随着时代的发展,轮廓仪也越来重要了,不少的产品检测都需要通过轮廓仪进行检测,***就让我们来了解一下轮廓仪的工作原理与应用吧。轮廓仪工作原理轮廓仪是一种双坐标测量仪器。仪器传感器相对于测量的工件台以恒定速度滑动。传感器的触针检测测量仪表的几何变化,并分别在X和Z方向上对其进行采样,并将其转换为电信号。电信号被放大和处理,然后转换成数字信号并存储在计算机系统的存储器中。计算机以数字方式过滤原始表格的轮廓,分离表面并计算粗糙度分量,测量结果为计算符号。某个曲线的实际值及其与参考点的坐标,或放大的实际轮廓曲线。测量结果通过显示器输出,也可以由打印机输出。轮廓仪应用轮廓仪***用于机械加工、汽车、摩托车、精密五金、精密工具、刀 具、模具、光学元件等行业适用于研究机构、大学、计量机构和企业计量室。在汽车,摩托车和制冷行业,它可以测量活塞,活塞销,齿轮的总线参数和汽车,摩托车和压缩机的阀门柱塞,可以测量各种倾斜部件的参数。在轴承工业中,内护套环的密封槽的形状(角度,倒角R,槽深,槽宽等);各种滚子轴承的滚子和套圈母线的冠部,角度和对数曲线;电机轴,圆柱销,活塞销,滚针轴承,圆柱滚子轴承。光学系统:同轴照明无限远干涉成像系统。研究所轮廓仪测样
NanoX-8000 3D轮廓测量主要技术参数
3D测量主要技术指标(1):
测量模式: PSI + VSI + CSI
Z轴测量范围: 大行程PZT 扫描 (300um 标配/500um选配)
10mm 精密电机拓展扫描
CCD相机: 1920x1200 高速相机(标配)
干涉物镜: 2.5X, 5X, 10X(标配), 20X, 50X, 100X(NIKON )
物镜切换: 5孔电动鼻切换 FOV: 1100x700um(10X物镜), 220x140um(50X物镜)
Z轴聚焦: 高精密直线平台自动聚焦
照明系统: 高 效长寿白光LED + 滤色镜片电动切换(绿色/蓝色)
倾斜调节: ±5°电动调节
横向分辨率: ≥0.35μm(与所配物镜有关)
3D测量主要技术指标(2):
垂直扫描速度: PSI : <10s,VSI/CSI:< 38um/s
高度测量范围: 0.1nm – 10mm
表面反射率: > 0.5%
测量精度: PSI: 垂直分辨率 < 0.1nm
准确度 < 1nm
RMS重复性 < 0.01nm (1σ)
台阶高重复性:0.15nm(1σ)
VSI/CSI:垂直分辨率 < 0.5nm
准确度<1%
重复性<0.1% (1σ,10um台阶高) Nano X轮廓仪值得买测量模式:移相干涉(PSI),白光垂直扫描干涉(VSI),单色光垂直扫描干涉(CSI)。
我们的轮廓仪有什么优势呢
世界先进水平的产品技术
合理的产品价格
24小时到现场的本地化售后服务
无偿产品技术培训和应用技术支持
个性化的应用软件服务支持
合理的保质期后产品服务
更佳的产品性价比和更优解决方案
非接触式轮廓仪(光学轮廓仪)是以白光干涉为原理制成的一款高精度微观形貌测量仪器,可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。(本段来自网络)
轮廓仪的物镜知多少?
白光干涉轮廓仪是基于白光干涉原理,以三维非接触时方法测量分析样片表面形貌的关键参数和尺寸,典型结果包括:
表面形貌(粗糙度,平面度,平行度,台阶高度,锥角等)
几何特征(关键孔径尺寸,曲率半径,特征区域的面积和集体,特征图形的位置和数量等)
白光干涉系统基于无限远显微镜系统,通过干涉物镜产生干涉条纹,使基本的光学显微镜系统变为白光干涉仪。
因此物镜是轮廓仪****的部件,
物镜的选择根据功能和检测的精度提出需求,为了满足各种精度的需求,需要提供各种物镜,例如标配的10×, 还有2.5×,5×,20×,50×,100×,可选。
不同的镜头价格有很大的差别,因此需要量力根据需求选配对应的镜头哦。 表面三维评定参数由于能更***,更真实的反应零件表面的特征。
轮廓仪在晶圆的IC封装中的应用:
晶圆的IC制造过程可简单看作是将光罩上的电路图通过UV刻蚀到镀膜和感光层后的硅晶圆上这一过程,其中由于光罩中电路结构尺寸极小,任何微小的黏附异物和下次均会导致制造的晶圆IC表面存在缺 陷,因此必须对光罩和晶圆的表面轮廓进行检测,检测相应的轮廓尺寸。
白光轮廓仪的典型应用:
对各种产品,不见和材料表面的平面度,粗糙度,波温度,面型轮廓,表面缺 陷,磨损情况,腐蚀情况,孔隙间隙,台阶高度,完全变形情况,加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
NanoX-8000 的XY 平台比较大移动速度:200mm/s 。原装进口轮廓仪
摈弃传统检测方法耗时耗力,精确度低的缺点,**提高加工效率。研究所轮廓仪测样
一、从根源保障物件成品的准确性:
通过光学表面三维轮廓仪的扫描检测,得出物件的误差和超差参数,**提高物件在生产加工时的精确度。杜绝因上游的微小误差形成“蝴蝶效应”,造成下游生产加工的更大偏离,**终导致整个生产链更大的损失。
二、提高效率:
智能化检测,全自动测量,检测时只需将物件放置在载物台,然后在检定软件上选择相关参数,即可一键分析批量测量。摈弃传统检测方法耗时耗力,精确度低的缺点,**提高加工效率。 研究所轮廓仪测样
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