真空系统工作原理:
真空镀膜机工作的第一步是建立真空环境。其真空系统主要由真空泵(如机械真空泵、扩散真空泵等)组成。机械真空泵通过活塞或旋片的机械运动,将镀膜室内的气体抽出,使气压初步降低。但机械真空泵只能达到一定的真空度,对于高真空要求的镀膜过程,还需要扩散真空泵。扩散真空泵是利用高速蒸汽流(如油蒸汽)将气体分子带走,从而获得更高的真空度,一般可以达到 10?? - 10??帕斯卡。这个真空环境的建立是非常关键的。在低气压的真空状态下,气体分子的平均自由程增大,这意味着气态的镀膜材料分子在运动过程中很少会与其他气体分子碰撞,能够以较为直线的方式运动到基底表面。同时,减少了杂质气体对镀膜过程的干扰,保证了薄膜的纯度和质量。 卷绕式镀膜机可连续处理柔性基材,提升大规模生产效率。浙江光学镜片真空镀膜机制造商
蒸发镀膜机:
原理与构造:蒸发镀膜机利用高温加热使镀膜材料蒸发,气态原子或分子在工件表面凝结成膜。它主要由真空室、蒸发源、工件架和真空系统构成。电阻加热、电子束加热、高频感应加热是常见的蒸发源加热方式。电阻加热通过电流流经电阻材料产生热量;电子束加热则依靠高能电子束轰击镀膜材料,使其快速升温蒸发;高频感应加热利用交变磁场在镀膜材料中产生感应电流实现加热。应用场景蒸发镀膜机在光学领域应用多样,如为各种光学镜片镀制增透膜、反射膜,提升镜片的光学性能。在包装行业,常用于在塑料薄膜表面镀铝,赋予薄膜良好的阻隔性能与金属光泽,提升产品的保存期限与外观。 灯管真空镀膜机是什么真空镀膜机支持非标定制,满足航空航天等特殊领域的涂层需求。
薄膜质量高纯度高:真空环境是真空镀膜机的一大优势。在高真空状态下,镀膜室内的杂质气体极少。例如,在气相沉积(PVD)过程中,蒸发或溅射出来的镀膜材料原子或分子在几乎没有空气分子干扰的情况下飞向基底。这使得沉积在基底上的薄膜纯度很高,避免了杂质混入导致薄膜性能下降。致密性好:通过真空镀膜形成的薄膜通常具有较好的致密性。以溅射镀膜为例,被溅射出来的材料原子具有一定的动能,它们在撞击基底表面时能够紧密排列,形成致密的薄膜结构。这种致密的薄膜可以有效防止外界物质的渗透,比如在镀制防护薄膜时,能够更好地起到防潮、防腐蚀等作用。附着力强:真空环境有助于提高薄膜与基底之间的附着力。在镀膜过程中,基底表面在真空环境下可以得到更好的清洁效果,而且镀膜材料原子能够更好地与基底原子相互作用。例如,在利用化学气相沉积(CVD)制备薄膜时,气态前驱体在基底表面发生化学反应,生成的薄膜能够与基底形成化学键合,从而使薄膜牢固地附着在基底上。
蒸发源或溅射源功能:用于蒸发镀膜材料或溅射靶材,使膜体材料以气态分子的形式释放出来。类型:不同的镀膜方法可能使用不同类型的镀膜源,例如电子束蒸发器、溅射靶材、真空弧放电源等。
控制系统功能:用于监控和控制整个设备的运行状态和参数,包括真空度、温度、压力、时间等。组成:主要包括真空计、流量计、触摸屏、手动操作组和各类电源。通过触摸屏可以完成全自动程序控制。
材料输送系统功能:用于将待镀膜物体和镀膜材料引入腔体,并控制其位置和运动。组成:通常包括旋转式台面、电机传动、气缸等装置。材料输送系统可以分为上转架和下转架,以满足不同镀膜工艺的需求。 低温真空镀膜技术通过等离子体活化,实现有机材料表面金属化处理。
可精确控制薄膜特性:
厚度控制精确:真空镀膜机可以精确控制薄膜的厚度。在蒸发镀膜中,通过控制镀膜材料的蒸发速率和镀膜时间,能够准确地得到想要的薄膜厚度。例如,在光学镀膜中,为了达到特定的光学性能,需要将薄膜厚度控制在纳米级精度。一些先进的真空镀膜机可以通过光学监测系统实时监测薄膜厚度,当达到预设厚度时自动停止镀膜过程。
成分和结构可控:无论是 PVD 还是 CVD 方式,都可以对薄膜的成分和结构进行控制。在 PVD 溅射镀膜中,通过选择不同的靶材,可以获得不同成分的薄膜。而且可以采用多层溅射的方式,构建具有特定结构的多层薄膜。在 CVD 过程中,通过调整气态前驱体的种类、浓度和反应条件,可以精确控制生成薄膜的化学成分和微观结构,以满足不同的应用需求,如制备具有特定电学性能的半导体薄膜。 光学镀膜机采用多层干涉原理制备高精度增透/反射膜。多弧离子镀膜机真空镀膜机设备厂家
精密控制的真空镀膜机可制备纳米级功能薄膜,满足光学领域需求。浙江光学镜片真空镀膜机制造商
信息存储:在信息存储领域,真空镀膜技术可用于制备磁信息存储、磁光信息存储等存储介质。磁控溅射镀膜设备是这类应用的常用设备。装饰饰品:手机壳、表壳、眼镜架、五金、小饰品等产品的装饰性镀膜处理,也可以采用真空镀膜技术。蒸发式真空镀膜设备是这类应用的常用设备。光电子行业:真空镀膜机可用于生产光学薄膜、滤光镜、反射镜、太阳能电池板、LED灯等光电器件。机械制造行业:真空镀膜机可用于制造表面硬度提高的刀具、精密轴承等机械零件,提高这些零件的使用寿命和性能。浙江光学镜片真空镀膜机制造商