，并应与容许振动值比较分析后确定。4.1.4厂区总平面布置时，应按洁净生产、非洁净生产、辅助生产、公用动力系统和办公、生活等功能区合理布局。洁净厂房宜根据电子产品生产工艺特点和各种功能区的要求，按组合式、大体量的综合性厂房布置。4.1.5洁净厂房周围及其周边的道路面层，应选用整体性能好、发尘少的材料。

应检查产品合格证、出厂检验报告，其中应有效率、阻力和扫描检漏的实测数据，不得以过滤器所属类别定义数据代替。2应进行外观检查，内容应包括有无损坏;各种尺寸是否符合设计要求;框架有无毛刺和锈斑(金属框);带风机的风机安装是否可靠，转动是否正常;带装饰网或阻漏层的，装饰网或阻漏层是否完好、绷紧。应检查产品合格证、出厂检验报告，其中应有效率、阻力和扫描检漏的实测数据，不得以过滤器所属类别定义数据代替。2应进行外观检查，内容应包括有无损坏;各种尺寸是否符合设计要求;框架有无毛刺和锈斑(金属框);带风机的风机安装是否可靠，转动是否正常;带装饰网或阻漏层的，装饰网或阻漏层是否完好、绷紧。洁净室被污染后,净化空调系统开始运行至恢复到稳定的规定室内洁净度等级的时间。

E.5.1无恒温恒湿要求的温湿度检测应符合下列要求：1室内空气温度和相对湿度测定之前，空调净化系统应已连续运行至少8h。2温度的检测可采用玻璃温度计、数字式温湿度计；湿度的检测可采用通风式干湿球温度计、数字式温湿度计、电容式湿度检测仪或露点传感器等。根据温湿度的波动范围，应选择足够精度的测试仪表。温度检测仪表的极小刻度不宜高于0.4℃，湿度检测仪表的极小刻度不宜高于2%。测点为房间中间一点，应在温湿度读数稳定后记录。测完室内温湿度后，还应同时测出室外温湿度。无尘室的设计充分考虑了环境污染的来源。安徽半导体净化车间无尘室检测目的

无尘室是一种完全封闭、密封的房间，它的主要目的是控制空气中的尘埃颗粒数量。安徽尘埃粒子无尘室检测技术好

1一级防静电工作区的地面、墙面和柱面应采用导静电型。导静电型地面、墙面、柱面的表面电阻、对地电阻应为2.5X10?~1X10°2,摩擦起电电压不应大于100V,静电半衰期不应大于0.1s;2二级防静电工作区的地面、墙面、柱面、顶棚、门和软帘应采用静电耗散型。静电耗散型地面、墙面、柱面和顶棚、门的表面电阻、对地电阻应为1X10°~1X109Ω,摩擦起电电压不应大于200V,静电半衰期不应大于1s,但软帘的摩擦起电电压不应大于300V;3三级防静电工作区的地面、墙面和柱面宜根据生产工艺要求采用静电耗散型材料或低起电材料,顶棚、门等宜采用低起电材料。选用静电耗散型材料的地面、墙面和柱面,应符合本条第2 款的要求;选用低起电材料的地面、墙面、柱面、顶棚、门等的摩擦起电电压不应大于1000V。安徽尘埃粒子无尘室检测技术好