EVG ® 510 HE特征：

用于聚合物基材和旋涂聚合物的热压印应用

自动化压花工艺

EVG专有的**对准工艺，用于光学对准的压印和压印

完全由软件控制的流程执行

闭环冷却水供应选项

外部浮雕和冷却站

EVG ® 510 HE技术数据：

加热器尺寸：150毫米 ，200毫米

比较大基板尺寸：150毫米，200毫米

**小基板尺寸：单芯片，100毫米

比较大接触力：10、20、60 kN

比较高温度：标准：350°C；可?。?50°C

夹盘系统/对准系统

150毫米加热器：EVG ® 610，EVG ® 620，EVG ® 6200

200毫米加热器：EVG ® 6200，MBA300，的Smart View ® NT

真空：

标准：0.1毫巴

可选：0.00001 mbar

EV Group 提供完整的UV 紫外光纳米压印光刻（UV-NIL）产品线。甘肃纳米压印推荐型号

EVG ® 610 紫外线纳米压印光刻系统

具有紫外线纳米压印功能的通用研发掩膜对准系统，从碎片到比较大150毫米。

该工具支持多种标准光刻工艺，例如真空，软，硬和接近曝光模式，并且可以选择背面对准。此外，该系统还为多功能配置提供了附加功能，包括键对准和纳米压印光刻（NIL）。EVG610提供快速的处理和重新安装工具，以改变用户需求，光刻和NIL之间的转换时间*为几分钟。其先进的多用户概念可以适应从初学者到**级别的所有需求，因此使其成为大学和研发应用程序的理想选择。

四川纳米压印当地价格纳米压印设备哪个好？预墨印章可用于将材料以明显的图案转移到基材上。

    EV集团和肖特携手合作，证明300-MM光刻/纳米压印技术在大体积增强现实/混合现实玻璃制造中已就绪联合工作将在EVG的NILPhotonics?能力中心开展，这是一个开放式的光刻/纳米压?。∟IL）技术创新孵化器，同时也是全球***可及的300-mm光刻/纳米压印技术线2019年8月28日，奥地利，圣弗洛里安――微机电系统（MEMS）、纳米技术和半导体市场晶圆键合与光刻设备**供应商EV集团（EVG）***宣布，与特种玻璃和微晶玻璃领域的**技术集团肖特携手合作，证明300-mm（12英寸）光刻/纳米压?。∟IL）技术在下一代增强现实/混合现实（AR/MR）头戴显示设备的波导/光导制造中使用的高折射率（HRI）玻璃晶圆的大体积图案成形已就绪。此次合作涉及EVG的专有SmartNIL?工艺和SCHOTTRealView?高折射率玻璃晶圆，将在EVG位于奥地利总部的NILPhotonics?能力中心进行。肖特将于9月4日至7日在深圳会展中心举行的中国国际光电博览会上展示一款采用EVGSmartNIL技术进行图案成形的300-mmSCHOTTRealView?玻璃晶圆。300-mm和200-mmSCHOTTRealView?玻璃基板，装配在应用SmartNIL?UV-NIL技术的EVG?HERCULES?。

SmartNIL是行业**的NIL技术，可对小于40 nm *的极小特征进行图案化，并可以对各种结构尺寸和形状进行图案化。SmartNIL与多用途软戳技术相结合，可实现****的吞吐量，并具有显着的拥有成本优势，同时保留了可扩展性和易于维护的操作。EVG的SmartNIL兑现了纳米压印的长期前景，即纳米压印是一种用于大规模制造微米级和纳米级结构的低成本，大批量替代光刻技术。

*分辨率取决于过程和模板

如果需要详细的信息，请联系我们岱美仪器技术服务有限公司。 SmartNIL 非常适合对具有复杂纳米结构微流控芯片进行高精度图案化，用在下一代药 物研究和医学诊断设备生产。

纳米压印应用三：连续性UV纳米压印

EVG770是用于步进重复纳米压印光刻的通用平台，可用于有效地进行母版制作或对基板上的复杂结构进行直接图案化。这种方法允许从比较大50 mm x 50 mm的小模具到比较大300 mm基板尺寸的大面积均匀复制模板。与钻石车削或直接写入方法相结合，分步重复刻印通常用于高 效地制造晶圆级光学器件制造或EVG的SmartNIL工艺所需的母版。岱美作为EVG在中国区的代理商，欢迎各位联系我们，探讨纳米压印光刻的相关知识。我们愿意与您共同进步。

NIL已被证明是能够在大面积上制造纳米图案的**经济、高 效的方法。掩模对准纳米压印用途是什么

EVG ? 7200是自动SmartNIL ? UV纳米压印光刻系统。甘肃纳米压印推荐型号

       EVG公司技术开发和IP总监Markus Wimplinger补充说：“我们开发新技术和工艺以应对*复杂的挑战，帮助我们的客户成功地将其新产品创意商业化。技术，我们创建了我们的NILPhotonics能力中心。“在具有?；た突P的强大政策的框架内，我们为客户提供了从可行性到生产阶段的产品开发和商业化支持。这正是我们***与AR领域的**者WaveOptics合作所要做的，以为*终客户提供真正可扩展的解决方案。”

      EVG的NILPhotonics®能力中心框架内的协作开发工作旨在支持WaveOptics的承诺，即在工业，企业和消费者等所有主要市场领域释放AR在大众市场的应用，并遵循公司?？榧苹耐瞥觥?甘肃纳米压印推荐型号

岱美仪器技术服务（上海）有限公司专注技术创新和产品研发，发展规模团队不断壮大。一批专业的技术团队，是实现企业战略目标的基础，是企业持续发展的动力。公司以诚信为本，业务领域涵盖磁记录，半导体，光通讯生产，测试仪器的批发，我们本着对客户负责，对员工负责，更是对公司发展负责的态度，争取做到让每位客户满意。公司深耕磁记录，半导体，光通讯生产，测试仪器的批发，正积蓄着更大的能量，向更广阔的空间、更宽泛的领域拓展。