AVI200-S

AVI 200-S的基本配置包括两个单个承载模块和一个控制单元，比较大可以负载400公斤。通过增加隔离模块的数量，可以轻松承受更高的负载。为了使AVI200-M适应用户特定的应用，可以按特殊顺序提供不同长度的单个模块。

AVI 200-M的隔离始于1,2 Hz，超过10HZ以上迅速增加至35 db

减少低频谐振可得到比普通的被动空气阻尼系统更好的性能

AVI 200-M系统固有的刚性赋予其出色的方向性和位置稳定性

AVI 200-M的出色性能包括所有六个方向水平和垂直振动模式

AVI 200-M隔振模块不需要任何大型工具即可安装。我们努力提供一种简单，友好的概念-避免在安装出现中比较复杂的过程

技术指标：

频率： 1.2-200 Hz

负载范围： 0-400千克（0-200千克单个元件） AVI系列可以在非常宽的频率范围内为原子力显微镜、非接触式表面轮廓仪等提供极好的隔振效果。光刻机隔振台出厂价

AVI600-S

AVI 600-S的基本配置包括两个紧凑型单元和一个控制单元，比较大负载为800公斤。通过增加紧凑型单元的数量，可以轻松实现对更高负载的支持。为了使AVI

600-S适应用户特定的应用，可以使用不同长度的紧凑型装置。

AVI 600-S的隔离始于1,2 Hz，超过10HZ以上迅速增加至35 db

减少低频谐振可得到比普通的被动空气阻尼系统更好的性能

AVI 600-S系统固有的刚性赋予其出色的方向性和位置稳定性

AVI 600-S的出色性能包括所有六个方向水平和垂直振动模式

AVI 600-S紧凑型设备不需要任何大型安装工具。我们努力提供一种简单，友好的处理概念-从而避免在设备上放置沉重的设备（例如SEM）时进行任何复杂的操作。

技术指标：

频率：  1.2-200 Hz

负载范围：  0-1200公斤

（单个）： 600公斤 电子显微镜隔振台电子显微镜STM控制中心有超载指示灯。

Table Stable生产的主动式微振动控制系统AVI是一款多功能的主动式防振系统，具有**的防振单元和控制器。

可能有多种变化，例如将其用作电子显微镜（SEM）的隔振台，或与光学平台结合使用的高性能光学实验台。

特点：

?通过主动控制没有共振点，可以防止低频范围的振动。

?安装时不需要参数调整，安装后可以立即使用。-由于不使用空气弹簧，因此不需要空气弹簧。

?振动状态一目了然。

（可以目视观察控制器的每个LED闪烁单元的振动状态。）

-加速度信号可以从外部输出。

（通过将BNC连接器连接到示波器，可以看到活动对象正在正常工作。

LFS-2传感器测量两个轴的水平加速度，直至频率为约0.2Hz 传感器直接放置在地板上，并用于前馈回路中与标准AVI / LP系统结合使用，可在非常低的情况下提高隔振效果频率。 LFS-2可以改装为现有的AVI-LP系统。下表显示了在AVI / LP上测得的水平隔离度（透射率）有和没有LFS的系统。

将传感器连接到AVI /系统？

传感器LFS-2具有单独的电源，该电源通过D-Sub25插座连接到LFS-2控制单元。 用D-Sub 25将电源连接到传感器电缆。

每个AVI元素必须连接到背面的D-Sub15插座之一传感器的 LFS的实际位置并不重要，但必须放置它在支持AVI单元的同一表面上。将AVI单元的上部D-Sub 15插座连接到传感器。

TS-300结合了久经考验的技术特点和优雅且用户友好的设计

TS-300的隔离始于0.7 Hz，超过10Hz时迅速增加至40dB

缺少低频谐振意味着比大多数常见的被动空气阻尼方法要好得多

TS系统的固有刚度赋予其出色的方向和位置稳定性

TS-300的出色性能包括所有水平和垂直共计六个方向的震动隔离模式

精确的自动高度调节机制即使在负载发生重大变化后也能将顶板稳定在比较好工作水平

遥控器允许在外部将隔离开关“打开”和“关闭”

如果想要了解更多信息请联系我们岱美仪器。 励磁箱允许将激励信号施加到TS隔离系统，以便该系统可以在任何方向上用作振动器。AVI-600MLP隔振台大型半导体设备防震台应用

***使用AVI系统时，将前面板隔离开关设置为关闭（黑色旋钮熄灭）。光刻机隔振台出厂价

AVI主动隔震台

AVI应用于扫描电镜

1、如有可能，拆下扫描电镜柱的侧板。

2、使用扫描电镜找平脚将立柱抬离地面至少6“。如有必要，在水平尺下放置木块以增加高度。

3、拆下主销后倾角和主销后倾角螺栓（如有必要）。

4、将***个铝制安装板放在扫描电镜下的地面上。前后各27.5英寸，左右各27英寸。用水平仪确保盘子坐平。按下所有角落，确保其与地面齐平。如果不水平或不齐平，则使用垫片确保水平，并在各侧均匀地放置在地面上。

如果想要了解更多信息请联系我们岱美仪器。 光刻机隔振台出厂价

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