轮廓仪,能描绘工件表面波度与粗糙度,并给出其数值的仪器,采用精密气浮导轨为直线基准。轮廓测试仪是对物体的轮廓、二维尺寸、二维位移进行测试与检验的仪器,作为精密测量仪器在汽车制造和铁路行业的应用十分***。(来自网络)
先进的轮廓仪集成模块
60年世界水平半导体检测技术研发和产业化经验
所有的关键硬件采用美国、德国、日本等
PI ,纳米移动平台及控制
Nikon,干涉物镜
NI,信号控制板和Labview64
控制软件
TMC 隔震平台
世界先进水平的计算机软硬件技术平台
VS2012/64位,.NET/C#/WPF
Intel Xeon 计算机
NanoX-8000的XY光栅分辨率 0.1um,定位精度 5um,重复精度 1um。二维轮廓仪供应商
轮廓仪的培训
一、 培训承诺
系统建成后,我公司将为业主提供为期1天的**培训和技术资询;培训地点可以在我公司,亦或在工程现场;
系统操作及管理人员的培训人数为10人,由业主指定,我公司将确保相关人员正确使用该系统;
1.1. 培训对象
系统操作及管理人员(培训对象须具有专业技术的技术人员或实际值班操作人员);
其他业主指定的相关人员。
1.2. 培训内容
系统操作使用说明书。
培训课程的主要内容是系统的操作、系统的相关参数设定和修改和系统的维修与保养与简单升级等,具体内容如下:
* 系统文档解读;
* 系统的技术特点、安装维护和系统管理方式;
* 系统一般故障排除。
衬底轮廓仪免税价格轮廓仪可用于:微结构均匀性 缺 陷,表面粗糙度。
轮廓仪的技术原理
被测表面(光)与参考面(光)之间的光程差(高度差)形成干涉
移相法(PSI) 高度和干涉相位
f = (2p/l ) 2 h
形貌高度: < 120nm
精度: < 1nm
RMS重复性: 0.01nm
垂直扫描法
(VSI+CSI)
精度: ?/1000 干涉信号~光程差位置
形貌高度: nm-mm,
精度: >2nm
干涉测量技术:快速灵活、超纳米精度、测量精度不受物镜倍率影响
以下来自网络:
轮廓仪,能描绘工件表面波度与粗糙度,并给出其数值的仪器,采用精密气浮导轨为直线基准。轮廓测试仪是对物体的轮廓、二维尺寸、二维位移进行测试与检验的仪器,作为精密测量仪器在汽车制造和铁路行业的应用十分***。
轮廓仪、粗糙度仪、三坐标的区别:
关于轮廓仪和粗糙度仪
轮廓仪与粗糙度仪不是同一种产品,轮廓仪主要功能是测量零件表面的轮廓形状,比如:汽车零件中的沟槽的槽深、槽宽、倒角(包括倒角位置、倒角尺寸、角度等),圆柱表面素线的直线度等参数。总之,轮廓仪反映的是零件的宏观轮廓。粗糙度仪的功能是测量零件表面的磨加工/精车加工工序的表面加工质量,通俗地讲,就是零件表面加工得光不光(粗糙度老国标叫光洁度),即粗糙度反映的是零件加工表面的微观情况。
但是,轮廓仪和粗糙度仪关系其实挺密切,现在有一种仪器叫做粗糙度轮廓测量一体机,就是在轮廓仪上加装了粗糙度测量模块,这样既可以测量轮廓尺寸,又可以测量粗糙度,市场上典型产品就是中图仪器的SJ5701粗糙度轮廓仪。
在结构上,轮廓仪基本上都是台式的,而粗糙度仪以手持式的居多,当然也有台式的。 包含了从纳米到微米级别的轮廓、线粗糙度、面粗糙度等二维、三维参数,作为评定该物件是否合格的标准。
NanoX-8000轮廓仪的自动化系统主要配置 :
? XY比较大行程650*650mm
? 支持415*510mm/510*610mm两种尺寸
? XY光栅分辨率 0.1um,定位精度 5um,重复精度
1um
? XY 平台比较大移动速度:200mm/s
? Z 轴聚焦:100mm行程自动聚焦,0.1um移动步进
? 隔振系统:集成气浮隔振 + 大理石基石
? 配置真空台面
? 配置Barcode 扫描板边二维码,可自动识别产品信息
? 主设备尺寸:1290(W)x1390(D)x2190(H) mm
如果想要了解更加详细的产品信息,请联系我们岱美仪器技术服务有限公司。 轮廓仪可用于蓝宝石抛光工艺表面粗糙度分析(粗抛与精抛比较)。粗糙度仪轮廓仪有哪些应用
轮廓仪可用于高精密材料表面缺 陷超精密表面缺 陷分析,核探测。二维轮廓仪供应商
轮廓仪的物镜知多少?
白光干涉轮廓仪是基于白光干涉原理,以三维非接触时方法测量分析样片表面形貌的关键参数和尺寸,典型结果包括:
表面形貌(粗糙度,平面度,平行度,台阶高度,锥角等)
几何特征(关键孔径尺寸,曲率半径,特征区域的面积和集体,特征图形的位置和数量等)
白光干涉系统基于无限远显微镜系统,通过干涉物镜产生干涉条纹,使基本的光学显微镜系统变为白光干涉仪。
因此物镜是轮廓仪****的部件,
物镜的选择根据功能和检测的精度提出需求,为了满足各种精度的需求,需要提供各种物镜,例如标配的10×, 还有2.5×,5×,20×,50×,100×,可选。
不同的镜头价格有很大的差别,因此需要量力根据需求选配对应的镜头哦。
轮廓仪在晶圆的IC封装中的应用:
晶圆的IC制造过程可简单看作是将光罩上的电路图通过UV刻蚀到镀膜和感光层后的硅晶圆上这一过程,其中由于光罩中电路结构尺寸极小,任何微小的黏附异物和下次均会导致制造的晶圆IC表面存在缺 陷,因此必须对光罩和晶圆的表面轮廓进行检测,检测相应的轮廓尺寸。 二维轮廓仪供应商
岱美仪器技术服务(上海)有限公司专注技术创新和产品研发,发展规模团队不断壮大。一批专业的技术团队,是实现企业战略目标的基础,是企业持续发展的动力。公司以诚信为本,业务领域涵盖磁记录,半导体,光通讯生产,测试仪器的批发,我们本着对客户负责,对员工负责,更是对公司发展负责的态度,争取做到让每位客户满意。公司深耕磁记录,半导体,光通讯生产,测试仪器的批发,正积蓄着更大的能量,向更广阔的空间、更宽泛的领域拓展。