轮廓仪产品应用

蓝宝石抛光工艺表面粗糙度分析（粗抛与精抛比较）

高精密材料表面缺 陷超精密表面缺 陷分析，核探测

Oled 特征结构测量，表面粗糙度  

外延片表面缺 陷检测

硅片外延表面缺 陷检测

散热材料表面粗糙度分析（粗糙度控制）

生物、医药新技术，微流控器件

微结构均匀性 缺 陷，表面粗糙度

移相算法的优化和软件系统的开发 本作品采用重叠平均移相干涉算法，保证了亚纳米量级的测量精度；优化软件控制系统，使每次检测时间压缩到10秒钟以内，同时完善的数据评价系统为用户评价产品面形质量提供了方便。 NanoX-8000的XY光栅分辨率 0.1um，定位精度 5um，重复精度 1um。上海台积电轮廓仪

轮廓仪是一种两坐标测量仪器，仪器传感器相对被测工件表而作匀速滑行，传感器的触针感受到被测表而的几何变化，在X和Z方向分别采样，并转换成电信号，该电信号经放大和处理，再转换成数字信号储存在计算机系统的存储器中，计算机对原始表而轮廓进行数字滤波，分离掉表而粗糙度成分后再进行计算，测量结果为计算出的符介某种曲线的实际值及其离基准点的坐标，或放大的实际轮廓曲线，测量结果通过显示器输出，也可由打印机输出。（来自网络）

轮廓仪在集成电路的应用：

封**ump测量  

视场：72*96（um）物镜：干涉50X 检测位置：样品局部

面减薄表面粗糙度分析

封装：300mm硅片背面减薄表面粗糙度分析  面粗糙度分析：2D, 3D显示；线粗糙度分析：Ra, Ry，Rz，…

器件多层结构台阶高  MEMS 器件多层结构分析、工艺控制参数分析

激光隐形切割工艺控制  世界***的能够实现激光槽宽度、深度自动识别和数据自动生成，**地缩

短了激光槽工艺在线检测的时间，避免人工操作带来的一致性，可靠性问题

集成电路轮廓仪研发生产NanoX-8000 Z 轴聚焦：100mm行程自动聚焦，0.1um移动步进。

轮廓仪在集成电路的应用

封**ump测量  

视场：72*96（um）物镜：干涉50X 检测位置：样品局部

面减薄表面粗糙度分析

封装：300mm硅片背面减薄表面粗糙度分析  面粗糙度分析：2D, 3D显示；线粗糙度分析：Ra, Ry，Rz，…

器件多层结构台阶高  MEMS 器件多层结构分析、工艺控制参数分析

激光隐形切割工艺控制  世界***的能够实现激光槽宽度、深度自动识别和数据自动生成，**地缩

短了激光槽工艺在线检测的时间，避免人工操作带来的一致性，可靠性问题

欢迎咨询。

轮廓的角度处理:  

角度处理：两直线夹角、直线与Y轴夹角、直线与X轴夹角点线处理：两直线交点、交点到直线距离、交点到交点距离、交点到圆心距离、交点到点距离圆处理：圆心距离、圆心到直线的距离、交点到圆心的距离、直线到切点的距离线处理：直线度、凸度、LG凸度、对数曲线 。

白光轮廓仪的典型应用：

对各种产品，不见和材料表面的平面度，粗糙度，波温度，面型轮廓，表面缺 陷，磨损情况，腐蚀情况，孔隙间隙，台阶高度，完全变形情况，加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。  

每个共焦图像是通过样品的形貌的水平切片，在不同的焦点高度捕获图像产生这样的图像的堆叠。

1.3. 培训计划

    在完成系统布线并开始设备安装后，即向甲方和业主介绍整个系统的概况及性能、特点、设备布置情况和相互之间的关系等，让甲方和业主对整个系统有一个***的认识。

    在整个系统验收前后，安排有关人员在进行培训。

1.4. 培训形式

    公司指派技术人员向相关人员讲解系统的原理、功能、操作及维修保养要点；

    向受训学员提供和解释有关设计文件及图纸等资料，使学员对系统的各个方面都能熟练掌握；

    针对系统的具体操作一一指导，使相关人员掌握技术要领；

    对学员提出的问题进行详细解答；

共焦显微镜通过压电驱动器和物镜的精确垂直位移来实现。Nano X-3000轮廓仪

轮廓仪对载物台xy行程为140*110mm（可扩展），Z向测量范围比较大可达10mm。上海台积电轮廓仪

随着现在科学技术的发展，仪器仪表行业发生了突飞猛进的发展，再加上当前计算机技术、网络技术的进步和发展，组建网络而构成实用的监控系统，可以提高生产效率和共享信息资源方向发展。当前仪器仪表行业产品发展呈现微型化、多功能化、智能化、网络化四大发展趋势。在计算机和互联网的急速发展到整个世界的背景下，仪器仪表也开始向网络化突进，结合新的科技设备，通过广域网和局域网直接操控仪器仪表，对公司的管理，经营一体化，应用模式的分析等各大方面产生影响。有限责任公司企业通过网络这个平台与客户直接的交流，突破了世界和空间的限制，行家远程操控对仪器仪表进行维护和分析。高科技的产品也随之而来。伴随移动互联网的爆发式增长，如今，它已经渐渐取代电子商务成为了整个互联网产业增速**快的领域，而移动终端的入口也随即成为了传统行业的必争之地。磁记录，半导体，光通讯生产，测试仪器的批发行业进军移动互联网实现线上发展势在必行。我们必须承认，在科学仪器上，我们跟其他地区相比，还有很大的差距。这个差距，就是我们提升的空间。合相关部门、大学和企业之力，中国的其他型必将在不远的将来，在相关领域的基础研究和重点光学部件研发上取得突破，产品进入世界中**水平，企业得到台阶式上升，迎头赶上，与全球出名企业并驾齐驱。上海台积电轮廓仪

岱美仪器技术服务（上海）有限公司主营品牌有岱美仪器技术服务，发展规模团队不断壮大，该公司其他型的公司。岱美仪器技术服务是一家有限责任公司企业，一直“以人为本，服务于社会”的经营理念;“诚守信誉，持续发展”的质量方针。以满足顾客要求为己任；以顾客永远满意为标准；以保持行业优先为目标，提供***的磁记录，半导体，光通讯生产，测试仪器的批发。岱美仪器技术服务自成立以来，一直坚持走正规化、专业化路线，得到了广大客户及社会各界的普遍认可与大力支持。