EVG ® 150光刻胶处理系统技术数据：

模块数：

工艺模块：6

烘烤/冷却模块：**多20个

工业自动化功能：

Ergo装载盒式工作站/ SMIF装载端口/ SECS / GEM / FOUP装载端口

智能过程控制和数据分析功能（框架软件平台）

用于过程和机器控制的集成分析功能

并行任务/排队任务处理功能

设备和过程性能跟/踪功能

智能处理功能

事/故和警报分析/智能维护管理和跟/踪

晶圆直径（基板尺寸）：高达300毫米

可用模块：

旋涂/ OmniSpray ® /开发

烘烤/冷却

晶圆处理选项：

单/双EE /边缘处理/晶圆翻转

弯曲/翘曲/薄晶圆处理

只有接近客户，才能得知客户**真实的需求，这是我们一直时刻与客户保持联系的原因之一。宁夏ABM光刻机

HERCULES 光刻轨道系统技术数据：

对准方式：

上侧对准：≤±0.5 μm；

底侧对准：≤±1,0 μm；

红外校准：≤±2,0 μm /具体取决于基材

先进的对准功能：

手动对准；

自动对准；

动态对准。

对准偏移校正：

自动交叉校正/手动交叉校正；

大间隙对准。

工业自动化功能：盒式磁带/ SMIF / FOUP / SECS / GEM /薄，弯曲，翘曲，边缘晶圆处理

曝光源：汞光源/紫外线LED光源

曝光设定：真空接触/硬接触/软接触/接近模式/弯曲模式

楔形补偿：全自动软件控制；非接触式

曝光选项：

间隔曝光/洪水曝光/扇区曝光

系统控制

操作系统：Windows

文件共享和备份解决方案/无限制 程序和参数

多语言用户GUI和支持：CN，DE，FR，IT，JP，KR

实时远程访问，诊断和故障排除 甘肃光刻机实际价格HERCULES可以配置成处理弯曲，翘曲，变薄或非SEMI标准形状的晶片和基片。

HERCULES 光刻轨道系统

所述HERCULES ®是一个高容量的平台整合整个光刻工艺流在一个系统中，缩小处理工序和操作者支持。

HERCULES基于模块化平台，将EVG建立的光学掩模对准技术与集成的晶圆清洗，光刻胶涂层，烘烤和光刻胶显影模块相结合。HERCULES支持各种晶片尺寸的盒到盒处理。HERCULES安全地处理厚，弯曲度高，矩形，小直径的晶圆，甚至可以处理设备托盘。精密的顶侧和底侧对准以及亚微米至超厚（**/大300微米）光刻胶的涂层可用于夹层和钝化应用。出色的对准台设计可实现高产量的高精度对准和曝光结果。

EVG ® 105—晶圆烘烤模块

设计理念：单机EVG ® 105烘烤模块是专为软或后曝光烘烤过程而设计。

特点：可以在EVG105烘烤模块上执行软烘烤，曝光后烘烤和硬烘烤过程。受控的烘烤环境可确保均匀蒸发。可编程的接近销可提供对光刻胶硬化过程和温度曲线的**/佳控制。EVG105烘烤模块可以同时处理300 mm的晶圆尺寸或4个100 mm的晶圆。

特征

**烘烤模块

晶片尺寸**/大为300毫米，或同时**多四个100毫米晶片

温度均匀性≤±1°C @ 100°C，**/高250°C烘烤温度

用于手动和安全地装载/卸载晶片的装载销

烘烤定时器

基材真空（直接接触烘烤）

N 2吹扫和近程烘烤0-1 mm距离晶片至加热板可选

不规则形状的基材

技术数据

晶圆直径（基板尺寸）：高达300毫米

烤盘：

温度范围：≤250°C

手动将升降杆调整到所需的接近间隙

EVG的CoverSpin TM旋转盖可降低光刻胶消耗，并提高光刻胶涂层的均匀性。

EVG的光刻机技术：EVG在光刻技术上的关键能力在于其掩模对准器的高产能，接触和接近曝光功能以及其光刻胶处理系统的内部处理的相关知识。EVG的所有光刻设备平台均支持300毫米的晶圆，可以完全集成到其HERCULES光刻轨道系统中，并配有用于从上到下的侧面对准验证的度量工具。

EVG不断展望未来的市场趋势，因此提供了针对特定应用的解决方案，尤其是在光学3D传感和光子学市场中，其****的EVG的工艺和材料专业知识-源自对各种光刻胶材料进行的广/泛优化研究。了解客户需求并提供有效的全球支持是EVG光刻解决方案成功的重要因素。 所有系统均支持原位对准验证的软件，可以提高手动操作系统的对准精度和可重复性。官方光刻机现场服务

EVG在1985年发明了世界上第/一个底部对准系统，可以在顶部和双面光刻。宁夏ABM光刻机

曝光光学：提供不同配置的曝光光学系统，旨在实现任何应用的**/大灵活性。汞灯曝光光学系统针对150，200和300 mm基片进行了优化，可与各种滤光片一起用于窄带曝光要求，例如i-，g-和h-线滤光片，甚至还有深紫外线。 宁夏ABM光刻机

岱美仪器技术服务（上海）有限公司总部位于中国(上海)自由贸易试验区加太路39号第五层六十五部位，是一家磁记录、半导体、光通讯生产及测试仪器的批发、进出口、佣金代理（拍卖除外）及其相关配套服务，国际贸易、转口贸易，商务信息咨询服务。 【依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动】磁记录、半导体、光通讯生产及测试仪器的批发、进出口、佣金代理（拍卖除外）及其相关配套服务，国际贸易、转口贸易，商务信息咨询服务。 【依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动】的公司。岱美仪器技术服务作为磁记录、半导体、光通讯生产及测试仪器的批发、进出口、佣金代理（拍卖除外）及其相关配套服务，国际贸易、转口贸易，商务信息咨询服务。 【依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动】磁记录、半导体、光通讯生产及测试仪器的批发、进出口、佣金代理（拍卖除外）及其相关配套服务，国际贸易、转口贸易，商务信息咨询服务。 【依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动】的企业之一，为客户提供良好的磁记录，半导体，光通讯生产，测试仪器的批发。岱美仪器技术服务致力于把技术上的创新展现成对用户产品上的贴心，为用户带来良好体验。岱美仪器技术服务创始人陈玲玲，始终关注客户，创新科技，竭诚为客户提供良好的服务。